CN209793317U - 一种双面抛光机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种双面抛光机，包括底座，底座上端左侧安装有导向套，导向套内部安装有丝杆，丝杆上端中部设有左旋螺纹，左旋螺纹外侧安装有上滑块，上滑块右端连接有上移动杆，上移动杆下端右侧安装有上抛光电机，丝杆下端外侧设有右旋螺纹，右旋螺纹外侧安装有下滑块，下滑块右端连接有下移动杆，下移动杆上端右侧安装有下抛光电机，底座上端右侧安装有支撑架，支撑架与导向套中部之间安装有夹持装置，夹持装置之间放置有硅片。本实用新型，通过设有的丝杆和两个滑块之间的相互配合，实现着对两个移动杆的相反方向的运动，从而实现着对硅片上下两面的同时打磨，既提高着抛光效率，同时也降低着生产成本，实用性强。

Description

一种双面抛光机

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体是一种双面抛光机。

背景技术

硅片，是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件。用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力。科学技术的发展不断推动着半导体的发展。自动化和计算机等技术发展，使硅片（集成电路）这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度。这使得硅片已广泛应用于航空航天、工业、农业和国防，甚至悄悄进入每一个家庭。

在硅片的加工过程中，其中有个最主要的加工工艺就是对硅片进行表面的抛光，抛光是硅片的最终加工工序，要求抛光表面具有晶格完整性、高的平面度及洁净性，使用械化学抛光法可以获得无加工变质层的表面，然而目前企业在对硅片进行抛光加工时所采用的抛光机不具备双面抛光功能，对一块硅片抛光时需要进行两次，这就导致抛光效率降低，降低整体生产进度，存在不足。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种双面抛光机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种双面抛光机，包括底座，所述底座上端左侧安装有导向套，导向套内部安装有丝杆，丝杆上端中部设有左旋螺纹，左旋螺纹外侧安装有上滑块，上滑块右端连接有上移动杆，上移动杆下端右侧安装有上抛光电机，所述丝杆下端外侧设有右旋螺纹，右旋螺纹外侧安装有下滑块，下滑块右端连接有下移动杆，下移动杆上端右侧安装有下抛光电机，所述底座上端右侧安装有支撑架，所述支撑架与导向套中部之间安装有夹持装置，夹持装置之间放置有硅片。

作为本实用新型进一步的方案：所述导向套与支撑架上端之间安装有横架。

作为本实用新型进一步的方案：所述丝杆上端安装有驱动电机，驱动电机固定于导向套上端中部，所述驱动电机为双转向步进电机。

作为本实用新型进一步的方案：所述上抛光电机下端安装有上抛光轮，所述下抛光电机上端安装有下抛光轮。

作为本实用新型进一步的方案：所述上抛光电机和下抛光电机分别电性连接有控制面板，所述控制面板安装于支撑架右端。

作为本实用新型再进一步的方案：所述导向套右端中部设有与上移动杆和下移动杆相互配合的移动槽。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

所述一种双面抛光机，结构合理，设计新颖，通过设有的丝杆和两个滑块之间的相互配合，实现着对两个移动杆的相反方向的运动，从而实现着对硅片上下两面的同时打磨，既提高着抛光效率，同时也降低着生产成本，实用性强。

附图说明

图1为一种双面抛光机的结构示意图。

图2为一种双面抛光机中导向套的右侧结构示意图。

图3为一种双面抛光机中丝杆的结构示意图。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

参阅图1～3，本实用新型实施例中，一种双面抛光机，包括底座1，所述底座1上端左侧安装有导向套2，所述导向套2右端中部设有与上移动杆10和下移动杆13相互配合的移动槽21，既方便着第上移动杆10和下移动杆13与相对应的滑块之间的固定连接，同时也保证着上移动杆10和下移动杆13在移动过程中不会发生晃动，导向套2内部安装有丝杆18，所述丝杆18上端安装有驱动电机5，用于带动丝杆18进行转动，驱动电机5固定于导向套2上端中部，所述驱动电机5为双转向步进电机，用于实现着对驱动电机5的双方向转动，丝杆18上端中部设有左旋螺纹19，左旋螺纹19外侧安装有上滑块4，上滑块4右端连接有上移动杆10，上移动杆10下端右侧安装有上抛光电机11，所述上抛光电机11下端安装有上抛光轮12，所述上抛光电机11和下抛光电机14分别电性连接有控制面板17，进而对上抛光电机11和下抛光电机14的驱动进行控制，所述控制面板17安装于支撑架7右端，所述下抛光电机14上端安装有下抛光轮15，所述丝杆18下端外侧设有右旋螺纹20，右旋螺纹20外侧安装有下滑块3，下滑块3右端连接有下移动杆13，下移动杆13上端右侧安装有下抛光电机14，所述底座1上端右侧安装有支撑架7，所述导向套2与支撑架7上端之间安装有横架6，所述支撑架7与导向套2中部之间安装有夹持装置8，夹持装置8之间放置有硅片16。

所述一种双面抛光机，抛光时，将所需要抛光的硅片放置在夹持装置8中，实现着对硅片的夹持固定，之后启动驱动电机5，驱动电机5带动着丝杆18进行转动，然后使得上滑块4往下移动，而下滑块3往上移动，从而使得上抛光轮12和下抛光轮15同步往硅片方向进行移动，待位置确定后，关闭驱动电机5，通过控制面板17使得上抛光电机11和下抛光电机14进行启动，使得上抛光轮12和下抛光轮15同步转动，实现着对硅片16的抛光，操作简单，可靠性高。本实用新型，结构合理，设计新颖，通过设有的丝杆18和两个滑块之间的相互配合，实现着对两个移动杆的相反方向的运动，从而实现着对硅片16上下两面的同时打磨，既提高着抛光效率，同时也降低着生产成本，实用性强。

需要特别说明的是，本申请中对驱动电机5的启动控制，以及控制面板17的内部结构均为现有技术的应用，利用丝杆18外侧两个相反螺纹的设置，实现着对两个抛光轮的相反方向的运动，进而实现对硅片16上下方向的抛光为本申请的创新点，其有效解决现有硅片16抛光只能单面抛光，效率低的问题。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种双面抛光机，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）上端左侧安装有导向套（2），导向套（2）内部安装有丝杆（18），丝杆（18）上端中部设有左旋螺纹（19），左旋螺纹（19）外侧安装有上滑块（4），上滑块（4）右端连接有上移动杆（10），上移动杆（10）下端右侧安装有上抛光电机（11），所述丝杆（18）下端外侧设有右旋螺纹（20），右旋螺纹（20）外侧安装有下滑块（3），下滑块（3）右端连接有下移动杆（13），下移动杆（13）上端右侧安装有下抛光电机（14），所述底座（1）上端右侧安装有支撑架（7），所述支撑架（7）与导向套（2）中部之间安装有夹持装置（8），夹持装置（8）之间放置有硅片（16）。

2.根据权利要求1所述的一种双面抛光机，其特征在于，所述导向套（2）与支撑架（7）上端之间安装有横架（6）。

3.根据权利要求1所述的一种双面抛光机，其特征在于，所述丝杆（18）上端安装有驱动电机（5），驱动电机（5）固定于导向套（2）上端中部，所述驱动电机（5）为双转向步进电机。

4.根据权利要求1所述的一种双面抛光机，其特征在于，所述上抛光电机（11）下端安装有上抛光轮（12），所述下抛光电机（14）上端安装有下抛光轮（15）。

5.根据权利要求1所述的一种双面抛光机，其特征在于，所述上抛光电机（11）和下抛光电机（14）分别电性连接有控制面板（17），所述控制面板（17）安装于支撑架（7）右端。

6.根据权利要求1所述的一种双面抛光机，其特征在于，所述导向套（2）右端中部设有与上移动杆（10）和下移动杆（13）相互配合的移动槽（21）。