CN210010826U - 一种硅片生产用外径滚磨机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种硅片生产用外径滚磨机构，包括底板、转动机构和固定机构，所述底板的上端面上安装有转动机构，转动机构的内部安装有固定机构，转动机构包括前侧板，底板上端面的前端安装有前侧板，前侧板的中部设有圆孔，圆孔内通过轴承安装有进料筒，进料筒外侧壁的中部安装有转动支链，进料筒的后端面沿其周向方向均匀设有固定孔。本实用新型可以解决现有滚磨技术中可能存在的晶棒产生波纹状研磨痕迹、晶棒滚磨不能达到晶棒需要的直径、晶棒滚磨步骤繁琐、研磨机械不能根据需要调整，安装及拆卸困难和生产效率低等问题，可以实现晶棒的快速高质量滚磨，具有步骤简单、晶棒滚磨质量高、研磨机械安装拆卸方便和生产效率高的优点。

Description

一种硅片生产用外径滚磨机构

技术领域

本发明涉及硅片加工领域，特别涉及一种硅片生产用外径滚磨机构。

背景技术

科学技术不断的进步，促进了硅片的应用领域也越来越广泛，同时硅片的需求量也在不断的增加，硅片的加工一般需要经过粘棒、开方、去胶、滚磨、切片、清洗烘干、检测、包装等步骤，其中的滚磨是对晶棒的侧壁进行打磨，是为了去除晶棒侧壁多余料的同时使得晶棒能够达到需要的直径，在现有的技术中对晶棒滚磨采用的是：用金刚石颗粒磨轮在晶棒的侧边进行转动打磨同时晶棒也同步转动，这就需要金刚石磨轮或者晶棒中的一个进行移动才能对晶棒的全部侧壁进行打磨，而在移动时可能会产生抖动，这就会造成晶棒研磨程度不均匀，可能产生波纹状研磨痕迹，同时对晶棒滚磨也不能直接将晶棒研磨到需要的直径，这些问题都需要另外的步骤对晶棒进行再次处理，从而导致晶棒滚磨步骤繁琐，一定程度上降低了晶棒的生产效率。

发明内容

为了解决上述问题，本发明提供了一种硅片生产用外径滚磨机构，可以解决现有滚磨技术中可能存在的晶棒产生波纹状研磨痕迹、晶棒滚磨不能达到晶棒需要的直径、晶棒滚磨步骤繁琐、研磨机械不能根据需要调整，安装及拆卸困难和生产效率低等问题，可以实现晶棒的快速高质量滚磨，具有步骤简单、晶棒滚磨质量高、研磨机械安装拆卸方便和生产效率高的优点。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案，一种硅片生产用外径滚磨机构，包括底板、转动机构和固定机构，所述底板的上端面上安装有转动机构，转动机构的内部安装有固定机构。

所述的转动机构包括前侧板，底板上端面的前端安装有前侧板，前侧板的中部设有圆孔，圆孔内通过轴承安装有进料筒，进料筒外侧壁的中部安装有转动支链，进料筒的后端面沿其周向方向均匀设有固定孔，固定孔为T字形，固定孔的内部连接有固定机构，固定机构的后端安装有连接筒，连接筒与进料筒的后端面均设有固定孔，进料筒与连接筒内部的直径从前往后依次减小，且前一连接筒内部后端面的直径等于后一连接筒内部前端面的直径，进料筒与连接筒的内侧壁上均匀设有金刚石颗粒，底板上端面的左右侧边左右对称设有滑槽，滑槽内通过滑动配合的方式连接有电动滑块，电动滑块的上端面安装有后侧板，后侧板的中部设有通孔，通孔内安装有轴承，轴承的内径与连接筒的外径相等，转动支链包括转动齿，进料筒侧壁的中部沿其周向方向均匀设有转动齿，转动齿的左端啮合有主动齿轮，主动齿轮的前端面与转动轴的后端面相连接，转动轴侧壁的中部通过轴承安装有支撑架，支撑架的下端安装在底板的上端面，转动轴的前端面通过联轴器与转动电机的输出轴相连接，转动电机通过电机架安装在底板的上端面，工作时，根据晶棒需要的直径更换连接筒，电动滑块带动后侧板前后运动，将轴承套接到连接筒侧壁的后端，转动电机通过转动轴带动主动齿轮转动，可以带动进料筒转动，同时可以带动连接筒转动，晶棒从进料筒进入到连接筒内部，连接筒内侧壁上的金刚石可以对晶棒外径进行滚磨，从而对晶棒外径滚磨一次完成，避免了研磨轮移动产生的波纹状研磨痕迹，同时，能够根据晶棒直径的需要自由转换连接筒，外径研磨的同时直接将晶棒研磨到需要的直径，简化了工作步骤，一定程度上提高了工作效率。

所述的固定机构沿连接筒的前端面的周向均匀设置，且固定机构与固定孔一一对应，固定机构包括固定块，固定块上端面的中部设有圆槽，固定块的内部设有凹槽，凹槽内安装有拆卸支链，固定块前端面的中部安装有固定支链，拆卸支链包括线轴，凹槽的中部通过轴承安装有线轴，线轴为中空结构，长线的另一端经过线槽缠绕在线轴上，线轴的下端面设有齿轮槽，齿轮槽的上端安装有第一磁石，齿轮槽的下端安装有内齿轮，凹槽的下端安装有第二磁石，线轴的中部设有长杆，长杆的下端从上到下依次安装有第三磁石、外齿轮和第四磁石，第四磁石的直径小于外齿轮的直径，长杆的上端安装有转盘，固定支链包括连接板，固定块前端面的中部安装有连接板，连接板的中部设有线槽，连接板上下端面的前端上下对称设有限位槽，限位槽的内壁上设有条形槽，条形槽内通过滑动配合的方式连接有滑条，滑条的后端安装有限位板，限位板为无下端面的中空结构，限位板上内侧面与限位弹簧的上端相连接，限位弹簧的下端与限位槽的下端面相连接，连接板前端的中部安装有支撑杆，支撑杆侧壁的中部通过轴承安装有滑轮，限位板上内侧面的中部连接有长线，长线穿过限位弹簧的中部并在滑轮上缠绕一圈后进入线槽，工作时，当需要将连接筒固定时，向上抬动转盘，长杆带动第三磁石与第一磁石吸附，外齿轮与内齿轮啮合，转动转盘将长线缠绕在转盘上，长线转动可以将限位板向下拉动，将连接板推送到固定孔内，然后向下按压转盘，第四磁石与第二磁石吸附，外齿轮与内齿轮分离，限位弹簧伸缩运动将限位板向上抬起，可以将连接筒固定，当需要更换连接筒时，向上抬动转盘，长杆带动第三磁石与第一磁石吸附，外齿轮与内齿轮啮合，转动转盘将长线缠绕在转盘上，长线转动可以将限位板向下拉动，抽出连接板，按照上述固定连接筒的方式跟换需要的连接筒即可，从而能够根据需要自由安装滚磨机械，滚磨机械安装和拆卸方便。

工作时，首先，根据晶棒需要的直径更换连接筒，向上抬动转盘，长杆带动第三磁石与第一磁石吸附，外齿轮与内齿轮啮合，转动转盘将长线缠绕在转盘上，长线转动可以将限位板向下拉动，将连接板推送到固定孔内，然后向下按压转盘，第四磁石与第二磁石吸附，外齿轮与内齿轮分离，限位弹簧伸缩运动将限位板向上抬起，可以将连接筒固定；然后，电动滑块带动后侧板前后运动，将轴承套接到连接筒侧壁的后端，转动电机通过转动轴带动主动齿轮转动，可以带动进料筒转动，同时可以带动连接筒转动，晶棒从进料筒进入到连接筒内部，连接筒内侧壁上的金刚石可以对晶棒外径进行滚磨；最后，当需要更换连接筒时，向上抬动转盘，长杆带动第三磁石与第一磁石吸附，外齿轮与内齿轮啮合，转动转盘将长线缠绕在转盘上，长线转动可以将限位板向下拉动，抽出连接板，按照上述固定连接筒的方式跟换需要的连接筒即可，可以解决现有滚磨技术中可能存在的晶棒产生波纹状研磨痕迹、晶棒滚磨不能达到晶棒需要的直径、晶棒滚磨步骤繁琐、研磨机械不能根据需要调整，安装及拆卸困难和生产效率低等问题，可以实现晶棒的快速高质量滚磨。

本发明的有益效果在于：

一、本发明可以解决现有滚磨技术中可能存在的晶棒产生波纹状研磨痕迹、晶棒滚磨不能达到晶棒需要的直径、晶棒滚磨步骤繁琐、研磨机械不能根据需要调整，安装及拆卸困难和生产效率低等问题，可以实现晶棒的快速高质量滚磨，具有步骤简单、晶棒滚磨质量高、研磨机械安装拆卸方便和生产效率高的优点。

二、本发明设置有连接筒，连接筒可以根据晶棒滚磨直径的需要，将连接筒切换到需要的直径，简化了晶棒外径滚磨的步骤，同时避免了研磨轮的移动，即避免了晶棒侧壁波纹状滚磨痕迹的产生；

三、本发明设置有固定机构，固定机构使得连接筒的安装和拆卸简便快捷。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明的立体结构示意图；

图2是本发明的平面结构示意图；

图3是本发明的固定机构平面结构示意图。

具体实施方式

为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本发明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互结合。

如图1至图3所示，一种硅片生产用外径滚磨机构，包括底板1、转动机构2和固定机构3，所述底板1的上端面上安装有转动机构2，转动机构2的内部安装有固定机构3。

所述的转动机构2包括前侧板21，底板1上端面的前端安装有前侧板21，前侧板21的中部设有圆孔，圆孔内通过轴承安装有进料筒22，进料筒22外侧壁的中部安装有转动支链 23，进料筒22的后端面沿其周向方向均匀设有固定孔，固定孔为T字形，固定孔的内部连接有固定机构3，固定机构3的后端安装有连接筒24，连接筒24与进料筒22的后端面均设有固定孔，进料筒22与连接筒24内部的直径从前往后依次减小，且前一连接筒24内部后端面的直径等于后一连接筒24内部前端面的直径，进料筒22与连接筒24的内侧壁上均匀设有金刚石颗粒27，底板1上端面的左右侧边左右对称设有滑槽，滑槽内通过滑动配合的方式连接有电动滑块25，电动滑块25的上端面安装有后侧板26，后侧板26的中部设有通孔，通孔内安装有轴承，轴承的内径与连接筒24的外径相等，转动支链23包括转动齿231，进料筒22 侧壁的中部沿其周向方向均匀设有转动齿231，转动齿231的左端啮合有主动齿轮232，主动齿轮232的前端面与转动轴233的后端面相连接，转动轴233侧壁的中部通过轴承安装有支撑架234，支撑架234的下端安装在底板1的上端面，转动轴233的前端面通过联轴器与转动电机235的输出轴相连接，转动电机235通过电机架236安装在底板1的上端面，工作时，根据晶棒需要的直径更换连接筒24，电动滑块25带动后侧板26前后运动，将轴承套接到连接筒24侧壁的后端，转动电机235通过转动轴233带动主动齿轮232转动，可以带动进料筒 22转动，同时可以带动连接筒24转动，晶棒从进料筒22进入到连接筒24内部，连接筒24 内侧壁上的金刚石可以对晶棒外径进行滚磨，从而对晶棒外径滚磨一次完成，避免了研磨轮移动产生的波纹状研磨痕迹，同时，能够根据晶棒直径的需要自由转换连接筒24，外径研磨的同时直接将晶棒研磨到需要的直径，简化了工作步骤，一定程度上提高了工作效率。

所述的固定机构3在连接筒24的前端面沿其周向方向均匀设有，且固定机构3与固定孔一一对应，固定机构3包括固定块31，固定块31上端面的中部设有圆槽，固定块31的内部设有凹槽，凹槽内安装有拆卸支链32，固定块31前端面的中部安装有固定支链33，拆卸支链32包括线轴321，凹槽的中部通过轴承安装有线轴321，线轴321为中空结构，长线337 的另一端经过线槽缠绕在线轴321上，线轴321的下端面设有齿轮槽，齿轮槽的上端安装有第一磁石322，齿轮槽的下端安装有内齿轮323，凹槽的下端安装有第二磁石324，线轴321 的中部设有长杆325，长杆325的下端从上到下依次安装有第三磁石326、外齿轮327和第四磁石328，第四磁石328的直径小于外齿轮327的直径，长杆325的上端安装有转盘329，固定支链33包括连接板331，固定块31前端面的中部安装有连接板331，连接板331的中部设有线槽，连接板331上下端面的前端上下对称设有限位槽，限位槽的内壁上设有条形槽，条形槽内通过滑动配合的方式连接有滑条332，滑条332的后端安装有限位板333，限位板333 为无下端面的中空结构，限位板333上内侧面与限位弹簧334的上端相连接，限位弹簧334 的下端与限位槽的下端面相连接，连接板331前端的中部安装有支撑杆335，支撑杆335侧壁的中部通过轴承安装有滑轮336，限位板333上内侧面的中部连接有长线337，长线337穿过限位弹簧334的中部并在滑轮336上缠绕一圈后进入线槽，工作时，当需要将连接筒24固定时，向上抬动转盘329，长杆325带动第三磁石326与第一磁石322吸附，外齿轮327与内齿轮323啮合，转动转盘329将长线337缠绕在转盘329上，长线337转动可以将限位板 333向下拉动，将连接板331推送到固定孔内，然后向下按压转盘329，第四磁石328与第二磁石324吸附，外齿轮327与内齿轮323分离，限位弹簧334伸缩运动将限位板333向上抬起，可以将连接筒24固定，当需要更换连接筒24时，向上抬动转盘329，长杆325带动第三磁石326与第一磁石322吸附，外齿轮327与内齿轮323啮合，转动转盘329将长线337 缠绕在转盘329上，长线337转动可以将限位板333向下拉动，抽出连接板331，按照上述固定连接筒24的方式跟换需要的连接筒24即可，从而能够根据需要自由安装滚磨机械，滚磨机械安装和拆卸方便。

工作时，首先，根据晶棒需要的直径更换连接筒24，向上抬动转盘329，长杆325带动第三磁石326与第一磁石322吸附，外齿轮327与内齿轮323啮合，转动转盘329将长线337缠绕在转盘329上，长线337转动可以将限位板333向下拉动，将连接板331推送到固定孔内，然后向下按压转盘329，第四磁石328与第二磁石324吸附，外齿轮327与内齿轮323 分离，限位弹簧334伸缩运动将限位板333向上抬起，可以将连接筒24固定；然后，电动滑块25带动后侧板26前后运动，将轴承套接到连接筒24侧壁的后端，转动电机235通过转动轴233带动主动齿轮232转动，可以带动进料筒22转动，同时可以带动连接筒24转动，晶棒从进料筒22进入到连接筒24内部，连接筒24内侧壁上的金刚石可以对晶棒外径进行滚磨；最后，当需要更换连接筒24时，向上抬动转盘329，长杆325带动第三磁石326与第一磁石 322吸附，外齿轮327与内齿轮323啮合，转动转盘329将长线337缠绕在转盘329上，长线337转动可以将限位板333向下拉动，抽出连接板331，按照上述固定连接筒24的方式跟换需要的连接筒24即可，解决了现有滚磨技术中可能存在的晶棒产生波纹状研磨痕迹、晶棒滚磨不能达到晶棒需要的直径、晶棒滚磨步骤繁琐、研磨机械不能根据需要调整，安装及拆卸困难和生产效率低等问题，达到了目的。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中的描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (6)

1.一种硅片生产用外径滚磨机构，包括底板(1)、转动机构(2)和固定机构(3)，其特征在于：所述底板(1)的上端面上安装有转动机构(2)，转动机构(2)的内部安装有固定机构(3)；其中：

所述的转动机构(2)包括前侧板(21)，底板(1)上端面的前端安装有前侧板(21)，前侧板(21)的中部设有圆孔，圆孔内通过轴承安装有进料筒(22)，进料筒(22)侧壁的中部安装有转动支链(23)，进料筒(22)的后端面沿其周向方向均匀设有固定孔，固定孔为T字形，固定孔的内部连接有固定机构(3)，固定机构(3)的后端安装有连接筒(24)，连接筒(24)与进料筒(22)的后端面均设有固定孔，底板(1)上端面的左右侧边左右对称设有滑槽，滑槽内通过滑动配合的方式连接有电动滑块(25)，电动滑块(25)的上端面安装有后侧板(26)，后侧板(26)的中部设有通孔，通孔内安装有轴承；

所述的固定机构(3)沿连接筒(24)的前端面的周向均匀设置，且固定机构(3)与固定孔一一对应，固定机构(3)包括固定块(31)，固定块(31)上端面的中部设有圆槽，固定块(31)的内部设有凹槽，凹槽内安装有拆卸支链(32)，固定块(31)前端面的中部安装有固定支链(33)；

所述的固定支链(33)包括连接板(331)，固定块(31)前端面的中部安装有连接板(331)，连接板(331)的中部设有线槽，连接板(331)上下端面的前端上下对称设有限位槽，限位槽的内壁上设有条形槽，条形槽内通过滑动配合的方式连接有滑条(332)，滑条(332)的后端安装有限位板(333)，限位板(333)为无下端面的中空结构，限位板(333)上内侧面与限位弹簧(334)的上端相连接，限位弹簧(334)的下端与限位槽的下端面相连接，连接板(331)前端的中部安装有支撑杆(335)，支撑杆(335)侧壁的中部通过轴承安装有滑轮(336)，限位板(333)上内侧面的中部连接有长线(337)，长线(337)穿过限位弹簧(334)的中部并在滑轮(336)上缠绕一圈后进入线槽。

2.根据权利要求1所述的一种硅片生产用外径滚磨机构，其特征在于：所述的转动支链(23)包括转动齿(231)，进料筒(22)侧壁的中部沿其周向方向均匀设有转动齿(231)，转动齿(231)的左端啮合有主动齿轮(232)，主动齿轮(232)的前端面与转动轴(233)的后端面相连接，转动轴(233)侧壁的中部通过轴承安装有支撑架(234)，支撑架(234)的下端安装在底板(1)的上端面，转动轴(233)的前端面通过联轴器与转动电机(235)的输出轴相连接，转动电机(235)通过电机架(236)安装在底板(1)的上端面。

3.根据权利要求1所述的一种硅片生产用外径滚磨机构，其特征在于：所述的拆卸支链(32)包括线轴(321)，凹槽的中部通过轴承安装有线轴(321)，线轴(321)为中空结构，长线(337)的另一端经过线槽缠绕在线轴(321)上，线轴(321)的下端面设有齿轮槽，齿轮槽的上端安装有第一磁石(322)，齿轮槽的下端安装有内齿轮(323)，凹槽的下端安装有第二磁石(324)，线轴(321)的中部设有长杆(325)，长杆(325)的下端从上到下依次安装有第三磁石(326)、外齿轮(327)和第四磁石(328)，第四磁石(328)的直径小于外齿轮(327)的直径，长杆(325)的上端安装有转盘(329)。

4.根据权利要求1所述的一种硅片生产用外径滚磨机构，其特征在于：所述的进料筒(22)与连接筒(24)内部的直径从前往后依次减小，且前一连接筒(24)内部后端面的直径等于后一连接筒(24)内部前端面的直径。

5.根据权利要求1所述的一种硅片生产用外径滚磨机构，其特征在于：所述轴承的内径与连接筒(24)的外径相等。

6.根据权利要求1所述的一种硅片生产用外径滚磨机构，其特征在于：所述进料筒(22)与连接筒(24)的内侧壁上均匀设有金刚石颗粒(27)。

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