CN210122328U - 硅片缓存机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片缓存机，包括缓存机构和传输机构；传输机构具有同步移动的多组传送带；缓存机构设置在传送带移动方向上的目标位置，其具有同步升降的多组缓存架；每组缓存架上均设有沿竖直方向彼此间隔排布的多个支架，两相邻支架之间具有用于容纳硅片边部的竖直间隙；传送带上的硅片被传送至目标位置时，硅片的边部进入缓存架上与之等高的竖直间隙；缓存架上升时，支架撑托硅片上升，使得传送带上的硅片移位至缓存架上；缓存架下降时，缓存架上的硅片下料至传送带上。本实用新型的缓存架配置在硅片流水线生产的两套设备之间，运行方向的前段设备暂停时逐层缓存硅片，设备启用时逐层缓存的硅片下料至流水线上，避免设备暂停过程中硅片受到损伤。

Description

硅片缓存机

技术领域

本实用新型涉及硅片自动化设备技术领域，具体涉及一种硅片缓存机。

背景技术

硅片的流水线生产中，当运行方向的前段设备出现故障暂停、而与之紧邻的位于运行方向后段的设备不能立即停止运行时，又或者即使前端设备出现故障时立即切断后段设备时，两设备之间都会积压部分硅片；比如硅片的工艺机和下料机，工艺机中出来的硅片进入下料机，当下料机出现故障暂停时，工艺机和下料机之间会积压部分硅片，硅片堆积放置难免会因为摩擦而产生划伤，因此，需要在两套设备之间放置缓存机构，在设备出现故障时能够暂时的缓存硅片，避免设备维修过程中硅片受到损伤。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种硅片缓存机，配置在硅片流水线生产的两套设备之间，运行方向的前段设备暂停时逐层缓存硅片，设备启用时逐层缓存的硅片下料至流水线上，避免设备暂停过程中硅片受到损伤；另一方面，优化结构设计的缓存机，在减小设备体积、精简动力源的情况下做到大批量缓存硅片。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种硅片缓存机，包括缓存机构和传输机构；

所述传输机构具有多组传送带，所述多组传送带沿水平方向依次并列排布，且所述多组传送带均连接驱动器一，所述多组传送带在驱动器一的驱动下同步移动；所述传送带用于输送硅片、且所述硅片沿垂直于其传送方向的两侧边部均脱离传送带向外侧延伸；

所述缓存机构设置在传送带移动方向上的目标位置，其具有多组缓存架，所述多组缓存架沿水平方向依次并列排布，且所述多组缓存架均连接驱动器二，所述多组缓存架在驱动器二的驱动下同步升降；每组传送带均对应一组缓存架、且各所述缓存架均设置在与之对应的传送带的外侧；

每组所述缓存架上均设有多个支架，多个所述支架沿竖直方向彼此间隔的固定在缓存架上，所述支架的另一端向传送带方向延伸，两相邻支架之间具有用于容纳硅片边部的竖直间隙；

所述传送带上的硅片被传送至所述目标位置时，所述硅片的两侧边部均进入缓存架上与之等高的竖直间隙；所述缓存架上升时，所述支架撑托硅片上升，使得传送带上的硅片移位至缓存架上；所述缓存架下降时，缓存架上的硅片下料至传送带上。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括各所述传送带均包括彼此平行、且间隔设置的两组皮带，所述两组皮带的两端分别套设在一对主动皮带轮和一对从动皮带轮上，所述一对主动皮带轮共轴线连接在主动轴上，所述一对从动皮带轮共轴线连接在从动轴上；所述多组传送带的主动轴通过联轴器两两连接，所有主动轴连接后的整体连接驱动器一。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所有传送带的两组皮带之间均设有阻挡器，多组所述阻挡器均连接驱动器三，所述多组阻挡器在驱动器三的驱动下同步升降；沿传送带的传送方向，所述阻挡器设置在缓存架的外侧；

所述硅片的边部进入缓存架上与之等高的竖直间隙时，所述阻挡器上升阻挡硅片。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述阻挡器为竖向延伸的阻挡板，各所述阻挡板均固定在连接部件上，所述连接部件长度延伸方向上间隔设有两组驱动器三；所述阻挡板上接触于硅片的部位设有倾斜导向部。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述驱动器三为气缸。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所有传送带的两组皮带之间均设有接近传感器，所述接近传感器靠近支架的中心位置设置。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括环绕的皮带之间设有支撑梁，所述支撑梁上安装有沿传送带传送方向延伸的纠偏导向部件，所述纠偏导向部件的另一端向缓存架方向水平延伸。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述多组缓存架均安装在型材骨架上，所述型材骨架连接至相对设置的两组丝杆上，所述两组丝杆的动力端通过同步带连接驱动电机。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述缓存架具有安装在型材骨架上的立板，每个缓存架的多个所述支架沿竖直方向彼此间隔的固定在所述立板上；各所述支架均具有两对支板，所述两对支板背靠式安装在立板上，位于同侧的两个所述支板沿硅片的传送方向间隔设置。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括同步带上设有张紧轮。

本实用新型的有益效果：

其一、本实用新型的硅片缓存机，配置在硅片流水线生产的两套设备之间(比如硅片工艺机和硅片下料机之间)，运行方向前端设备暂停时逐层缓存硅片，设备启用时逐层缓存的硅片下料至流水线上，避免设备暂停过程中硅片受到损伤。

其二、本实用新型的硅片缓存机，传送机构与流水线对接，缓存架上升时将传送机构上的硅片带走并缓存在当前支架上，缓存架连续上升，将由传送机构输送的多个硅片逐片缓存至缓存架的不同支架上；反之，缓存架下降时，与传送带紧邻、且位于传送带上方的硅片下料至传送带上；缓存架连续下降，将逐层缓存的多个硅片逐片下料至传送带上。基于此优化结构设计的缓存机构，借助一套结构设计同时实现存料和放料(或卸料)，以此能够简化设备的结构设计，同时设备能够稳定、连贯运行。

其三、本实用新型优化结构设计的硅片缓存机，整个缓存机只需要配置两台驱动电机，分别带动多组传送带同步移动，多组缓存架同步升降，做到缓存大批量硅片。比如，一套硅片缓存机，配置五组传送带、五组缓存架，每组缓存架配置二十组支架，也就是配置两台驱动电机的情况下，一套缓存机能够配合缓存一百片硅片。以此设计的硅片缓存机在减小设备体积、精简动力源的情况下能够做到大批量缓存硅片，最大程度降低设备制造成本和运行成本。

附图说明

图1是需要缓存的硅片的结构示意图；

图2是本实用新型优选实施例中硅片缓存机的结构示意图；

图3是图2所示硅片缓存机中传输机构的结构示意图；

图4是图2所示硅片缓存机中缓存机构的结构示意图；

图5是图2所示硅片缓存机中阻挡器的结构示意图。

图中标号说明：1-硅片，13-边部；

2-传输机构，21-传送带，22-驱动器一，23-皮带，24-主动轴，25-联轴器，26-阻挡器，27-驱动器三，28-连接部件，29-倾斜导向部，30-接近传感器，31-支撑梁，32-纠偏导向部件；

4-缓存机构，41-缓存架，42-支板，43-竖直间隙，44-型材骨架，45-丝杆，46-同步带，47-立板，48-张紧轮，49-驱动器二。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。

实施例

本实施例公开一种硅片缓存机，适用于配置在硅片流水线生产的两台设备之间，比如硅片工艺机和硅片下料机之间。参照图1～5所示，本申请的硅片缓存机，包括缓存机构2和传输机构4，传输机构4与硅片流水线对接，将硅片流水线上的硅片传送目标位置，缓存机构2设置在目标位置，主动将传输机构4上的硅片带走并逐层缓存。本实施例技术方案中，缓存机构2和传输机构4的优选结构如下：

一、传输机构4

如图2～3所示，上述传输机构4具有五组传送带21，五组传送带21沿水平方向依次并列排布，五组传送带21均连接驱动器一22，五组传送带21在驱动器一22的驱动下同步移动。如图3所示，定义五组传送带21在水平面上沿X轴方向依次并列排布，传送带21在水平面上沿Y轴方向移动。上述传送带21用于输送硅片1，如图1所示的硅片1位于传送带21上时，硅片1沿垂直于其传送方向的两侧(即沿X轴方向延伸的两侧)边部13均脱离传送带21向外侧延伸，该边部13用于与缓存机构接触，使得整个硅片借助其边部13搭载在缓存机构上。

另，本领域技术人员根据实际使用需要，能够调整传输机构配置传送带数量，比如，配置两组传送带、四组传送带、七组传送带、八组传送带、甚至更多组传送带。

本申请的五组传送带在驱动器一22的驱动下同步移动，其优选结构设计如下：

上述五组传送带的结构相同，其均包括彼此平行、且间隔设置的两组皮带23，上述两组皮带23的两端分别套设在一对主动皮带轮和一对从动皮带轮上，上述一对主动皮带轮共轴线连接在主动轴24上，上述一对从动皮带轮共轴线连接在从动轴上；上述五组传送带21的主动轴24通过联轴器25两两连接，所有主动轴24连接后的整体连接驱动器一22。由一对主动皮带轮和一对从动皮带轮带动两组皮带同步移动为现有技术，其实现过程和工作原理此处不再赘述。

本实施例技术方案技术方案中，上述驱动器一22优选使用电机，本领域技术人员，根据实际使用需要，可以变换电机的型号和类型。

一部电机带动五组传动带同步沿Y轴方向输送硅片1。

二、缓存机构4

上述缓存机构4设置在传送带21移动方向上的目标位置，此处的目标位置为硅片1从传送带21被送入缓存机构4上的初始位置。如图2、4所示，上述缓存机构4具有五组缓存架41，上述五组缓存架41沿X轴方向依次并列排布，以上五组传送带21分别一一对应五组缓存架41配置，且每组缓存架41均设置在与之对应的传送带21的外侧。上述五组缓存架41均连接驱动器二49，上述五组缓存架41在驱动器二49的驱动下同步升降。本领域技术人员根据实际使用需要，能够调整缓存机构配置缓存架的数量，比如，配置两组缓存架、四组缓存架、七组缓存架、八组缓存架、甚至更多组缓存架。

本申请的五组缓存架41均连接驱动器二49，其具体实现方式如下：

如图4所示，上述五组缓存架41均安装在型材骨架44上，上述型材骨架44连接至相对设置的两组丝杆45上，上述两组丝杆45的动力端通过同步带46连接驱动器二49，同步带46上设有张紧轮48，用于调整同步带46的张力，确保两组丝杆45在一个动力源的驱动下同步动作。本实施例技术方案技术方案中，上述驱动器二49优选使用电机，本领域技术人员，根据实际使用需要，可以变换电机的型号和类型。

上述传送带21上的硅片1被传送至上述目标位置时，上述硅片1的两侧边部13均进入缓存架41上与之等高的竖直间隙43；此处的竖直间隙43位于竖直方向上上下设置的第一支架和第二支架之间，上述缓存架41上升时，第二支架撑托硅片1上升，使得传送带21上的硅片1移位至缓存架41上；上述缓存架41下降时，缓存架41上的硅片1下料至传送带21上。

本实施例技术方案中，每组缓存架41的结构相同，其均具有立板47和二十个支架，五组缓存架的立板47均安装在型材骨架44上，二十个支架沿竖直方向彼此间隔的固定在立板47上，上述支架的另一端向传送带21方向延伸，两相邻支架之间具有用于容纳硅片边部的竖直间隙43。进一步的，上述每个支架均具有两对支板42，上述两对支板42背靠式安装在立板47上，位于同侧的两个上述支板42沿硅片的传送方向间隔设置。以此，一个支架具有四个支板42，四个支板42分别对应四边形结构的硅片的四个边角配置，上下支架的八个支板42配合形成四个竖直间隙分别用于容纳硅片1的四个边角。

另，本领域技术人员根据实际使用需要，能够调整每个缓存架41配置支架的数量，比如，配置十五个支架、十八个支架、二十五个支架、三十个支架、甚至更多个支架灯。

为了与硅片流水线无缝对接，本申请的传送机构连续运行，为了确保传送机构上的硅片顺利进入缓存架41，本申请所有传送带21的两组皮带23之间均设有阻挡器26，五组阻挡器26均连接驱动器三27，上述五组阻挡器26在驱动器三27的驱动下同步升降；沿传送带21的传送方向，上述阻挡器26设置在缓存架41的外侧；上述硅片1的边部13进入缓存架41上与之等高的竖直间隙43时，上述阻挡器26上升阻挡硅片1，将硅片1限位在目标位置，确保随后的缓存架41上升过程中将目标位置处的硅片带走。

具体的，如图5所示，上述阻挡器26为竖向延伸的阻挡板，各上述阻挡板均固定在连接部件28上，上述连接部件28长度延伸方向上间隔设有两组驱动器三27；上述阻挡板上接触于硅片1的部位设有倾斜导向部29。倾斜导向部26起到调整硅片1位置的作用，确保硅片1在目标位置处被缓存架带走。设置两组驱动器三27，能够均衡施加到五组阻挡器26上的驱动力，确保五组阻挡器26同步稳定的动作。本实施例技术方案技术方案中，上述驱动27优选使用气缸，本领域技术人员，根据实际使用需要，可以变换气缸的型号和类型。

环绕的皮带23之间设有支撑梁31，上述支撑梁31上安装有沿传送带21传送方向延伸的纠偏导向部件32，上述纠偏导向部件32的另一端向缓存架41方向水平延伸。固定在支撑梁31上的纠偏导向部件32固定不动，皮带23带动硅片移动时先进入纠偏导向部32，后进入目标位置，此处的纠偏导向部件32沿硅片的宽度方向(即垂直于其传送方向)调整硅片的位置，确保硅片以目标位姿进入目标位置。

进一步的，为了确保硅片进入目标位置时，阻挡器26、缓存架41依次动作，本申请所有传送带21的两组皮带23之间均设有接近传感器30，上述接近传感器30安装在支撑梁31上，上述接近传感器30靠近支架的中心位置设置。硅片靠近目标位置时，接近传感器30反馈信号，随后阻挡器26上升。通过调整接近传感器30反馈信号与阻挡器26上升之间的延时，使得硅片进入目标位置时阻挡器26立即上升。阻挡器26上升后驱动器三27反馈信号，随后缓存架41上升。

以上所述实施例仅是为充分说明本实用新型而所举的较佳的实施例，本实用新型的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本实用新型基础上所作的等同替代或变换，均在本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。

Claims (10)

1.一种硅片缓存机，其特征在于：包括缓存机构和传输机构；

所述传输机构具有多组传送带，所述多组传送带沿水平方向依次并列排布，且所述多组传送带均连接驱动器一，所述多组传送带在驱动器一的驱动下同步移动；所述传送带用于输送硅片、且所述硅片沿垂直于其传送方向的两侧边部均脱离传送带向外侧延伸；

所述缓存机构设置在传送带移动方向上的目标位置，其具有多组缓存架，所述多组缓存架沿水平方向依次并列排布，且所述多组缓存架均连接驱动器二，所述多组缓存架在驱动器二的驱动下同步升降；每组传送带均对应一组缓存架、且各所述缓存架均设置在与之对应的传送带的外侧；

每组所述缓存架上均设有多个支架，多个所述支架沿竖直方向彼此间隔的固定在缓存架上，所述支架的另一端向传送带方向延伸，两相邻支架之间具有用于容纳硅片边部的竖直间隙；

所述传送带上的硅片被传送至所述目标位置时，所述硅片的两侧边部均进入缓存架上与之等高的竖直间隙；所述缓存架上升时，所述支架撑托硅片上升，使得传送带上的硅片移位至缓存架上；所述缓存架下降时，缓存架上的硅片下料至传送带上。

2.如权利要求1所述的硅片缓存机，其特征在于：各所述传送带均包括彼此平行、且间隔设置的两组皮带，所述两组皮带的两端分别套设在一对主动皮带轮和一对从动皮带轮上，所述一对主动皮带轮共轴线连接在主动轴上，所述一对从动皮带轮共轴线连接在从动轴上；所述多组传送带的主动轴通过联轴器两两连接，所有主动轴连接后的整体连接驱动器一。

3.如权利要求2所述的硅片缓存机，其特征在于：所有传送带的两组皮带之间均设有阻挡器，多组所述阻挡器均连接驱动器三，所述多组阻挡器在驱动器三的驱动下同步升降；沿传送带的传送方向，所述阻挡器设置在缓存架的外侧；

所述硅片的边部进入缓存架上与之等高的竖直间隙时，所述阻挡器上升阻挡硅片。

4.如权利要求3所述的硅片缓存机，其特征在于：所述阻挡器为竖向延伸的阻挡板，各所述阻挡板均固定在连接部件上，所述连接部件长度延伸方向上间隔设有两组驱动器三；所述阻挡板上接触于硅片的部位设有倾斜导向部。

5.如权利要求3或4所述的硅片缓存机，其特征在于：所述驱动器三为气缸。

6.如权利要求2所述的硅片缓存机，其特征在于：所有传送带的两组皮带之间均设有接近传感器，所述接近传感器靠近支架的中心位置设置。

7.如权利要求2所述的硅片缓存机，其特征在于：环绕的皮带之间设有支撑梁，所述支撑梁上安装有沿传送带传送方向延伸的纠偏导向部件，所述纠偏导向部件的另一端向缓存架方向水平延伸。

8.如权利要求1所述的硅片缓存机，其特征在于：所述多组缓存架均安装在型材骨架上，所述型材骨架连接至相对设置的两组丝杆上，所述两组丝杆的动力端通过同步带连接驱动电机。

9.如权利要求8所述的硅片缓存机，其特征在于：所述缓存架具有安装在型材骨架上的立板，每个缓存架的多个所述支架沿竖直方向彼此间隔的固定在所述立板上；各所述支架均具有两对支板，所述两对支板背靠式安装在立板上，位于同侧的两个所述支板沿硅片的传送方向间隔设置。

10.如权利要求8所述的硅片缓存机，其特征在于：同步带上设有张紧轮。

Images