CN210335566U - 一种边缘抛光硅片吸附装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种边缘抛光硅片吸附装置，包括基座，所述基座的顶部中间位置焊接有固定架，且固定架的顶部中间位置开有通槽，所述固定架靠近通槽的底部两侧均焊接有支架，且支架的相对一侧外壁焊接有同一个筒体，所述筒体的顶部粘接有插接在通槽内的吸盘，且筒体的底部开有通孔，所述通孔的内部插接有连接杆，且连接杆的底部焊接有限位板，所述连接杆延伸至筒体内的顶部焊接有固定板，且固定板的外部粘接有密封塞。本实用新型使得吸盘内部形成负压，将硅片吸附在装置上，保持硅片的固定性能，并将整个吸附装置固定在抛光装置上，通过第一弹簧和缓冲垫对硅片的底部两侧进行支撑和缓冲，保持硅片在抛光过程中的稳定性能。

Description

一种边缘抛光硅片吸附装置

技术领域

本实用新型涉及硅片抛光技术领域，尤其涉及一种边缘抛光硅片吸附装置。

背景技术

硅片常用在航空、航天、工业、医学、农业、家电等领域中，用硅片制成的芯片是有名的“神算子”，有着惊人的运算能力，硅片在进行加工过程中需要对其边缘进行抛光处理，保持硅片的光滑平整性能。

目前，现有的硅片边缘抛光装置在对硅片进行抛光时，需要对硅片进行固定处理，由于硅片的材质和价格，在利用刚性固定装置对硅片进行固定时容易操作硅片受损的问题，提高了生产成本，需要利用吸盘进行吸附固定处理，因此，亟需设计一种边缘抛光硅片吸附装置来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种边缘抛光硅片吸附装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种边缘抛光硅片吸附装置，包括基座，所述基座的顶部中间位置焊接有固定架，且固定架的顶部中间位置开有通槽，所述固定架靠近通槽的底部两侧均焊接有支架，且支架的相对一侧外壁焊接有同一个筒体，所述筒体的顶部粘接有插接在通槽内的吸盘，且筒体的底部开有通孔，所述通孔的内部插接有连接杆，且连接杆的底部焊接有限位板，所述连接杆延伸至筒体内的顶部焊接有固定板，且固定板的外部粘接有密封塞。

作为本实用新型再进一步的方案：所述基座的顶部一侧焊接有轴承座，且轴承座的内壁焊接有转轴，转轴的一侧焊接有卡板。

作为本实用新型再进一步的方案：所述基座的外壁四个拐角处均焊接有固定座，且固定座的中间位置均开有螺纹孔，螺纹孔的内壁设置有固定栓。

作为本实用新型再进一步的方案：所述基座靠近固定架的顶部两侧均焊接有缓冲筒，且缓冲筒的内部均插接有缓冲杆，缓冲杆的底部均焊接有连接板，连接板的底部外壁与缓冲筒的底部内壁之间焊接有第一弹簧。

作为本实用新型再进一步的方案：所述缓冲杆的顶部外壁和固定架的顶部两侧均粘接有缓冲垫。

作为本实用新型再进一步的方案：所述限位板的底部两侧与基座的顶部之间均焊接有第二弹簧。

本实用新型的有益效果为：

1.通过设置的筒体、吸盘、连接杆、固定板、密封塞、限位板、轴承座、转轴和卡板，将硅片按压在吸盘上，并通过限位板将连接杆向下拉动，使得密封塞在筒体内下移，并转动转轴，将卡板卡接在限位板上，使得吸盘内部形成负压，将硅片吸附在装置上，保持硅片的固定性能；

2.通过设置的缓冲筒、第一弹簧、缓冲杆和缓冲垫，当硅片吸附在装置上时，硅片的底部两侧会使得缓冲杆在缓冲筒内下移，通过第一弹簧和缓冲垫对硅片的底部两侧进行支撑和缓冲，保持硅片在抛光过程中的稳定性能；

3.通过设置的固定座、螺纹孔和固定栓，通过螺纹孔将固定栓固定在硅片抛光装置上，从而将整个吸附装置固定在抛光装置上，保持吸附装置整体的固定性。

附图说明

图1为实施例1提出的一种边缘抛光硅片吸附装置的整体结构示意图；

图2为实施例1提出的一种边缘抛光硅片吸附装置的正视剖面结构示意图；

图3为实施例2提出的一种边缘抛光硅片吸附装置的正视剖面结构示意图。

图中：1基座、2转轴、3固定架、4固定座、5缓冲杆、6通槽、7筒体、8吸盘、9缓冲垫、10固定栓、11缓冲筒、12卡板、13限位板、14第一弹簧、15密封塞、16连接杆、17第二弹簧。

具体实施方式

下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。

下面详细描述本专利的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利，而不能理解为对本专利的限制。

在本专利的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利的限制。

在本专利的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。

实施例1

参照图1-2，一种边缘抛光硅片吸附装置，包括基座1，基座1的顶部中间位置焊接有固定架3，且固定架3的顶部中间位置开有通槽6，固定架3靠近通槽6的底部两侧均焊接有支架，且支架的相对一侧外壁焊接有同一个筒体7，筒体7的顶部粘接有插接在通槽6内的吸盘8，且筒体7的底部开有通孔，通孔的内部插接有连接杆16，且连接杆16的底部焊接有限位板13，连接杆16延伸至筒体7内的顶部焊接有固定板，且固定板的外部粘接有密封塞15，将吸盘8内部形成负压，将硅片吸附在吸盘8上，保持硅片的固定性能。

其中，基座1的顶部一侧焊接有轴承座，且轴承座的内壁焊接有转轴2，转轴2的一侧焊接有卡板12。

其中，基座1的外壁四个拐角处均焊接有固定座4，且固定座4的中间位置均开有螺纹孔，螺纹孔的内壁螺纹连接有固定栓10，将整个吸附装置固定在抛光装置上，保持吸附装置整体的固定性。

其中，基座1靠近固定架3的顶部两侧均焊接有缓冲筒11，且缓冲筒11的内部均插接有缓冲杆5，缓冲杆5的底部均焊接有连接板，连接板的底部外壁与缓冲筒11的底部内壁之间焊接有第一弹簧14。

其中，缓冲杆5的顶部外壁和固定架3的顶部两侧均粘接有缓冲垫9，当硅片吸附在装置上时，通过第一弹簧14和缓冲垫9对硅片的底部两侧进行支撑和缓冲，保持硅片在抛光过程中的稳定性能。

工作原理：使用时，使用者通过螺纹孔将固定栓10固定在硅片抛光装置上，从而将整个吸附装置固定在抛光装置上，保持吸附装置整体的固定性，然后将硅片按压在吸盘8上，并通过限位板13将连接杆16向下拉动，使得密封塞15在筒体7内下移，并转动转轴2，将卡板12卡接在限位板13上，使得吸盘8内部形成负压，将硅片吸附在装置上，保持硅片的固定性能，此时硅片的底部两侧会使得缓冲杆5在缓冲筒11内下移，通过第一弹簧14和缓冲垫9对硅片的底部两侧进行支撑和缓冲，保持硅片在抛光过程中的稳定性能。

实施例2

参照图3，一种边缘抛光硅片吸附装置，本实施例相较于实施例1，限位板13的底部两侧与基座1的顶部之间均焊接有第二弹簧17。

工作原理：使用时，使用者通过限位板13将连接杆16向上推动，使得密封塞15在筒体7内下移，再将硅片按压在吸盘8上，缓慢松开限位板13，利用第二弹簧17的复原将限位板13向下拉动，从而使得密封塞15在筒体7内下移，使得吸盘8内部形成负压，将硅片吸附在装置上。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种边缘抛光硅片吸附装置，包括基座(1)，其特征在于，所述基座(1)的顶部中间位置焊接有固定架(3)，且固定架(3)的顶部中间位置开有通槽(6)，所述固定架(3)靠近通槽(6)的底部两侧均焊接有支架，且支架的相对一侧外壁焊接有同一个筒体(7)，所述筒体(7)的顶部粘接有插接在通槽(6)内的吸盘(8)，且筒体(7)的底部开有通孔，所述通孔的内部插接有连接杆(16)，且连接杆(16)的底部焊接有限位板(13)，所述连接杆(16)延伸至筒体(7)内的顶部焊接有固定板，且固定板的外部粘接有密封塞(15)。

2.根据权利要求1所述的一种边缘抛光硅片吸附装置，其特征在于，所述基座(1)的顶部一侧焊接有轴承座，且轴承座的内壁焊接有转轴(2)，转轴(2)的一侧焊接有卡板(12)。

3.根据权利要求2所述的一种边缘抛光硅片吸附装置，其特征在于，所述基座(1)的外壁四个拐角处均焊接有固定座(4)，且固定座(4)的中间位置均开有螺纹孔，螺纹孔的内壁设置有固定栓(10)。

4.根据权利要求3所述的一种边缘抛光硅片吸附装置，其特征在于，所述基座(1)靠近固定架(3)的顶部两侧均焊接有缓冲筒(11)，且缓冲筒(11)的内部均插接有缓冲杆(5)，缓冲杆(5)的底部均焊接有连接板，连接板的底部外壁与缓冲筒(11)的底部内壁之间焊接有第一弹簧(14)。

5.根据权利要求4所述的一种边缘抛光硅片吸附装置，其特征在于，所述缓冲杆(5)的顶部外壁和固定架(3)的顶部两侧均粘接有缓冲垫(9)。

6.根据权利要求1-5任一所述的一种边缘抛光硅片吸附装置，其特征在于，所述限位板(13)的底部两侧与基座(1)的顶部之间均焊接有第二弹簧(17)。

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