CN210640203U - 一种整组硅片横移装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种整组硅片横移装置，该装置包括X向驱动机构、Y向驱动机构和顶升机构，X向驱动机构包括第一安装架，第一安装架上设有X向传送带、X向驱动电机，X向驱动电机驱动X向传送带沿X向运动，第一安装架上还设有容纳槽，容纳槽的两边设置有支撑X向传送带的支撑轮，容纳槽的下方设置有转接轮，X向传送带与转接轮连接从而避让容纳槽；Y向驱动机构包括第二安装架，第二安装架上设有Y向传送带、Y向驱动电机，Y向传送带设于容纳槽中；顶升机构与第二安装架连接，顶升机构可驱动第二安装架上升，将Y向传送带顶升出容纳槽。该装置结构合理，自动化程度高，可以满足硅片在多个工位之间的不同传输需求，提高硅片加工效率。

Description

一种整组硅片横移装置

技术领域

本实用新型涉及硅片加工设备技术领域，特别涉及一种整组硅片横移装置。

背景技术

通常来讲，对太阳能电池硅片的工艺处理包括以下个步骤：1、制绒，将硅片表面腐蚀成金字塔状的形貌；2、扩散，硅片表面形成PN结；3、刻蚀，将硅片边缘的PN结去掉，防止电池短路；4、去PSG，清洗硅片表面，去除二氧化硅层；5、PECVD，在硅片表面镀一层减反射膜；6、印刷烧结，印刷电极及背场，并烘干烧结。

在上述工艺处理的各个工位之间，通常是利用多个机械手或传送带来实现硅片的传输，而由于硅片加工的复杂性，有时需要在多个工位之间实现多次不同方向的传输，现有的传输设备已很难满足其传输需求，因此，急需一种新型传输设备来实现上述功能。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型目的在于提供一种结构合理，效率高的整组硅片横移装置。其采用如下技术方案：

一种整组硅片横移装置，其包括：

X向驱动机构，包括第一安装架，所述第一安装架上设有X向传送带、X向驱动电机，所述X向驱动电机驱动所述X向传送带沿X向运动，所述第一安装架上还设有容纳槽，所述容纳槽的两边设置有支撑所述X向传送带的支撑轮，所述容纳槽的下方设置有转接轮，所述X向传送带与所述转接轮连接从而避让所述容纳槽；

Y向驱动机构，包括第二安装架，所述第二安装架上设有Y向传送带、Y向驱动电机，所述Y向传送带设于所述容纳槽中；

顶升机构，所述顶升机构与所述第二安装架连接，所述顶升机构可驱动所述第二安装架上升，将所述Y向传送带顶升出所述容纳槽。

作为本实用新型的进一步改进，两个所述X向传送带组成一个X向传送带组，一个所述X向传送带组内的两个X向传送带相互配合传输一整组硅片。

作为本实用新型的进一步改进，所述X向传送带组的两侧设置有挡块。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一安装架上设有多个所述X向传送带组。

作为本实用新型的进一步改进，两个所述Y向传送带组成一个Y向传送带组，一个所述Y向传送带组内的两个Y向传送带相互配合传输一整组硅片。

作为本实用新型的进一步改进，一个所述Y向传送带组内的两个Y向传送带分别设于两所述容纳槽内，所述第一安装架在两所述容纳槽之间形成凸起部，所述凸起部上的支撑轮支撑所述X向传送带。

作为本实用新型的进一步改进，所述Y向传送带底部设有支撑板。

作为本实用新型的进一步改进，所述顶升机构包括顶升气缸。

本实用新型的有益效果：

本实用新型的整组硅片横移装置能够实现硅片在X方向和Y方向的传输，还能够实现硅片传输方向的切换。该装置结构合理，自动化程度高，可以满足硅片在多个工位之间的不同传输需求，可以大幅提高硅片加工效率。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

附图说明

图1是本实用新型实施例中整组硅片横移装置的整体结构示意图一；

图2是本实用新型实施例中整组硅片横移装置的整体结构示意图二；

图3是本实用新型实施例中X向驱动机构的结构示意图；

图4是本实用新型实施例中Y向驱动机构和顶升机构的结构示意图。

标记说明：100、第一安装架；101、容纳槽；102、支撑轮；103、转接轮；104、凸起部；110、X向传送带；120、X向驱动电机；121、传动轴；130、挡块；200、第二安装架；210、Y向传送带；220、Y向驱动电机；230、支撑板；300、顶升气缸。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。

如图1-4所示，为本实用新型实施例中的整组硅片横移装置，该整组硅片横移装置包括X向驱动机构、Y向驱动机构和顶升机构。

如图3所示，上述X向驱动机构包括第一安装架100，第一安装架100上设有X向传送带110、X向驱动电机120，X向驱动电机120驱动X向传送带110沿X向运动，第一安装架100上还设有容纳槽101，容纳槽101的两边设置有支撑X向传送带110的支撑轮102，容纳槽101的下方设置有转接轮103，X向传送带110与转接轮103连接从而避让容纳槽101。

在本实施例中，两个X向传送带110组成一个X向传送带组，一个X向传送带组内的两个X向传送带110相互配合传输一整组硅片。

第一安装架100上设有多个X向传送带组，多个X向传送带组之间通过传动轴121连接，传动轴121与X向驱动电机120连接。

优选的，X向传送带组的两侧设置有挡块130，用于阻挡硅片。

如图4所示，上述Y向驱动机构包括第二安装架200，第二安装架200上设有Y向传送带210、Y向驱动电机220，Y向传送带210设于容纳槽101中。

上述顶升机构包括顶升气缸300，顶升气缸300设于第二安装架200底部，顶升气缸300与第二安装架200连接，顶升机构可驱动第二安装架200上升，将Y向传送带210顶升出容纳槽101。

在本实施例中，两个Y向传送带210组成一个Y向传送带组，一个Y向传送带组内的两个Y向传送带210相互配合传输一整组硅片。

一个Y向传送带组内的两个Y向传送带210分别设于两容纳槽101内，第一安装架100在两容纳槽101之间形成凸起部104，凸起部104上的支撑轮102支撑X向传送带110。

当整组硅片由X向传送带传输至凸起部104上时，顶升气缸300可驱动第二安装架200上升，通过Y向传送带210将整组硅片顶起，并通过Y向驱动电机220驱动Y向传送带210，实现硅片传输方向的切换。

在本实施例中，Y向传送带210底部设有支撑板230，用于支撑Y向传送带210。

本实用新型的整组硅片横移装置能够实现硅片在X方向和Y方向的传输，还能够实现硅片传输方向的切换。该装置结构合理，自动化程度高，可以满足硅片在多个工位之间的不同传输需求，可以大幅提高硅片加工效率。

以上实施例仅是为充分说明本实用新型而所举的较佳的实施例，本实用新型的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本实用新型基础上所作的等同替代或变换，均在本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。

Claims (8)

1.一种整组硅片横移装置，其特征在于，包括：

X向驱动机构，包括第一安装架，所述第一安装架上设有X向传送带、X向驱动电机，所述X向驱动电机驱动所述X向传送带沿X向运动，所述第一安装架上还设有容纳槽，所述容纳槽的两边设置有支撑所述X向传送带的支撑轮，所述容纳槽的下方设置有转接轮，所述X向传送带与所述转接轮连接从而避让所述容纳槽；

Y向驱动机构，包括第二安装架，所述第二安装架上设有Y向传送带、Y向驱动电机，所述Y向传送带设于所述容纳槽中；

顶升机构，所述顶升机构与所述第二安装架连接，所述顶升机构可驱动所述第二安装架上升，将所述Y向传送带顶升出所述容纳槽。

2.如权利要求1所述的整组硅片横移装置，其特征在于，两个所述X向传送带组成一个X向传送带组，一个所述X向传送带组内的两个X向传送带相互配合传输一整组硅片。

3.如权利要求2所述的整组硅片横移装置，其特征在于，所述X向传送带组的两侧设置有挡块。

4.如权利要求2所述的整组硅片横移装置，其特征在于，所述第一安装架上设有多个所述X向传送带组。

5.如权利要求1所述的整组硅片横移装置，其特征在于，两个所述Y向传送带组成一个Y向传送带组，一个所述Y向传送带组内的两个Y向传送带相互配合传输一整组硅片。

6.如权利要求5所述的整组硅片横移装置，其特征在于，一个所述Y向传送带组内的两个Y向传送带分别设于两所述容纳槽内，所述第一安装架在两所述容纳槽之间形成凸起部，所述凸起部上的支撑轮支撑所述X向传送带。

7.如权利要求1所述的整组硅片横移装置，其特征在于，所述Y向传送带底部设有支撑板。

8.如权利要求1所述的整组硅片横移装置，其特征在于，所述顶升机构包括顶升气缸。

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