CN210090914U - 一种掩膜板清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供的一种掩膜板清洗装置，包括：载台，适于承载掩膜板；吹气管道，用于对所述载台吹气；喷水管道，用于对放置在所述载台上的所述掩膜板喷水；感应器，设置在所述载台上；控制器，与所述感应器电连接，用于在所述感应器感应到所述掩膜板放置在所述载台上时，控制所述吹气管道停止吹气。当掩膜板放置在载台上时，控制器控制吹气管道停止吹气，能够避免喷水管道在对掩膜板喷水清洗时，水进入吹气管道，从而避免吹气管道在吹气干燥的过程中有水从吹气管道中吹出，因此能够避免掩膜板上有水渍残留。

Description

一种掩膜板清洗装置

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，具体涉及一种掩膜板清洗装置。

背景技术

在液晶显示面板制造过程中，曝光是一个关键制程，掩膜板(Mask)是曝光的一个基本工具。掩膜板在使用过程中常常会产生脏污导致品质不良，特别是在接近式曝光过程中，掩膜板脏污会导致曝光出现共同性缺陷，对产品良率影响很大，因此掩膜板的清洗是一个必不可少的作业。

当掩膜板长时间在光刻车间存放，导致部分掩膜板存在表面被酸气腐蚀的现象，因此，在产线使用清洗时，常常存在掩膜板清洗不干净，表面存在水渍残留的问题。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中的掩膜板清洗装置对掩膜板清洗不干净、存在水渍残留的缺陷，从而提供一种能够避免掩膜板水渍残留的掩膜板清洗装置。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的一种掩膜板清洗装置，包括：

载台，适于承载掩膜板；

吹气管道，用于对所述载台吹气；

喷水管道，用于对放置在所述载台上的所述掩膜板喷水；

感应器，设置在所述载台上；

控制器，与所述感应器电连接，用于在所述感应器感应到所述掩膜板放置在所述载台上时，控制所述吹气管道停止吹气。

还包括升降装置，设置在所述载台的下方，用于带动所述载台升降运动，所述载台的上方设有清洗设备。

所述吹气管道、喷水管道设在所述载台的下方，所述载台上设有适于所述吹气管道、喷水管道伸到所述载台上方的通道。

所述升降装置包括气缸、以及可在所述气缸的驱动下进行升降运动的升降轴，所述升降轴的第一端与所述载台连接。

所述升降轴的第二端连接轴承，所述轴承可移动的设置在所述气缸内，并具有上升到最高点的第一位置、以及下降到最低点的第二位置，所述气缸上对应所述第一位置处设有第一感应开关，所述第一感应开关用于控制所述喷水管道的通断。

所述气缸上对应所述第二位置处设有第二感应开关，所述第二感应开关用于控制所述吹气管道的通断。

所述轴承为磁性件，所述第一感应开关、所述第二感应开关均为磁性开关。

所述喷水管道上设有压力调节阀。

所述载台可转动的设置。

还包括设于所述载台上方的干燥设备，用于对所述掩膜板进行吹气干燥。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供的一种掩膜板清洗装置，包括：载台，适于承载掩膜板；吹气管道，用于对所述载台吹气；喷水管道，用于对放置在所述载台上的所述掩膜板喷水；感应器，设置在所述载台上；控制器，与所述感应器电连接，用于在所述感应器感应到所述掩膜板放置在所述载台上时，控制所述吹气管道停止吹气，当掩膜板放置在载台上时，控制器控制吹气管道停止吹气，能够避免喷水管道在对掩膜板喷水清洗时，水进入吹气管道，从而避免吹气管道在吹气干燥的过程中有水从吹气管道中吹出，因此能够避免掩膜板上有水渍残留。

2.本实用新型提供的一种掩膜板清洗装置，还包括升降装置，设置在所述载台的下方，用于带动所述载台升降运动，所述载台的上方设有清洗设备，升降装置能够带动载台上升，将载台上放置的掩膜板上升，清洗设备对掩膜板的正面进行清洗，同时喷水管道能够对掩膜板的背面进行喷水清洗，清洗效率较高。

3.本实用新型提供的一种掩膜板清洗装置，所述吹气管道、喷水管道设在所述载台的下方，所述载台上设有适于所述吹气管道、喷水管道伸到所述载台上方的通道，结构简单紧凑。

4.本实用新型提供的一种掩膜板清洗装置，所述升降装置包括气缸、以及可在所述气缸的驱动下进行升降运动的升降轴，所述升降轴的第一端与所述载台连接，升降装置的结构简单。

5.本实用新型提供的一种掩膜板清洗装置，所述升降轴的第二端连接轴承，所述轴承可移动的设置在所述气缸内，并具有上升到最高点的第一位置、以及下降到最低点的第二位置，所述气缸上对应所述第一位置处设有第一感应开关，所述第一感应开关用于控制所述喷水管道的通断，当轴承移动到第一位置时，第一感应开关闭合，喷水管道开始对掩膜板的背面进行喷水清洗，提升了清洗效率。

6.本实用新型提供的一种掩膜板清洗装置，所述气缸上对应所述第二位置处设有第二感应开关，所述第二感应开关用于控制所述吹气管道的通断，当轴承移动到第二位置，且掩膜板未放置在载台上时，吹气管道对载台进行喷气，保持载台的干燥，避免放置掩膜板时，掩膜板粘附载台上的水。

7.本实用新型提供的一种掩膜板清洗装置，所述轴承为磁性件，所述第一感应开关、所述第二感应开关均为磁性开关，结构简单紧凑，便于自动化清洗，提高了清洗效率。

8.本实用新型提供的一种掩膜板清洗装置，所述喷水管道上设有压力调节阀，能够对喷水管道喷出的水的大小进行调节，避免掩膜板的背面有水渍残留。

9.本实用新型提供的一种掩膜板清洗装置，所述载台可转动的设置，能够将掩膜板上的水渍甩干。

10.本实用新型提供的一种掩膜板清洗装置，还包括设于所述载台上方的干燥设备，用于对所述掩膜板进行吹气干燥，能够防止水渍残留在掩膜板上。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的第一种实施方式中提供的一种掩膜板清洗装置的载台下降到最低点时的结构示意图；

图2为图1所示的载台上升到最高点时的结构示意图；

附图标记说明：

1－载台；2－吹气管道；3－喷水管道；4－气缸；5－升降轴；6－轴承；7－第一感应开关；8－第二感应开关；9－定位结构；10－掩膜板。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例1

掩膜板也称光罩，当掩膜板长时间在光刻车间存放，导致部分掩膜板存在表面被酸气腐蚀的现象，因此，在产线使用清洗时，常常存在掩膜板清洗不干净，表面存在水渍残留的问题。目前对掩膜板进行清洗的过程为采用KOH对掩膜板正面进行清洗，将掩膜板表面残留的光刻胶去除；采用纯水对掩膜板进行清洗，吹气管道对掩膜板吹气干燥，清洗的过程中会有水进入吹气管道中，从而使在吹干的过程中会有水吹到掩膜板的背面，导致掩膜板的表面残留有水渍。

为此，本实施例提供一种掩膜板清洗装置的具体实施方式，包括：适于承载掩膜板10的载台1、吹气管道2、喷水管道3、感应器、控制器。

其中吹气管道2用于对所述载台1吹气；喷水管道3，用于对放置在所述载台1上的所述掩膜板10喷水；感应器设置在所述载台1上；控制器与所述感应器电连接，用于在所述感应器感应到所述掩膜板10放置在所述载台1上时，控制所述吹气管道2停止吹气。当掩膜板10放置在载台1上时，感应器感应到掩膜板10，向控制器发送信号，控制器控制吹气管道2停止吹气，能够避免喷水管道3在对掩膜板10喷水清洗时，水进入吹气管道2，从而避免吹气管道2在吹气干燥的过程中有水从吹气管道2中吹出，因此能够避免掩膜板10上有水渍残留。

在本实施方式中，该掩膜板清洗装置还包括设置在载台1上方的清洗设备，具体的，清洗设备为机械手，能够对掩膜板10进行擦洗。在载台1的下方设置有升降装置，设置在所述载台1的下方，用于带动所述载台1升降运动。当清洗设备对掩膜板10的正面进行擦洗的过程中，喷水管道3喷纯水对掩膜板10的背面进行喷水清洗，清洗效率较高。

如图1和图2所示，所述吹气管道2、喷水管道3设在所述载台1的下方，所述载台1上设有适于所述吹气管道2、喷水管道3伸到所述载台1上方的通道，这种设置方式使吹气管道2、喷水管道3不会对掩膜板10的放置造成干涉，并且喷水管道3能直接对掩膜板10的背面进行喷水清洗，结构简单紧凑，空间利用率较高。

在本实施方式中，所述升降装置包括气缸4、以及可在所述气缸4的驱动下进行升降运动的升降轴5，所述升降轴5的第一端与所述载台1连接，所述升降轴5的第二端连接轴承6，所述轴承6可移动的设置在所述气缸4内，并具有上升到最高点的第一位置、以及下降到最低点的第二位置，所述气缸4上对应所述第一位置处设有第一感应开关7，所述第一感应开关7用于控制所述喷水管道3的通断，所述气缸4上对应所述第二位置处设有第二感应开关8，所述第二感应开关8用于控制所述吹气管道2的通断，当轴承6移动到第一位置时，第一感应开关7闭合，喷水管道3开始对掩膜板10的背面进行喷水清洗，提升了清洗效率，当轴承6移动到第二位置，且掩膜板10未放置在载台1上时，吹气管道对载台1进行喷气，保持载台1的干燥，避免放置掩膜板10时，掩膜板10粘附载台1上的水。

作为优选的实施方式，所述轴承6为磁性件，所述第一感应开关7、所述第二感应开关8均为磁性开关，结构简单紧凑，便于自动化清洗，提高了清洗效率。

所述喷水管道3上设有压力调节阀，能够对喷水管道3喷出的水的大小进行调节，避免掩膜板10的背面有水渍残留。在进行喷水清洗的过程中，可以采用较小的水对掩膜板10的背面进行清洗，这样可以使掩膜板10的背面上残留的水渍较少，在干燥的过程中，能快速将掩膜板10进行干燥。

作为优选的实施方式，所述载台1可转动的设置，能够将掩膜板10上的水渍甩干。

在载台1上方设置有干燥设备，用于对所述掩膜板10进行吹气干燥，能够防止水渍残留在掩膜板10上。在本实施方式中，干燥设备为机械手，能够对掩膜板10的正面进行吹气干燥，将掩膜板10正面残留的水渍吹干。

为避免将掩膜板10长时间放置在光刻车间而导致掩膜板10的表面被酸气腐蚀的现象，在本实施方式中，改善掩膜板10的存储环境，将掩膜板10存储在专用的存储盒中。

本实施方式的载台1的表面为平面，在将掩膜板10放置在载台1上时，需要使掩膜板10架空在载台1上，掩膜板10的下表面不与载台1接触。或者在可替换的实施方式中，载台1设有纵截面为V型的槽，掩膜板10架空在槽上方。

该掩膜板清洗装置在使用时，掩膜板10未放置在载台1上时，吹气管道2一直吹气，将载台1上残留的水分吹干。将掩膜板10放置在载台1上，载台1上设有用于对掩膜板10的位置进行定位的定位结构9，能够将掩膜板10固定在载台1上。当掩膜板10放置在载台1上后，感应器感应到掩膜板10，向控制器发送信号，控制器控制吹气管道2停止吹气。升降装置启动，气缸4内的轴承6在气压的驱动下在气缸4内上升移动，轴承6带动升降轴5，升降轴5带动载台1上升运动，当上升到最高点时，机械手采用KOH溶液清洗掩膜板10的正面，将掩膜板10表面残留的光刻胶去除，此时轴承6上升移动到第一位置，由于轴承6为磁性件，第一感应开关7感应到磁场发生变化而闭合，喷水管道3开始对掩膜板10的背面进行喷纯水清洗，当清洗完成后，机械手对掩膜板10的正面吹气，将掩膜板10的正面吹干，在对掩膜板10的背面进行喷纯水清洗的过程中可以采用较小的水对掩膜板10的背面进行清洗，这样可以使掩膜板10的背面上残留的水渍较少，之后使载台1旋转运动，将水渍甩干。当掩膜板10上无水渍残留时，升降装置启动，使轴承6带动升降轴5，升降轴5带动载台1下降运动，下降到最低点时，将掩膜板10从载台1上取下并放置在MASK盒中存储。此时，轴承6下降移动到第二位置，由于轴承6为磁性件，第二感应开关8感应到磁场发生变化而闭合，吹气管道2对载台1吹气，使载台1保持干燥。

作为上述实施方式的第一个可替换的实施方式，第一感应开关7、第二感应开关8可采用光电感应开关。

作为上述实施方式的第二个可替换的实施方式，升降装置可采用齿轮齿条的驱动方式。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种掩膜板清洗装置，其特征在于，包括：

载台(1)，适于承载掩膜板(10)；

吹气管道(2)，用于对所述载台(1)吹气；

喷水管道(3)，用于对放置在所述载台(1)上的所述掩膜板(10)喷水；

感应器，设置在所述载台(1)上；

控制器，与所述感应器电连接，用于在所述感应器感应到所述掩膜板(10)放置在所述载台(1)上时，控制所述吹气管道(2)停止吹气。

2.根据权利要求1所述的一种掩膜板清洗装置，其特征在于，还包括升降装置，设置在所述载台(1)的下方，用于带动所述载台(1)升降运动，所述载台(1)的上方设有清洗设备。

3.根据权利要求2所述的一种掩膜板清洗装置，其特征在于，所述吹气管道(2)、喷水管道(3)设在所述载台(1)的下方，所述载台(1)上设有适于所述吹气管道(2)、喷水管道(3)伸到所述载台(1)上方的通道。

4.根据权利要求2所述的一种掩膜板清洗装置，其特征在于，所述升降装置包括气缸(4)、以及可在所述气缸(4)的驱动下进行升降运动的升降轴(5)，所述升降轴(5)的第一端与所述载台(1)连接。

5.根据权利要求4所述的一种掩膜板清洗装置，其特征在于，所述升降轴(5)的第二端连接轴承(6)，所述轴承(6)可移动的设置在所述气缸(4)内，并具有上升到最高点的第一位置、以及下降到最低点的第二位置，所述气缸(4)上对应所述第一位置处设有第一感应开关(7)，所述第一感应开关(7)用于控制所述喷水管道(3)的通断。

6.根据权利要求5所述的一种掩膜板清洗装置，其特征在于，所述气缸(4)上对应所述第二位置处设有第二感应开关(8)，所述第二感应开关(8)用于控制所述吹气管道(2)的通断。

7.根据权利要求6所述的一种掩膜板清洗装置，其特征在于，所述轴承(6)为磁性件，所述第一感应开关(7)、所述第二感应开关(8)均为磁性开关。

8.根据权利要求1所述的一种掩膜板清洗装置，其特征在于，所述喷水管道(3)上设有压力调节阀。

9.根据权利要求1所述的一种掩膜板清洗装置，其特征在于，所述载台(1)可转动的设置。

10.根据权利要求2所述的一种掩膜板清洗装置，其特征在于，还包括设于所述载台(1)上方的干燥设备，用于对所述掩膜板(10)进行吹气干燥。

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