CN209981190U - 硅片花篮换向装置 - Google Patents

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Abstract

本实用新型涉及一种硅片花篮的输送装置,尤其是硅片花篮换向装置,包括升降驱动装置;升降座,所述升降座安装在升降驱动装置上;换向座,所述换向座的顶部与升降座转动连接,所述硅片花篮放置在换向座上;换向轮,所述换向轮安装在换向座的底部;及换向导轨,所述换向导轨位于升降驱动装置的一侧,所述换向轮滑动位于换向导轨上。本实用新型提供的硅片花篮换向装置结构简单、硅片花篮翻转迅速、且翻转过程平稳、振动小、硅片不易损坏,且能够自动将翻转好的硅片花篮输送给其它输送线,降低劳动强度。

Description

硅片花篮换向装置
技术领域
本实用新型涉及一种硅片花篮的输送装置,尤其是硅片花篮换向装置。
背景技术
当插片机将硅片插好后取出硅片花篮,对于100片的硅片花篮,由于硅片花篮的高度较高,插入100片后,重量较大,中小较高,移动过程中不稳,如果发生倾倒会导致硅片损坏较大,因此需要将插好硅片的硅片花篮翻转成水平状态,降低重心,防止硅片花篮倾倒。
目前多采用人工翻转,劳动强度高,工作效率低,且容易发生硅片花篮打滑导致插满硅片的硅片花篮撞击到工作台造成硅片破碎。
实用新型内容
为解决上述问题,本实用新型提供一种能够自动对插满硅片的硅片花篮进行翻转,工作效率高的硅片花篮换向装置,具体技术方案为:
硅片花篮换向装置,包括升降驱动装置;升降座,所述升降座安装在升降驱动装置上;换向座,所述换向座的顶部与升降座转动连接,所述硅片花篮放置在换向座上;换向轮,所述换向轮安装在换向座的底部;及换向导轨,所述换向导轨位于升降驱动装置的一侧,所述换向轮滑动位于换向导轨上。
通过采用上述技术方案,升降驱动装置通过升降座带动换向座下降,换向座在换向轮和换向导轨的作用下从竖直状态变成水平状态,硅片花篮换向迅速,无需人工干预,劳动强度低,自动化程度高、工作效率高。
优选的,所述升降驱动装置包括直线模组,所述升降座安装在直线模组的滑台上,所述直线模组竖直设置。
通过采用上述技术方案,直线模组可以控制升降的速度,使硅片花篮翻转平稳,振动小,避免硅片花篮中的硅片因振动破碎。
优选的,所述换向导轨上设有依次连接的竖直导向面、倾斜设置的换向面和水平导向面。
通过采用上述技术方案,竖直导向面使换向座处于竖直状态,方便插入硅片花篮,换向面使换向座进行翻转,从竖直状态变成水平状态,水平导向面使环形座处于水平状态。
优选的,所述竖直导向面与换向面之间和换向面与水平导向面之间均设有圆弧面。
通过采用上述技术方案,圆弧面能够实现换向轮的平稳滑动,减小振动,保护硅片。
优选的,所述换向座包括竖向座和横向座,所述竖向座的一端与横向座的一端连接,所述竖向座和横向座相互垂直,所述竖向座另一端与升降座转动连接,所述竖向座的一端装有环形轮。
通过采用上述技术方案,竖向座和横向座成L型,方便硅片花篮插入。
优选的,还包括输送装置,所述输送装置安装在竖向座上,所述输送装置包括输送带,所述输送带分别位于竖向座的顶部和底部,所述硅片花篮与输送带接触;从动输送轮,所述从动输送轮位于竖向座的一侧;主动输送轮,所述主动输送轮位于竖向座的另一侧,所述输送带套装从动输送轮和主动输送轮上;及输送电机,所述输送电机与主动输送轮连接。
通过采用上述技术方案,当换向座变成水平状态时,硅片花篮的两端压在输送带上,输送带可以将硅片花篮送出换向座,无需人工搬运,降低劳动强度,能够减少人工搬运发生意外导致硅片破碎。
与现有技术相比本实用新型具有以下有益效果:
本实用新型提供的硅片花篮换向装置结构简单、硅片花篮翻转迅速、且翻转过程平稳、振动小、硅片不易损坏,且能够自动将翻转好的硅片花篮输送给其它输送线,降低劳动强度。
附图说明
图1是硅片花篮换向装置的正视图;
图2是硅片花篮换向装置的俯视图;
图3是硅片花篮换向装置的侧视图,且换向座处于竖直状态;
图4是硅片花篮换向装置的侧视图,且换向座处于水平状态。
具体实施方式
现结合附图对本实用新型作进一步说明。
实施例一
如图1至图4所示,硅片花篮换向装置,包括升降驱动装置1;升降座2,升降座2安装在升降驱动装置1上;换向座,换向座的顶部与升降座2转动连接,硅片花篮100放置在换向座上;换向轮8,换向轮8安装在换向座的底部;换向导轨6,换向导轨6位于升降驱动装置1的一侧,换向轮8滑动位于换向导轨6上。
升降驱动装置1通过升降座2带动换向座下降,换向座在换向轮8和换向导轨6的作用下从竖直状态变成水平状态,硅片花篮100换向迅速,无需人工干预,劳动强度低,自动化程度高、工作效率高。
具体的,升降驱动装置1包括直线模组,升降座2安装在直线模组的滑台上,直线模组竖直设置。直线模组可以控制升降的速度,使硅片花篮100翻转平稳,振动小,避免硅片花篮100中的硅片因振动破碎。
换向导轨6上设有依次连接的竖直导向面61、倾斜设置的换向面62和水平导向面63。竖直导向面61使换向座处于竖直状态,方便插入硅片花篮100,换向面62使换向座进行翻转,从竖直状态变成水平状态,水平导向面63使环形座处于水平状态。
竖直导向面61与换向面62之间和换向面62与水平导向面63之间均设有圆弧面。圆弧面能够实现换向轮8的平稳滑动,减小振动,保护硅片。
换向座包括竖向座51和横向座52,竖向座51的一端与横向座52的一端连接,竖向座51和横向座52相互垂直,竖向座51另一端与升降座2转动连接,竖向座51的一端装有环形轮。竖向座51和横向座52成L型,方便硅片花篮100插入。
升降座2上转动装有转动轴3,转动轴3的两端固定有连接座4,连接座4固定在竖向座51的顶部。
实施例二
在上述实施例的基础上,还包括输送装置,输送装置安装在竖向座51上,输送装置包括输送带71,输送带71分别位于竖向座51的顶部和底部,硅片花篮100与输送带71接触;从动输送轮73,从动输送轮73位于竖向座51的一侧;主动输送轮72,主动输送轮72位于竖向座51的另一侧,输送带71套装从动输送轮73和主动输送轮72上;输送电机74,输送电机74通过同步带与主动输送轮72连接。
当换向座变成水平状态时,硅片花篮100的两端压在输送带71上,输送带71可以将硅片花篮100送出换向座,无需人工搬运,降低劳动强度,能够减少人工搬运发生意外导致硅片破碎。

Claims (6)

1.硅片花篮换向装置,其特征在于,包括
升降驱动装置;
升降座,所述升降座安装在升降驱动装置上;
换向座,所述换向座的顶部与升降座转动连接,所述硅片花篮放置在换向座上;
换向轮,所述换向轮安装在换向座的底部;及
换向导轨,所述换向导轨位于升降驱动装置的一侧,所述换向轮滑动位于换向导轨上。
2.根据权利要求1所述的硅片花篮换向装置,其特征在于,所述升降驱动装置包括直线模组,所述升降座安装在直线模组的滑台上,所述直线模组竖直设置。
3.根据权利要求1所述的硅片花篮换向装置,其特征在于,所述换向导轨上设有依次连接的竖直导向面、倾斜设置的换向面和水平导向面。
4.根据权利要求3所述的硅片花篮换向装置,其特征在于,所述竖直导向面与换向面之间和换向面与水平导向面之间均设有圆弧面。
5.根据权利要求1所述的硅片花篮换向装置,其特征在于,所述换向座包括竖向座和横向座,所述竖向座的一端与横向座的一端连接,所述竖向座和横向座相互垂直,所述竖向座另一端与升降座转动连接,所述竖向座的一端装有环形轮。
6.根据权利要求5所述的硅片花篮换向装置,其特征在于,还包括输送装置,所述输送装置安装在竖向座上,所述输送装置包括
输送带,所述输送带分别位于竖向座的顶部和底部,所述硅片花篮与输送带接触;
从动输送轮,所述从动输送轮位于竖向座的一侧;
主动输送轮,所述主动输送轮位于竖向座的另一侧,所述输送带套装从动输送轮和主动输送轮上;及
输送电机,所述输送电机与主动输送轮连接。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115565922A (zh) * 2022-09-22 2023-01-03 无锡荣能半导体材料有限公司 硅片自动交替式双轨分选上料机

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