CN210126054U - 一种检查装置用移动台 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种检查装置用移动台，本实用新型的检查装置用移动台的特征在于，包括：第一基底；台块，配置在所述第一基底的上侧；第一引导部，用于连接所述第一基底和所述台块，且在所述第一基底和所述台块之间区域提供成为所述台块的旋转中心的基准点；及旋转调节部，用于使所述台块以所述基准点为中心进行旋转。

Description

一种检查装置用移动台

技术领域

本实用新型涉及一种检查装置用移动台，更为详细地，涉及一种如下的检查装置用移动台：通过在同一个基准点上实现用于使台块旋转及倾斜的移动，从而能够防止当台块旋转时倾斜角度改变。

背景技术

一般来讲，如各种光学产品及电子产品等精度较高的产品在完成制造后通常会在额外的检测台上进行检测，以确认是否为合格品。

此外，所述检查台为了精确地检查产品，用于安装产品的台的上表面需要保持水平状态，即需要保持台的平坦度，以便防止台向一侧倾斜。

为了调节所述台的平坦度，如图1所示，以往通过台角部的TX及TY轴移动来调节台的平坦度，所述台角部的TX及TY轴用于调节台的R轴旋转和台的倾斜。

具体地，以往的台80通过在调节块30上支撑台80的移动块70来调节X及Y轴位置，并且通过在调节块30上支撑台80的两侧角部的一对第一钢球52来调节倾斜角度，通过由支撑台80的调节块30在基底块10上以R轴为中心旋转来调节旋转角度。

如此，根据以往的结构，在调节块30上调节台80的水平位置及倾斜，通过调节块30在基底块10上以R轴为中心旋转来调节台80的旋转角度，但在台80以R轴为中心旋转时，用于调节台80倾斜的调节块30与台80一起旋转，因此具有支撑被检查体的台80的倾斜角度随着调节块30的旋转而改变从而需要重新调节的问题。

专利文献1：韩国专利第10-1706106号(2017年2月13日)

实用新型内容

因此，本实用新型是为了解决如上所述以往问题而提出的，其目的是提供一种检查装置用移动台，该检查装置用移动台通过在同一个基准点上实现用于使台块旋转及倾斜的移动，从而能够防止当台块旋转时倾斜角度改变。

此外，提供一种检查装置用移动台，该检查装置用移动台最大限度地缩小台的高度，从而能够有效地应用设置台的检查装置的空间。

所述目的通过本实用新型的检查装置用移动台来实现，该检查装置用移动台的特征在于，包括：第一基底；台块，配置在所述第一基底的上侧；第一引导部，用于连接所述第一基底和所述台块，且在所述第一基底和所述台块之间的区域提供成为所述台块的旋转中心的基准点；及旋转调节部，用于使所述台块以所述基准点为中心进行旋转。

在此，优选所述第一引导部包括：球(sphere)形的基准球，连接在所述第一基底和所述台块中的一个；及夹套，连接在所述第一基底和所述台块中的另一个，并包覆所述基准球的至少一部分，以便能够以所述基准点为中心移动。

此外，优选所述旋转调节部包括：第一调节部，在所述第一基底上配置为能够轴向移动；第一连接片，一端部与所述台块连接，另一端部支撑在所述第一调节部的端部上；及第一弹性支撑部，以所述第一连接片为基准配置在第一调节部的相反侧，用于将所述第一连接片朝向第一调节部弹性支撑。

在此，优选所述第一弹性支撑部包括：支撑杆，前端部与所述第一连接片接触；第一弹簧，用于弹性支撑所述支撑杆的后端部；及固定杆，在所述第一基底上配置为能够轴向移动，且根据移动位置选择性地接触所述支撑杆的后端部。

在此，优选进一步包括：倾斜角调节部，通过使所述台块以所述基准点为中心进行转动来调节倾斜角度。

在此，优选所述倾斜角调节部包括：控制球，配置为在所述第一基底的上表面一侧上可出没，且上端部与所述台块的底面接触；第二调节部，形成有用于安装所述控制球的下端部的倾斜面，且在所述第一基底上配置为在水平方向上能够轴向移动；及第二弹性支撑部，配置在所述第一基底的上表面另一侧，用于弹性支撑所述台块的底面。

在此，优选进一步包括：止挡件，在所述第一基底的上表面中与所述第二弹性支撑部相邻的位置上弹性支撑所述台块的底面。

在此，优选所述止挡件包括：凸起部，在所述第一基底的上表面中与所述第二弹性支撑部相邻的位置上配置为可出没；及调节轴，用于控制所述凸起部的升降。

在此，优选所述倾斜角调节部设置为多个，且分别配置在所述基准点的两侧。

在此，优选进一步包括：水平移动部，用于在所述第一基底的底部使所述第一基底前后左右进行移动。

在此，优选所述水平移动部包括：第二基底；第二引导部，在所述第二基底的上侧配置为能够沿第一轴方向移动；及支撑块，在所述第二引导部的上侧配置为能够沿与第一轴交叉的第二轴方向移动，并支撑所述第一基底的底部。

根据本实用新型，提供一种检查装置用移动台，该检查装置用移动台为通过在同一个基准点上实现用于使台块的旋转及倾斜的移动，从而能够防止当台块旋转时倾斜角度被改变。

此外，提供一种检查装置用移动台，该检查装置用移动台能够最大限度地减小台的高度，从而有效地应用检查装置的空间。

附图说明

图1为以往检查台的立体图。

图2为表示以往检查台的旋转状态的俯视图。

图3为本实用新型的第一实施例的检查装置用移动台的立体图。

图4为图3的分解立体图。

图5为图3的俯视图。

图6为图5的A-A'线剖视图。

图7为图5的B-B'线剖视图。

图8为根据本实用新型的检查装置用移动台的倾斜角调节部的作用图。

图9(a)-(d)为表示根据本实用新型的检查装置用移动台的台块的不同倾斜调节方向的示意图。

图10为根据本实用新型的检查装置用移动台的止挡件的作用图。

图11为根据本实用新型的检查装置用移动台的旋转调节部的作用图。

图12为根据本实用新型的第二实施例的检查装置用移动台的立体图。

图13为图12中所示的水平移动部的分解立体图。

图14为图12中所示的水平移动部的俯视图。

图15为图14的C-C'线剖视图。

图16为图14的D-D'线剖视图。

图17及图18为表示根据本实用新型的第二实施例的检查装置用移动台的水平移动部作用的作用图。

具体实施方式

在对本发明进行说明之前需要说明的是，在多个实施例中，对于具有相同结构的构件使用相同的附图标记，并在第一实施例中进行代表性的说明，在其他实施例中针对与第一实施例不同的结构进行说明。

下面，参照附图对本实用新型的第一实施例的检查装置用移动台进行详细说明。

在附图中，图3为本实用新型的第一实施例的检查装置用移动台的立体图，图4为本实用新型的检查装置用移动台的分解立体图。

如所述图所示的本实用新型的检查装置用移动台100包括第一基底110、台块120、第一引导部130、旋转调节部140、倾斜角调节部150及止挡件160。

所述第一基底110用于支撑所述台块120的底部，在第一基底的上表面中央凹陷形成有用于收容所述第一引导部130的收容槽111。

所述台块120在台块的上表面上可安装被检查体等，所述台块120配置在所述第一基底110的上部。

所述第一引导部130用于连接所述第一基底110和台块120，包括球(sphere) 形的基准球131和夹套132。基准球131被收容于所述第一基底110的收容槽111 内，基准球的下端被固定在所述第一基底110的上表面上，并提供成为所述台块 120的旋转中心的基准点P。在夹套132包覆所述基准球131的底部的状态下，夹套的上端被固定在所述台块120的底面，以便能够以所述基准点P为中心旋转及转动。所述夹套132可被构造为轴承形式，以便在以所述基准球131的基准点P 为中心旋转及转动的过程中最大限度地减小接触摩擦。

所述旋转调节部140以穿过所述基准点P的垂直轴为中心使所述台块120进行旋转，其包括第一调节部141、第一连接片142及第一弹性支撑部143。第一调节部141在所述第一基底110的一侧上配置为沿水平方向能够轴向移动。第一连接片142的一端部连接在所述台块120上，另一端部支撑在所述第一调节部141 的端部上。第一弹性支撑部143以所述第一连接片142为基准配置在所述第一调节部141的相反侧，用于将所述第一连接片142朝向第一调节部141弹性支撑。

在此，所述第一调节部141可由能够微调轴向移动的微米头来构成，所述第一连接片142为了保持与第一调节部141的点接触状态，优选其下端部以球形构成。

在此，所述第一弹性支撑部143包括支撑杆143a，第一弹簧143b及固定杆 143c。支撑杆143a配置为可在与所述第一调节部141相同的轴线上轴向移动，并其前端部与所述第一连接片142接触。第一弹簧143b将所述支撑杆143a朝向第一连接片142弹性支撑。固定杆143c在所述第一基底110上配置为能够轴向移动，且可根据移动位置，与所述支撑杆143a的后端部接触来限制支撑杆143a的轴向移动。

所述倾斜角调节部150用于调节所述台块120的倾斜角度，包括控制球151、第二调节部152及第二弹性支撑部153。控制球151在所述第一基底110的上表面一侧角部上配置为可出没，且其上端部与所述台块120的底面接触。第二调节部152形成有用于安装所述控制球151的下端部的倾斜面，在所述第一基底110 上配置为沿水平方向能够轴向移动。第二弹性支撑部153配置在从所述控制球151 沿对角线方向横穿台块120的上表面的方向的角部上，用于弹性支撑所述台块120 的底面。这种第二弹性支撑部153可由与所述台块120的底面接触的支撑球153a 及将所述支撑球153a朝向台块120弹性支撑的第二弹簧153b来构成。此外，所述第二调节部152与微米头等连接，因此能够精确地控制轴向移动位置。

所述倾斜角调节部150设置为多个，并以所述基准点P为中心对称的形式配置。因此，在所述台块120的四个角部中的两个相邻角部上设置有一对控制球151，在位于相反侧的两个角部上设置有一对第二弹性支撑部153。

所述止挡件160用于在所述第一基底110的上表面中与所述第二弹性支撑部 153相邻的位置上，具体在一对第二弹性支撑部153之间的区域上选择性地支撑所述台块120的底面，所述止挡件160包括凸起部161及调节轴162。凸起部161 在所述第一基底110的上表面中与所述第二弹性支撑部153相邻的位置上配置为可出没，调节轴162用于控制凸起部161的升降。这种调节轴162可构成为包括用于支撑所述凸起部161的下端部的倾斜面，且与所述第一基底110螺合，从而能够根据旋转方向沿轴向移动的同时控制所述凸起部161的升降。

下面，对上述检查装置用移动台的第一实施例的操作进行说明。

在附图中，图5为本实用新型的检查装置用移动台的俯视图，图6为图5的 A-A'线剖视图，图7为图5的B-B'线剖视图，图8为根据本实用新型的检查装置用移动台的倾斜角调节部的作用图，图9为表示根据本实用新型的检查装置用移动台的台块的倾斜调节方向的示意图，图10为根据本实用新型的检查装置用移动台的止挡件的作用图，图11为根据本实用新型的检查装置用移动台的旋转调节部的作用图。

首先，如图6所示，在第一基底110的上侧配置有台块120，设置在第一基底110的上表面上的收容槽111中固定有第一引导部130的基准球131，包覆所述基准球131底部的夹套132固定在所述台块120的底面。即，所述台块120通过所述第一引导部130与第一基底110连接，并以所述基准球131的中心即基准点P为中心能够转动或旋转。

在通过使所述台块120转动来调节倾斜的倾斜角调节部150中，用于支撑所述台块120的一侧角部下端的控制球151在所述第一基底110的上表面一侧角部上配置为沿垂直方向可出没，第二调节部152的倾斜面支撑所述控制球151的下端。因此，当调节所述第二调节部152的轴方向位置时，控制球151的垂直方向位置根据用于安装控制球151的倾斜面的位置来得到控制，因此能够通过第二调节部152控制台块120的倾斜。另外，台块120的相反侧角部通过第二弹性支撑部153朝向上侧方向得到支撑，因此能够保持台块120的底面与所述控制球151 弹性支撑的状态。

这种倾斜角调节部150以基准点P为中心在两侧对称配置(参照图5)，并且能够分别调节所述台块120的两个角部的高度，因此能够在多种方向上控制台块120的倾斜。

即，由所述第一引导部130的基准球131的中心即基准点P和在所述台块120 的一侧底部支撑两个角部的一对控制球151来三点支撑所述台块120，且可根据所述一对控制球151的高度来调节所述台块120具有不同的倾斜。

另外，如图7所示，在台块120的另一侧底部配置有止挡件160的凸起部161, 该凸起部161在第一基底110的上表面上可出没，所述凸起部161的下端安装于调节轴162的倾斜面。因此，可根据所述调节轴162的轴向位置来调节凸起部161 的高度，从而选择性地支撑台块120的另一侧底部。

接下来，如图5所示，旋转调节部140的第一调节部141以水平方向支撑在所述第一基底110的一侧，固定在台块120的第一连接片142在与所述第一调节部141的前端接触的状态下，朝向第一调节部141受到第一弹性支撑部143的弹性支撑。因此，若调节第一调节部141的轴方位置，则与台块120连接的第一连接片142移位，由此所述台块120以基准点P为中心旋转，因此能够通过第一调节部141控制台块120的旋转角度。

另外，在所述第一弹性支撑部143中，受到第一弹簧143b的弹性支撑的支撑杆143a将所述第一连接片142朝向第一调节部141弹性支撑，并可根据配置在与所述支撑杆143a相同轴线上的固定杆143c的轴向位置选择性地固定所述支撑杆 143a的位置。即，若通过所述固定杆143c固定所述支撑杆143a的轴向位置，则与台块120连接的第一连接片142被定位在第一调节部141和支撑杆143a之间，因此能够防止所述台块120在外力下任意旋转。

具体查看通过所述倾斜角调节部150控制台块120的倾斜的过程，如图8所示，若使第二调节部152轴向移位，则安装在第二调节部152的倾斜面上的控制球151沿上侧方向移动的同时，将台块120的角部沿上侧方向推动，台块120以由第一引导部130的基准球131提供的基准点P为中心转动。此时，位于相反侧角部的第二弹性支撑部的支撑球153a通过台块120的转动而下降，用于弹性支撑支撑球153a的第二弹簧153b被压缩。

即，台块120通过基准点P和一对控制球151受到三点支撑而确定倾斜，并以基准点P为中心旋转。因此，如图9的(a)所示，若使一侧控制球151上升，则所述台块120以用于连接基准点P和另一侧控制球151'的线a1为中心转动；如图9的(b)所示，若使另一侧控制球151'上升，则所述台块120以用于连接基准点P和一侧控制球151的线a2为中心转动；如图9的(c)所示，若使一侧控制球151上升且使另一侧控制球151'下降，则所述台块120以线a3为中心转动，该线a3用于连接所述基准点P和将所述两侧控制球151及151'连接的线的中心；如图9的(d)所示，若使两侧控制球151及151'均上升，则所述台块120以线a4 为中心转动，该线a4为在所述基准点P上与连接所述两侧控制球151及151'的线并排延伸的线。

另外，如上所述，在通过倾斜角调节部150调节台块120的倾斜的状态下，台块120成为如下的状态：其受到位于基准点P一侧的一对控制球151的支撑，并且在基准点P的另一侧上受到一对第二弹性支撑部153的弹性支撑，因此能够通过向下加压台块120的另一侧的外力任意改变台块120的倾斜。

因此，在将台块120调节为期望的倾斜角度后，如图10所示，若使止挡件 160的调节轴162沿轴向前进，以使支撑在调节轴162的倾斜面上的凸起部161 上升，则止挡件160的凸起部161就会支撑台块120的另一侧底部，因此能够防止通过外力任意改变台块120的倾斜。

接下来查看通过所述旋转调节部140使台块120进行旋转的过程，如图11 所示，若调节第一调节部141的轴向位置，则随着与台块120连接的第一连接片 142的移动，台块120以基准点P为中心旋转。

此时，由于所述第一连接片142受到第一弹性支撑部143的弹性支撑而保持紧贴第一调节部141的状态，因此即便第一调节部141后退，台块120也会根据第一调节部141的轴向位置而旋转。

另外，由于与所述台块120连接的第一连接片142受到第一弹性支撑部143 的弹性支撑，因此所述台块120有可能在沿弹性压缩所述第一弹性支撑部143的方向作用的外力下任意旋转。

因此，若使位于支撑杆143a后方的固定杆143c沿轴向进行移动并与支撑杆 143a的后端接触，则能够固定用于支撑第一连接片142的另一侧的支撑杆143a 的轴向位置，因此能够防止台块120在外力下任意旋转。

在本实施例中，所述台块120由支撑在第一基底110上的基准点P和一对控制球151三点支撑而确定倾斜，且通过所述旋转调节部140以穿过所述基准点P 的垂直轴为中心旋转。即，在通过所述旋转调节部140使台块120旋转的过程中，所述一对控制球151不移位，因此在所述台块120旋转的过程中，能够使通过所述倾斜角调节部150确定的台块120的倾斜不改变。

下面，对本实用新型的第二实施例的检查装置用移动台进行说明。

在附图中，图12为根据本实用新型的第二实施例的检查装置用移动台的立体图，图13为图12中所示的水平移动部的分解立体图。

如图12及图13所示，本实用新型的第二实施例的检查装置用移动台与第一实施例的区别在于，第二实施例在第一实施例的检查装置用移动台100的底部上进一步配置有水平移动部200。

所述水平移动部200用于在所述第一基底110的底部上使所述第一基底110 前后左右进行移动，包括第二基底210、相对于所述第二基底210沿第一轴X方向水平移动的第二引导部230、用于支撑所述第一基底110的底部且相对于所述第二引导部230沿第二轴Y方向水平移动的支撑块220、用于控制所述第二引导部230的第一轴X方向位置的第一轴调节部240及用于控制所述支撑块220的第二轴Y方向位置的第二轴调节部250。

所述第二基底210用于支撑所述支撑块220的底部，在第二基底的上表面形成有收容所述第二引导部230的下部以使其能够沿第一轴X方向移动的第一收容槽211。

所述支撑块220配置在所述第二基底210的上部，支撑块的上表面支撑所述第一基底110的底部，支撑块的底面形成有收容所述第二引导部230的上部并使其能够沿与所述第一轴X正交的第二轴Y方向移动的第二收容槽221。虽然在本实施例中以所述支撑块220和第一基底110分开构成的例为准进行说明，但所述支撑块220和第一基底110也可一体构成。

所述第二引导部230配置在所述第二基底210和支撑块220之间，用于引导所述支撑块220在第一轴X及第二轴Y方向的水平移动，包括第一板231、第二板232、第一导轨233及第二导轨234。第一板231能够沿第一轴X方向移动地收容在所述第二基底210的第一收容槽211中。第二板232固定在所述第一板231 的上部，并且能够沿第二轴Y方向移动地收容在所述支撑块220的第二收容槽 221。第一导轨233与所述第一板231的与所述第一轴X并排的两侧端部可滑动地连接，且固定在所述第一收容槽211的两侧。第二导轨234与所述第二板232的与所述第二轴Y并排的两侧端部可滑动地连接，且固定在所述第二收容槽221的两侧。

所述第一轴调节部240包括第三调节部241、第二连接片242及第一支撑部 243。第三调节部241能够沿第一轴X方向移动地支撑在所述第二基底210的一侧。在第二连接片242中，一端部与所述第二板232连接，另一端部与所述第三调节部241的端部接触。第一支撑部243以所述第二连接片242为基准配置在第三调节部241的相反侧，用于将所述第二连接片242朝向第三调节部241支撑。

所述第二轴调节部250包括第四调节部251、第三连接片252及第二支撑部 253。第四调节部251能够沿第二轴Y方向移动地支撑在所述第二引导部230的第二板232一侧上。在第三连接片252中，一端部与所述支撑块220连接，另一端部与所述第四调节部251的端部接触。第二支撑部253以所述第三连接片252为基准配置在第四调节部251的相反侧，用于将所述第三连接片252朝向第四调节部251支撑。

在此，所述第三调节部241及第四调节部251可以与微米头等连接，从而精确地控制轴向移动位置。并且，如所述旋转调节部140的第一弹性支撑部143，优选所述第一支撑部243及第二支撑部253由支撑杆143a、第一弹簧143b及固定杆143c来构成，且构成为弹性支撑所述第二连接片242及第三连接片252或选择性地固定支撑位置。

下面，对上述水平移动部200的操作进行说明。

在附图中，图14为图12中所示的水平移动部的俯视图，图15为图14的C-C' 线剖视图，图16为图14的D-D'线剖视图，图17及图18为表示根据本实用新型的第二实施例的检查装置用移动台的水平移动部的作用的作用图。

如图14至图16所示，收容于第二基底210的第一收容槽211中的第二引导部230的第一板231通过第一导轨233与第二基底210连接，且其第一轴方向的移动受到引导，支撑块220通过第二导轨234与收容于第二收容槽221中的第二板232连接，且其第二轴方向的移动受到引导。

即，所述支撑块220在所述第二基底210上与第二引导部230一起沿第一导轨233在第一轴方向上滑动，且在第二引导部230上沿第二导轨234在第二轴方向上滑动。

所述支撑块220的第一轴方向位置由第一轴调节部240来确定，第二轴方向位置由第二轴调节部250来确定。

具体地，第一轴调节部240的第三调节部241以能够轴向移动的状态支撑在第二基底210的一侧上，第二连接片242在其一端部固定在所述第二引导部230 的第二板232上的状态下，另一端部与所述第三调节部241的端部接触。此时，所述第二连接片242的另一侧受到第一支撑部243的支撑，所述第一支撑部243 能够轴向移动地支撑在第二基底210上，因此防止第二连接片242任意移位。

此外，第二轴调节部250的第四调节部251以能够轴向移动的状态支撑在第二引导部230的第一板231的一侧上，第三连接片252在其一端部固定在所述支撑块220上的状态下，另一端与所述第四调节部251的端部接触。所述第三连接片252的另一侧受到第二支撑部253的支撑，所述第二支撑部253能够轴向移动地支撑在第一板231上，因此防止第三连接片252任意移位。

另外，构成第二引导部230的第一板231和第二板232在分别收容在第一收容槽211和第二收容槽221的状态下引导支撑块220的第一轴及第二轴方向的移动，因此能够最大限度地减小水平移动部200的厚度。

具体查看通过所述第一轴调节部240对支撑块220沿第一轴方向进行移动的过程，如图17及图15所示，若使支撑在第二基底210上的第三调节部241沿第一轴方向延伸，则与所述第三调节部241的端部接触的第二连接片242受到沿第三调节部241的延伸方向的加压力。

此时，由于所述第二连接片242固定在第二引导部230的第二板232上，且对于第二板232来说，第一导轨233引导固定在第二板232下部的第一板231在第一轴方向的移动，因此通过施加到所述第二连接片242的加压力，第一板231 及第二板232沿第一轴方向移动第三调节部241的延伸长度。

接下来查看通过所述第二轴调节部250对支撑块220沿第二轴方向进行移动的过程，如图18及图16所示，若使支撑在第一板231上的第四调节部251沿第二轴方向进行延伸，则与所述第四调节部251的端部接触的第三连接片252受到沿第四调节部251的延伸方向加压力。

此时，由于所述第三连接片252固定在支撑块220上，且对于第二板232来说，通过第二导轨234引导所述第二板232在第二轴方向的移动，因此通过施加到所述第三连接片252的加压力，支撑块220沿第二轴方向移动第四调节部251 的延伸长度。

在如上所述的本实施例中，通过在本实用新型的检查装置用移动台的底部进一步配置水平移动部200，不仅能够精确地调节设置在台块120上的被检查体的旋转及倾斜，还能精确地调节水平位置。

本实用新型的权利范围并不限于上述实施例，在所附的权利要求书的范围内可由多种形式的实施例实现。在不脱离权利要求书所要求保护的本实用新型精神的范围内，本实用新型所属技术领域的技术人员均能变形的各种范围也属于本实用新型的权利要求书所记载的范围内。

附图标记说明

100：检查装置用移动台 110：第一基底 111：收容槽

120：台块 130：第一引导部 131：基准球

132：夹套 140：旋转调节部 141：第一调节部

142：第一连接片 143：第一弹性支撑部 143a：支撑杆

143b：第一弹簧 143c：固定杆 150：倾斜角调节部

151：控制球 152：第二调节部 153：第二弹性支撑部

153a：支撑球 153b：第二弹簧 160：止挡件

161：凸起部 162：调节轴 200：水平移动部

210：第二基底 211：第一收容槽 220：支撑块

221：第二收容槽 230：第二引导部 231：第一板

232：第二板 233：第一导轨 234：第二导轨

240：第一轴调节部 241：第三调节部 242：第二连接片

243：第一支撑部 250：第二轴调节部 251：第四调节部

252：第三连接片 253：第二支撑部 P：基准点

Claims (11)

1.一种检查装置用移动台，包括：

第一基底；

台块，配置在所述第一基底的上侧；

第一引导部，用于连接所述第一基底和所述台块，且在所述第一基底和所述台块之间的区域提供成为所述台块的旋转中心的基准点；及

旋转调节部，用于使所述台块以所述基准点为中心进行旋转。

2.根据权利要求1所述的检查装置用移动台，其中，

所述第一引导部包括：

球形的基准球，连接在所述第一基底和所述台块中的一个；及

夹套，连接在所述第一基底和所述台块中的另一个，并包覆所述基准球的至少一部分，以便能够以所述基准点为中心移动。

3.根据权利要求1所述的检查装置用移动台，其中，

所述旋转调节部包括：

第一调节部，在所述第一基底上配置为能够轴向移动；

第一连接片，一端部与所述台块连接，另一端部支撑在所述第一调节部的端部上；及

第一弹性支撑部，以所述第一连接片为基准配置在第一调节部的相反侧，用于将所述第一连接片朝向第一调节部弹性支撑。

4.根据权利要求3所述的检查装置用移动台，其中，

所述第一弹性支撑部包括：

支撑杆，前端部与所述第一连接片接触；

第一弹簧，用于弹性支撑所述支撑杆的后端部；及

固定杆，在所述第一基底上配置为能够轴向移动，且根据移动位置选择性地接触所述支撑杆的后端部。

5.根据权利要求2所述的检查装置用移动台，进一步包括：

倾斜角调节部，通过使所述台块以所述基准点为中心进行转动来调节倾斜角度。

6.根据权利要求5所述的检查装置用移动台，其中，

所述倾斜角调节部包括：

控制球，配置为在所述第一基底的上表面一侧上可出没，且上端部与所述台块的底面接触；

第二调节部，形成有用于安装所述控制球的下端部的倾斜面，且在所述第一基底上配置为在水平方向上能够轴向移动；及

第二弹性支撑部，配置在所述第一基底的上表面另一侧，用于弹性支撑所述台块的底面。

7.根据权利要求6所述的检查装置用移动台，进一步包括：

止挡件，在所述第一基底的上表面中与所述第二弹性支撑部相邻的位置上弹性支撑所述台块的底面。

8.根据权利要求7所述的检查装置用移动台，其中，

所述止挡件包括：凸起部，在所述第一基底的上表面中与所述第二弹性支撑部相邻的位置上配置为可出没；及调节轴，用于控制所述凸起部的升降。

9.根据权利要求5所述的检查装置用移动台，其中，

所述倾斜角调节部设置为多个，且分别配置在所述基准点的两侧。

10.根据权利要求1所述的检查装置用移动台，进一步包括：

水平移动部，用于在所述第一基底的底部使所述第一基底前后左右进行移动。

11.根据权利要求10所述的检查装置用移动台，其中，

所述水平移动部包括：

第二基底；

第二引导部，在所述第二基底的上侧配置为能够沿第一轴方向移动；及

支撑块，在所述第二引导部的上侧配置为能够沿与第一轴交叉的第二轴方向移动，并支撑所述第一基底的底部。

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