CN210403687U - 一种机器人末端晶圆搬运治具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种机器人末端晶圆搬运治具，包括支撑模块，支撑模块包括U形底板以及分别连接在底板两侧端部的支撑臂，U形底板的中部安装有用于与机械臂的丝杆端头连接的连接模块，U形底板的两侧端部对称设置有夹紧模块，夹紧模块包括安装在U形底板表面的支撑柱、支撑柱、安装板、伸缩杆、压紧杆、压紧杆安装座以及压紧弹簧。本实用新型提供的一种机器人末端晶圆搬运治具只需将支撑模块部分深入物料盒内，夹紧模块在物料盒外部即可完成晶圆夹紧工序，加工和控制相对容易，降低了生产成本，连接模块的设置可以针对不同晶圆型号进行更换安装，有利于规模化生产。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种机器人末端晶圆搬运治具，属于夹具技术领域。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。在硅晶片的中部区域上可切割成细小单元进行加工，制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品，只有外轮廓可以用来夹持和受力。用于存储晶圆的物料盒通常采用多层结构，晶圆边缘通过物料盒的隔板承托，相邻晶圆之间间隔较小。
现有的晶圆夹具通常采用预留圆孔的环形承托板整个深入物料盒内，对晶圆进行承托和抽取，这种方式晶圆容易滑落，影响生产安全。也有晶圆夹具在环形承托板上周向布置夹爪，夹取时夹爪与承托板共同深入物料盒内，由于物料盒内每层晶圆之间的间隔小，此种结构对承托板和限位柱或者夹爪的厚度有较大限制，夹具加工和控制要求高，增加了加工成本，不利于型号替换和规模化生产。
发明内容
为了解决现有技术的不足，本实用新型提供了一种机器人末端晶圆搬运治具，对支撑模块和夹紧模块的结构和连接关系进行了重新设计，只需要将支撑模块部分深入物料盒内，夹紧模块在物料盒外部即可完成晶圆夹紧工序，加工和控制相对容易，降低了生产成本，连接模块的设置可以针对不同晶圆型号进行更换安装，有利于规模化生产。
本实用新型为解决其技术问题所采用的技术方案是：提供了一种机器人末端晶圆搬运治具，包括支撑模块，支撑模块包括U形底板以及分别连接在底板两侧端部的支撑臂，U形底板的中部安装有用于与机械臂的丝杆端头连接的连接模块，U形底板的两侧端部对称设置有夹紧模块，夹紧模块包括安装在U形底板表面的支撑柱、支撑柱、安装板、伸缩杆、压紧杆、压紧杆安装座以及压紧弹簧，安装板连接于支撑柱的顶部，压紧杆通过横向安装轴安装于支撑柱和压紧杆安装座之间，压紧弹簧的两端分别连接于安装板的底面以及压紧杆的后部上表面，伸缩杆竖直安装于安装板前部的通孔中。
压紧杆采用由尾部至头部逐渐变薄的楔形。
压紧杆的头部端的下部设有柔性保护层。
支撑臂的表面设有柔性保护层。
支撑臂由圆弧支撑部和长形支撑部首尾连接组成。
连接模块包括连接座和与连接座上表面固连的一侧开口的筒形连接件，连接座通过沉头螺丝安装于U形底板表面，筒形连接件的开口处通过螺丝旋紧。
伸缩杆与数控液压装置连接。
本实用新型基于其技术方案所具有的有益效果在于：
(1)本实用新型的支撑模块部分整体为U形结构，只需要将支撑臂和压紧杆的前端伸入物料盒中即可完成晶圆的承托和夹取，不必夹具整体进入物料盒，只需对支撑臂和压紧杆的前端进行薄度限制，加工简单，节约成本，支撑臂的其他部件仍可保证一定厚度和刚性，夹持稳定；
(2)本实用新型的压紧杆通过压紧弹簧和伸缩杆的控制进行抬起和压紧，控制方便易实现；
(3)本实用新型的连接模块通过一侧开口的筒形连接件与机械臂的丝杆连接，连接紧固，易于更换。
附图说明
图1是本实用新型提供的一种机器人末端晶圆搬运治具的结构示意图。
图2是夹紧模块结构示意图。
图3是本实用新型提供的一种机器人末端晶圆搬运治具的工作状态示意图。
图中：1-丝杆，2-连接模块，21-筒形连接件，22-螺丝，23-连接座，24-沉头螺丝，3-支撑模块，31-U形底板，32-支撑臂，4-夹紧模块，41-安装板，42-支撑柱，43-伸缩杆，44-压紧杆，45-压紧杆安装座，46-压紧弹簧，47-螺母，5-晶圆，6-物料盒，7-机械臂。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
本实用新型提供了一种机器人末端晶圆搬运治具，参照图1和图2，包括支撑模块3，支撑模块3包括U形底板31以及分别连接在底板31两侧端部的支撑臂32，U形底板31的中部安装有用于与机械臂7的丝杆1端头连接的连接模块2，U形底板31的两侧端部对称设置有夹紧模块4，夹紧模块4包括安装在U形底板31表面的支撑柱42、支撑柱42、安装板41、伸缩杆43、压紧杆44、压紧杆安装座45以及压紧弹簧46，安装板41连接于支撑柱42的顶部，压紧杆44通过横向安装轴安装于支撑柱42和压紧杆安装座45之间，压紧弹簧46的两端分别连接于安装板41的底面以及压紧杆44的后部上表面，伸缩杆43通过螺杆和螺母47竖直安装于安装板41前部的通孔中。
压紧杆44采用由尾部至头部逐渐变薄的楔形。
压紧杆44的头部端的下部设有柔性保护层。
支撑臂32的表面设有柔性保护层。
支撑臂32由圆弧支撑部和长形支撑部首尾连接组成。
连接模块2包括连接座23和与连接座23上表面固连的一侧开口的筒形连接件21，连接座23通过沉头螺丝24安装于U形底板31表面，筒形连接件21的开口处通过螺丝 22旋紧。
伸缩杆43与数控液压装置连接。
参照图3，实用新型提供的一种机器人末端晶圆搬运治具的工作过程为：
(1)机械臂7带动机器人末端晶圆搬运治具的支撑臂32和压紧杆44深入物料盒6中，使晶圆5位于支撑臂32和压紧杆44之间，压紧杆44在压紧弹簧46作用下保持头部端翘起；
(2)伸缩杆43伸出将压紧杆44的头部端下压，夹紧晶圆5；
(3)机械臂7带动机器人末端晶圆搬运治具将晶圆搬运至制定工序位置。
本实用新型提供的一种机器人末端晶圆搬运治具，对支撑模块和夹紧模块的结构和连接关系进行了重新设计，只需要将支撑模块部分深入物料盒内，夹紧模块在物料盒外部即可完成晶圆夹紧工序，加工和控制相对容易，降低了生产成本，连接模块的设置可以针对不同晶圆型号进行更换安装，有利于规模化生产。
Claims (7)
1.一种机器人末端晶圆搬运治具，包括支撑模块(3)，其特征在于：支撑模块(3)包括U形底板(31)以及分别连接在底板(31)两侧端部的支撑臂(32)，U形底板(31)的中部安装有用于与机械臂(7)的丝杆(1)端头连接的连接模块(2)，U形底板(31)的两侧端部对称设置有夹紧模块(4)，夹紧模块(4)包括安装在U形底板(31)表面的支撑柱(42)、支撑柱(42)、安装板(41)、伸缩杆(43)、压紧杆(44)、压紧杆安装座(45)以及压紧弹簧(46)，安装板(41)连接于支撑柱(42)的顶部，压紧杆(44)通过横向安装轴安装于支撑柱(42)和压紧杆安装座(45)之间，压紧弹簧(46)的两端分别连接于安装板(41)的底面以及压紧杆(44)的后部上表面，伸缩杆(43)竖直安装于安装板(41)前部的通孔中。
2.根据权利要求1所述的机器人末端晶圆搬运治具，其特征在于：压紧杆(44)采用由尾部至头部逐渐变薄的楔形。
3.根据权利要求1所述的机器人末端晶圆搬运治具，其特征在于：压紧杆(44)的头部端的下部设有柔性保护层。
4.根据权利要求1所述的机器人末端晶圆搬运治具，其特征在于：支撑臂(32)的表面设有柔性保护层。
5.根据权利要求1所述的机器人末端晶圆搬运治具，其特征在于：支撑臂(32)由圆弧支撑部和长形支撑部首尾连接组成。
6.根据权利要求1所述的机器人末端晶圆搬运治具，其特征在于：连接模块(2)包括连接座(23)和与连接座(23)上表面固连的一侧开口的筒形连接件(21)，连接座(23)通过沉头螺丝(24)安装于U形底板(31)表面，筒形连接件(21)的开口处通过螺丝(22)旋紧。
7.根据权利要求1所述的机器人末端晶圆搬运治具，其特征在于：伸缩杆(43)与数控液压装置连接。
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- 2019-10-21 CN CN201921764054.XU patent/CN210403687U/zh active Active
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