CN210721014U - 一种晶圆曝光机 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于晶圆生产设备技术领域，尤其为一种晶圆曝光机，包括支架和箱体，所述支架的底端安装在所述箱体上表面的左侧，所述支架另一端上安装有灯罩，所述灯罩的下端安装有曝光管，所述箱体上表面的右侧设置有转盘，所述箱体的首端设置有控制面板，所述箱体的右侧设置有料出口，所述灯罩的内部安装有灯板，且所述灯板下表面的中间位置固定有灯泡，所述曝光管的内部设置有滤波器和凸透镜，所述滤波器设置在所述凸透镜的上方，所述曝光管的底部安装有镜管，所述转盘上设置有孔洞，且所述孔洞有三个。本实用新型通过可拆卸曝光管的更换以达到焦点的变更，进而实现不同厚度晶圆的曝光。

Description

一种晶圆曝光机

技术领域

本实用新型涉及晶圆生产设备技术领域，具体为一种晶圆曝光机。

背景技术

曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备，它常用于半导体制造、光电电子、平板、射频微波、衍射光学、微机电系统、凹凸或覆晶设备、电路板和其他要求精细印制领域。 70年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业。在集成电路芯片的生产过程中，芯片的设计图形在晶圆表面光刻胶上的曝光转印(光刻)是其中最重要的工序之一。所述光刻工艺通常包括如下步骤，先在晶圆表面涂布光阻等感光材料，在感光材料干燥后，通过曝光装置将掩模上的电路设计图形以特定光源曝光在所述的感光材料上，再以显影剂将感光材料显影，并利用显影出来的图形作为屏蔽，进行蚀刻等工艺，并最终完成掩模图形的转移。

光刻工艺所用的设备称为曝光机，所以曝光机是集成电路加工过程中最关键的设备。曝光机在曝光时，一般是通过将晶圆上表面移动到曝光光路系统确定的焦平面上进行正常曝光。目前曝光机能曝光的晶圆厚度较薄，可曝光的晶圆厚度可调范围较窄，大大限制了曝光机的适用范围，从而提高了制造成本。

现有的曝光机存在以下不足：

1、曝光机能曝光的晶圆厚度较薄，可曝光的晶圆厚度可调范围较窄，大大限制了曝光机的适用范围，从而提高了制造成本；

2、曝光时现有设备无挡光器材，造成光污染和光的色散。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆曝光机，解决了可曝光的晶圆厚度调节范围较窄的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆曝光机，包括支架和箱体，所述支架的底端安装在所述箱体上表面的左侧，所述支架另一端上安装有灯罩，所述灯罩的下端安装有曝光管，所述箱体上表面的右侧设置有转盘，所述箱体的首端设置有控制面板，所述箱体的右侧设置有料出口，所述灯罩的内部安装有灯板，且所述灯板下表面的中间位置固定有灯泡，所述曝光管的内部设置有滤波器和凸透镜，所述滤波器设置在所述凸透镜的上方，所述曝光管的底部安装有镜管，所述转盘上设置有孔洞，且所述孔洞有三个，所述孔洞中间位置的两侧安装有焦点侦测光源和焦点侦测器，所述焦点侦测光源设置在所述焦点侦测器的右侧，所述转盘的下表面设置有挡板，所述转盘固定在转轴上，所述转轴与电机连接，所述电机安装在液压缸上，所述液压缸设置在所述箱体内部的底端，所述转轴与所述料出口之间设置有滚筒电机，且所述滚筒电机上设置有传送带。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述灯罩与所述曝光管之间通过螺纹连接，且所述曝光管与所述镜管之间通过螺纹连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述电机为角度电机。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述镜管的下表面安装有弹性伸缩垫。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述控制面板电性连接所述电机、所述灯泡和所述液压缸。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述挡板的上表面上设置有润滑脂。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种晶圆曝光机，具备以下有益效果：

1、该晶圆曝光机，通过可拆卸曝光管的更换以达到焦点的变更，进而实现不同厚度晶圆的曝光。

2、该晶圆曝光机，通过弹性伸缩垫的设计，防止了镜管的损坏，有效的对该种设备工作时镜管的保护。

3、该晶圆曝光机，通过镜管的设计，防止了光的色散，减少了曝光时光照强度的衰弱。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型灯罩剖面结构示意图；

图3为本实用新型箱体剖面结构示意图；

图中：1、支架；2、挡板；3、转盘；4、箱体；5、控制面板；6、灯罩； 7、曝光管；8、料出口；9、灯板；10、灯泡；11、滤波器；12、凸透镜；13、镜管；14、弹性伸缩垫；15、焦点侦测光源；16、转轴；17、电机；18、液压缸；19、焦点侦测器；20、孔洞；21、传送带；22、滚筒电机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例

请参阅图1-3，本实用新型提供以下技术方案：一种晶圆曝光机，包括支架1和箱体4，支架1的底端安装在箱体4上表面的左侧，支架1另一端上安装有灯罩6，灯罩6的下端安装有曝光管7，箱体4上表面的右侧设置有转盘3，箱体4的首端设置有控制面板5，箱体4的右侧设置有料出口8，灯罩6 的内部安装有灯板9，且灯板9下表面的中间位置固定有灯泡10，曝光管7 的内部设置有滤波器11和凸透镜12，滤波器11设置在凸透镜12的上方，曝光管7的底部安装有镜管13，转盘3上设置有孔洞20，且孔洞20有三个，孔洞20中间位置的两侧安装有焦点侦测光源15和焦点侦测器19，焦点侦测光源15设置在焦点侦测器19的右侧，转盘3的下表面设置有挡板2，转盘3 固定在转轴16上，转轴16与电机17连接，电机17安装在液压缸18上，液压缸18设置在箱体4内部的底端，转轴16与料出口8之间设置有滚筒电机 22，且滚筒电机22上设置有传送带21。

本实施方案中，孔洞20等距环形设置在转盘3上，灯泡10为单色光源，镜管13的内表面为黑色，防止晶圆曝光时镜管13反射造成产品不合格，焦点侦测光源15发射的光经晶圆反射到焦点侦测器19上，经系统检测确定焦点位置。

具体的，灯罩6与曝光管7之间通过螺纹连接，且曝光管7与镜管13之间通过螺纹连接。

本实施例中，曝光管7中的凸透镜12位置已被固定好，进而曝光焦点的范围被确定，利于不同晶圆的曝光。

具体的，电机17为角度电机。

本实施例中，电机每次旋转的角度为120度。

具体的，镜管13的下表面安装有弹性伸缩垫14。

本实施例中，弹性伸缩垫14与镜管13之间通过胶水粘接连接。

具体的，控制面板5电性连接电机17、灯泡10和液压缸18。

本实施例中，灯泡10为长关，只有当晶圆需曝光时，灯泡10才会亮起。

具体的，挡板2的上表面上设置有润滑脂。

本实施例中，挡板2上表面与转盘3的下表面有局部贴合，可以使得挡板2可以将转盘3上的两个孔洞20堵住，不让晶圆掉落。

本实用新型的工作原理及使用流程：首先将该种晶圆曝光机移动到指定位置，然后为其接通电源，此时根据晶圆的厚度，选取合适的曝光管7，然后将曝光管7安装在灯罩6上，同时当曝光管7安装好后，在曝光管7的底部安装镜管13，此时将晶圆放入到孔洞20中，然后在控制面板5上输入控制程序，当该种设备工作时，首先电机17带动转盘3旋转120度至曝光管7的正下方，然后灯泡10亮起经凸透镜12形成焦点，同时此时液压缸18开始工作，使得转盘3得以向上提升，在提升过程中焦点侦测光源15发出光信号经晶圆反射后被焦点侦测器19接收，经后台处理运算以实现该种设备的焦点捕捉，当焦点捕捉后，控制面板5控制液压缸18停止工作，此时弹性伸缩垫14与转盘3接触，实现晶圆的曝光，当曝光完成后，电机17继续旋转120度，此时滚筒电机22工作带动传送带21将晶圆输送到料出口8，实现晶圆曝光的加工。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种晶圆曝光机，包括支架(1)和箱体(4)，其特征在于：所述支架(1)的底端安装在所述箱体(4)上表面的左侧，所述支架(1)另一端上安装有灯罩(6)，所述灯罩(6)的下端安装有曝光管(7)，所述箱体(4)上表面的右侧设置有转盘(3)，所述箱体(4)的首端设置有控制面板(5)，所述箱体(4)的右侧设置有料出口(8)，所述灯罩(6)的内部安装有灯板(9)，且所述灯板(9)下表面的中间位置固定有灯泡(10)，所述曝光管(7)的内部设置有滤波器(11)和凸透镜(12)，所述滤波器(11)设置在所述凸透镜(12)的上方，所述曝光管(7)的底部安装有镜管(13)，所述转盘(3)上设置有孔洞(20)，且所述孔洞(20)有三个，所述孔洞(20)中间位置的两侧安装有焦点侦测光源(15)和焦点侦测器(19)，所述焦点侦测光源(15)设置在所述焦点侦测器(19)的右侧，所述转盘(3)的下表面设置有挡板(2)，所述转盘(3)固定在转轴(16)上，所述转轴(16)与电机(17)连接，所述电机(17)安装在液压缸(18)上，所述液压缸(18)设置在所述箱体(4)内部的底端，所述转轴(16)与所述料出口(8)之间设置有滚筒电机(22)，且所述滚筒电机(22)上设置有传送带(21)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆曝光机，其特征在于：所述灯罩(6)与所述曝光管(7)之间通过螺纹连接，且所述曝光管(7)与所述镜管(13)之间通过螺纹连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆曝光机，其特征在于：所述电机(17)为角度电机。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆曝光机，其特征在于：所述镜管(13)的下表面安装有弹性伸缩垫(14)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆曝光机，其特征在于：所述控制面板(5)电性连接所述电机(17)、所述灯泡(10)和所述液压缸(18)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆曝光机，其特征在于：所述挡板(2) 的上表面上设置有润滑脂。

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