CN209929271U - 高效画胶装片装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种高效画胶装片装置，其包括：第一传送机构、第一画胶机构、第二画胶机构、装片台、第二传送机构、校正台、第三传送机构、晶圆台。本实用新型的高效画胶装片装置具有两个独立设置画胶机构，且两个画胶机构能够按照各自的画胶方式进行画胶，如此能够快速的完成一块基板的画胶，为后续晶圆片与基板的贴装提供了保障。

Description

高效画胶装片装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆片封装技术领域，尤其涉及一种高效画胶装片装置。

背景技术

IC装片机是半导体封装生产线中的关键设备，其在晶圆片装片中具有非常广泛的应用。IC装片机需要从直径八寸以上的大尺寸晶圆上取片，然后高速精准的贴装在基板上。在贴装在基板之前，需要对基板进行画胶。为了满足工业化生产的需求，基板的画胶主要依靠画胶机实现。然而，现有的画胶机画胶效率较低，限制了晶圆片的装片效率的提高。因此，针对上述问题，有必要提出进一步地解决方案。

实用新型内容

本实用新型旨在提供一种高效画胶装片装置，以克服现有技术中存在的不足。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：

一种高效画胶装片装置，其包括：第一传送机构、第一画胶机构以及第二画胶机构；

所述第一画胶机构和第二画胶机构沿所述第一传送机构的传送方向，所述第一传送机构设置于所述第一画胶机构和第二画胶机构的下方，基板由所述第一传送机构传送，依次自所述第一画胶机构和第二画胶机构下方通过，所述第一画胶机构包括：第一画胶头以及第一驱动机构，所述第二画胶机构包括：第二画胶头以及第二驱动机构，所述第一驱动机构驱动所述第一画胶头按照第一画胶动作进行画胶，所述第二驱动机构驱动所述第二画胶头按照第二画胶动作进行画胶；

所述装片台位于所述第二画胶机构的下游，所述第二传送机构位于所述装片台和校正台之间，所述第二传送机构包括：第一传送臂以及设置于所述第一传送臂一端的第一吸盘，所述第一传送臂于所述装片台和校正台之间进行枢转往复运动，所述校正台以自身轴线为转轴进行旋转校准，所述第三传送机构位于所述校正台和晶圆台之间，所述第三传送机构包括：第二传送臂以及设置于所述第二传送臂一端的第二吸盘，所述第二传送臂于所述校正台和晶圆台之间进行枢转往复运动。

作为本实用新型的高效画胶装片装置的改进，所述第一传送机构包括：左右对称设置的传送皮带、位于任一条传送皮带上的压板，所述压板与其下方的传送皮带之间形成基板边缘的传送空间。

作为本实用新型的高效画胶装片装置的改进，两条传送皮带分别由各自的驱动带轮带动进行传送运动，两条传送皮带的驱动带轮固定于同一条传动轴上，所述传动轴由电机带动枢转。

作为本实用新型的高效画胶装片装置的改进，所述第一画胶头按照第一画胶动作运动时形成第一画胶轨迹，所述第二画胶头按照第二画胶动作运动时形成第二画胶轨迹，所述第一画胶轨迹与第二画胶轨迹完全不重叠或者仅部分重叠。

作为本实用新型的高效画胶装片装置的改进，所述第一驱动机构包括：安装所述第一画胶头的第一座体、带动所述第一座体沿沿X轴方向运动的第一丝杆、带动所述第一丝杆及其上第一座体沿Z轴方向运动的第一气缸、带动其上第一座体、第一丝杆以及第一气缸沿Y轴方向运动的第一滑座。

作为本实用新型的高效画胶装片装置的改进，所述第一画胶头为两个，两个画胶头并排设置，并由所述第一驱动机构进行同步驱动。

作为本实用新型的高效画胶装片装置的改进，所述第二驱动机构包括：安装所述第二画胶头的第二座体、带动所述第二座体沿沿X轴方向运动的第二丝杆、带动所述第二丝杆及其上第二座体沿Z轴方向运动的第二气缸、带动其上第二座体、第二丝杆以及第二气缸沿Y轴方向运动的第二滑座。

作为本实用新型的高效画胶装片装置的改进，所述第二画胶头为两个，两个画胶头并排设置，并由所述第二驱动机构进行同步驱动。

作为本实用新型的高效画胶装片装置的改进，所述第一传送臂和第二传送臂的另一端与各自的电机传动连接，并由电机驱动进行枢转往复运动。

作为本实用新型的高效画胶装片装置的改进，所述校正台的上方还设置有工业照相机，所述校正台的校正位置由顺时针方向和逆时针方向所限定，电机带动所述校正台旋转至预设的顺时针方向或逆时针方向所限定的位置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型的高效画胶装片装置具有两个独立设置画胶机构，且两个画胶机构能够按照各自的画胶方式进行画胶，如此能够快速的完成一块基板的画胶，为后续晶圆片与基板的贴装提供了保障。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的高效画胶装片装置一实施例的俯视图；

图2为本实用新型的高效画胶装片装置一实施例中第一画胶机构、第二画胶机构的主视图，其中垂直于纸面方向为Y轴方向。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供一种高效画胶装片装置，其用于对承载晶圆片的基板进行画胶后，完成基板与晶圆片的装片。本实用新型的画胶装置依靠其具有的两个独立的画胶机构能够快速地完成一块基板上画胶区域的画胶。

如图1、2所示，本实用新型一实施例的的高效画胶装片装置包括：第一传送机构1、第一画胶机构2、第二画胶机构3、装片台4、第二传送机构5、校正台6、第三传送机构7、晶圆台8。

所述第一传送机构1用于将需要画胶的基板传送至画胶机构的下方，其包括：左右对称设置的传送皮带11、位于任一条传送皮带11上的压板12，所述压板12与其下方的传送皮带11之间形成基板边缘的传送空间。从而，在传送皮带11的带动下以及上方压板12的限位作用下，基板的两侧边缘由传送皮带11带动沿传送方向进行传送。

进一步地，为了保证左右两条传送皮带11的传送的同步性，两条传送皮带11分别由各自的驱动带轮13带动进行传送运动，此时两条传送皮带11的驱动带轮13固定于同一条传动轴14上，所述传动轴14由电机15带动枢转。如此，通过一个电机15可同步带动两条传送皮带11进行传送。

所述第一传送机构1对应所述第一画胶机构2以及第二画胶机构3可以为一整体，此时，所述第一传送机构1自所述第一画胶机构2一体延伸至下游的第二画胶机构3。可替代地，所述第一传送机构1也可分体设置，即任一画胶机构的下方均设置有所述第一传送机构1，此时第一画胶机构2下方的第一传送机构1的下游端对接第二画胶机构3下方的第一传送机构1的上游端。

所述第一画胶机构2和第二画胶机构3沿所述第一传送机构1的传送方向，从而基板可由所述第一传送机构1传送，依次自所述第一画胶机构2和第二画胶机构3下方通过。

所述第一画胶机构2包括：第一画胶头21以及第一驱动机构22，所述第二画胶机构3包括：第二画胶头31以及第二驱动机构32。所述第一驱动机构22驱动所述第一画胶头21按照第一画胶动作进行画胶，所述第二驱动机构32驱动所述第二画胶头31按照第二画胶动作进行画胶。如此，在第一画胶机构2完成画胶的基板可送到第二画胶机构3处进行二次画胶，同时第一画胶机构2可对下一个基板进行同步画胶，进而提高了画胶的效率。

从而进行画胶时，所述第一画胶头21按照第一画胶动作运动时形成第一画胶轨迹，所述第二画胶头31按照第二画胶动作运动时形成第二画胶轨迹。其中，所述第一画胶轨迹与第二画胶轨迹完全不重叠或者仅部分重叠，如此有利于在覆盖基板的整个画胶区域。其中，画胶轨迹可以为规则的运行轨迹，例如S形、折线形等，也可以为不规则的运行轨迹。

所述第一驱动机构22具体包括：安装所述第一画胶头21的第一座体221、带动所述第一座体221沿沿X轴方向运动的第一丝杆222、带动所述第一丝杆222及其上第一座体221沿Z轴方向运动的第一气缸223、带动其上第一座体221、第一丝杆222以及第一气缸223沿Y轴方向运动的第一滑座224，所述第一滑座224由第三丝杆225进行驱动。

从而，在第一驱动结构的驱动下，第一画胶头21可在空间上进行上、下、左、右、前、后的三维运动。本实施例中，所述第一画胶头21优选为两个，两个画胶头并排设置，并由所述第一驱动机构22进行同步驱动，如此以增加画胶时画胶头覆盖的画胶面积。

相类似地，所述第二驱动机构32具体包括：安装所述第二画胶头31的第二座体321、带动所述第二座体321沿沿X轴方向运动的第二丝杆322、带动所述第二丝杆322及其上第二座体321沿Z轴方向运动的第二气缸323、带动其上第二座体321、第二丝杆322以及第二气缸323沿Y轴方向运动的第二滑座324，所述第二滑座324由第四丝杆325进行驱动。

从而，在第二驱动结构的驱动下，第二画胶头31可在空间上进行上、下、左、右、前、后的三维运动。本实施例中，所述第二画胶头31优选为两个，两个画胶头并排设置，并由所述第二驱动机构32进行同步驱动，如此以增加画胶时画胶头覆盖的画胶面积。

所述晶圆台8用于放置经过分割的大尺寸晶圆，所述第三传送机构7将一个小尺寸的晶圆片转移到校正台6上进行位置校正后，所述第二传送机构5接力将该经过位置校正的晶圆片转移到装片台4上与经过画胶的基板相结合。

其中，所述第三传送机构7位于所述校正台6和晶圆台8之间，所述第三传送机构7包括：第二传送臂71以及设置于所述第二传送臂71一端的第二吸盘72，所述第二传送臂71于所述校正台6和晶圆台8之间进行枢转往复运动。从而，所述第二传送臂71通过其上的吸盘吸取晶圆片将其转移到校正台6上。为了实现第二传送臂71的枢转运动，所述第二传送臂71的另一端与一电机传动连接，并由电机驱动进行枢转往复运动。

所述校正台6以自身轴线为转轴进行旋转校准。具体地，所述校正台6的上方还设置有工业照相机61，所述校正台6的校正位置由顺时针方向和逆时针方向所限定，电机带动所述校正台6旋转至预设的顺时针方向或逆时针方向所限定的位置。如此，工业照相机经过图像识别，将结果反馈至校正台6的电机，电机进一步带动校正台6旋转至合适的位置。

所述装片台4位于所述第二画胶机构的下游，所述第二传送机构5位于所述装片台4和校正台6之间，所述第二传送机构5包括：第一传送臂51以及设置于所述第一传送臂51一端的第一吸盘52，所述第一传送臂51于所述装片台4和校正台6之间进行枢转往复运动。从而，所述第一传送臂51通过其上的吸盘吸取校正后的晶圆片，并将其转移到装片台4上。为了实现第一传送臂51的枢转运动，所述第一传送臂51的另一端与一电机传动连接，并由电机驱动进行枢转往复运动。为了便于第二传送机构5能够吸取晶圆台8上的各个晶圆片，可将晶圆台8设置在一能够在水平面内移动的滑台上，该滑台的移动可由丝杆进行驱动。

综上所述，本实用新型的高效画胶装片装置具有两个独立设置画胶机构，且两个画胶机构能够按照各自的画胶方式进行画胶，如此能够快速的完成一块基板的画胶，为后续晶圆片与基板的贴装提供了保障。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (10)

1.一种高效画胶装片装置，其特征在于，所述高效画胶装片装置包括：第一传送机构、第一画胶机构、第二画胶机构、装片台、第二传送机构、校正台、第三传送机构、晶圆台；

所述第一画胶机构和第二画胶机构沿所述第一传送机构的传送方向，所述第一传送机构设置于所述第一画胶机构和第二画胶机构的下方，基板由所述第一传送机构传送，依次自所述第一画胶机构和第二画胶机构下方通过，所述第一画胶机构包括：第一画胶头以及第一驱动机构，所述第二画胶机构包括：第二画胶头以及第二驱动机构，所述第一驱动机构驱动所述第一画胶头按照第一画胶动作进行画胶，所述第二驱动机构驱动所述第二画胶头按照第二画胶动作进行画胶；

所述装片台位于所述第二画胶机构的下游，所述第二传送机构位于所述装片台和校正台之间，所述第二传送机构包括：第一传送臂以及设置于所述第一传送臂一端的第一吸盘，所述第一传送臂于所述装片台和校正台之间进行枢转往复运动，所述校正台以自身轴线为转轴进行旋转校准，所述第三传送机构位于所述校正台和晶圆台之间，所述第三传送机构包括：第二传送臂以及设置于所述第二传送臂一端的第二吸盘，所述第二传送臂于所述校正台和晶圆台之间进行枢转往复运动。

2.根据权利要求1所述的高效画胶装片装置，其特征在于，所述第一传送机构包括：左右对称设置的传送皮带、位于任一条传送皮带上的压板，所述压板与其下方的传送皮带之间形成基板边缘的传送空间。

3.根据权利要求2所述的高效画胶装片装置，其特征在于，两条传送皮带分别由各自的驱动带轮带动进行传送运动，两条传送皮带的驱动带轮固定于同一条传动轴上，所述传动轴由电机带动枢转。

4.根据权利要求1所述的高效画胶装片装置，其特征在于，所述第一画胶头按照第一画胶动作运动时形成第一画胶轨迹，所述第二画胶头按照第二画胶动作运动时形成第二画胶轨迹，所述第一画胶轨迹与第二画胶轨迹完全不重叠或者仅部分重叠。

5.根据权利要求1所述的高效画胶装片装置，其特征在于，所述第一驱动机构包括：安装所述第一画胶头的第一座体、带动所述第一座体沿沿X轴方向运动的第一丝杆、带动所述第一丝杆及其上第一座体沿Z轴方向运动的第一气缸、带动其上第一座体、第一丝杆以及第一气缸沿Y轴方向运动的第一滑座。

6.根据权利要求1或5所述的高效画胶装片装置，其特征在于，所述第一画胶头为两个，两个画胶头并排设置，并由所述第一驱动机构进行同步驱动。

7.根据权利要求1所述的高效画胶装片装置，其特征在于，所述第二驱动机构包括：安装所述第二画胶头的第二座体、带动所述第二座体沿沿X轴方向运动的第二丝杆、带动所述第二丝杆及其上第二座体沿Z轴方向运动的第二气缸、带动其上第二座体、第二丝杆以及第二气缸沿Y轴方向运动的第二滑座。

8.根据权利要求1或7所述的高效画胶装片装置，其特征在于，所述第二画胶头为两个，两个画胶头并排设置，并由所述第二驱动机构进行同步驱动。

9.根据权利要求1所述的高效画胶装片装置，其特征在于，所述第一传送臂和第二传送臂的另一端与各自的电机传动连接，并由电机驱动进行枢转往复运动。

10.根据权利要求1所述的高效画胶装片装置，其特征在于，所述校正台的上方还设置有工业照相机，所述校正台的校正位置由顺时针方向和逆时针方向所限定，电机带动所述校正台旋转至预设的顺时针方向或逆时针方向所限定的位置。

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