CN209747477U - 一种引线框架的铜带的双压轮压膜系统 - Google Patents

Abstract

一种引线框架的铜带的双压轮压膜系统，属于半导体生产技术领域。铜带（2）自铜带放料轮（3）脱离后与同时自感光膜放料轮（6）上脱离的感光膜（7）上下贴合后经热压轮单元热压，热压之后缠绕在收料轮（14）表面收集，其特征在于：所述的热压轮单元包括并排设置的两组上压轮机构（9），上压轮机构（9）位于铜带（2）的上方，还设置有与上压轮机构（9）分别对应的下压轮机构（10），上压轮机构（9）和相对应的下压轮机构（10）之间间隔设置，铜带（2）以及附着在其上下表面的感光膜（7）从上压轮机构（9）和下压轮机构（10）的间隙中穿过。在本引线框架的铜带的双压轮压膜系统中，实现了双压轮热压，提高了热压效率。

Description

一种引线框架的铜带的双压轮压膜系统

技术领域

一种引线框架的铜带的双压轮压膜系统，属于半导体生产技术领域。

背景技术

引线框架作为集成电路的芯片载体，是一种借助于键合材料（金丝、铝丝、铜丝）实现芯片内部电路引出端与外引线的电气连接，形成电气回路的关键结构件，它起到了和外部导线连接的桥梁作用。而引线框架的原材料是铜带，在引线框架的生产过程中，首先需要对铜带进行压膜，使感光膜贴合在铜带表面，然后使用曝光机对铜带进行曝光操作。传统的压膜系统普遍存在如下缺陷，（1）传统的压膜方式一般采用单组压轮，然而在压膜的过程中，需要在一定的温度和压力下保持一定时间，因此传统的压膜方式一般速度较慢，因此效率较低。（2）传统的压膜方式铜带与感光膜之间容易出现偏差，因此影响了产品的品质。（3）传统的压膜方式下，导热效率较低，在一定程度上也造成了能源的浪费。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提供一种实现了双压轮热压，提高了热压效率的引线框架的铜带的双压轮压膜系统。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：该引线框架的铜带的双压轮压膜系统，包括缠绕有铜带的铜带放料轮以及缠绕有感光膜的感光膜放料轮，铜带自铜带放料轮脱离后与同时自感光膜放料轮上脱离的感光膜上下贴合后经热压轮单元热压，其特征在于：所述的热压轮单元包括并排设置的两组上压轮机构，上压轮机构位于铜带的上方，还设置有与两组上压轮机构分别对应的下压轮机构，上压轮机构和相对应的下压轮机构之间间隔设置，铜带以及附着在其上下表面的感光膜从上压轮机构和下压轮机构的间隙中穿过。

优选的，所述的上压轮机构和下压轮机构均包括一条热压轮，热压轮包括中心处的加热棒，加热棒的两外侧设置有支撑加热棒转动的轴承座，在加热棒的两端设置有水银滑环，导线通过水银滑环为加热棒供电。

优选的，在所述加热棒的外圈通过金属制的壳体间隔形成导热腔，在导热腔内填充有导热油，在导热腔的外圈套设有橡胶层。

优选的，在所述的上压轮机构中还设置有一组气缸，气缸的活塞杆与其两侧的轴承座连接。

优选的，在所述的下压轮机构中，在任意一侧的轴承座与水银滑环之间套设有皮带，皮带同时套装在驱动轮的外圈。

优选的，所述的铜带放料轮固定在纠偏台内，铜带自纠偏台侧部的出口输出，在纠偏台的底部设置有纠偏轨道。

优选的，在所述的纠偏台内还设置有两组预热轮，两组预热轮上下间隔设置，铜带自两组预热轮之间穿过后输出。

优选的，所述的感光膜放料轮设置有两个，分别位于铜带的上下两侧，自两个感光膜放料轮脱离的感光膜分别与铜带的上下表面贴合。

与现有技术相比，本实用新型所具有的有益效果是：

1、在本引线框架的铜带的双压轮压膜系统中，实现了双压轮热压，提高了热压效率。

2、在纠偏台的底部还设置有一组纠偏轨道，纠偏台可沿纠偏轨道前后移动，保证铜带不会发生位置偏移。

3、通过在热压轮的外部设置导热腔，并在导热腔中填充有导热油，实现了热量的高效传导，提高了导热效率。

4、在上压轮机构中，设置有气缸，气缸的活塞杆与其两侧的轴承座连接，通过调节气缸输出端的输出长度可实现压力的调节。

5、通过设置预热轮，可以在纠偏台内对铜带进行预热，以保证在后续压膜时可以达到所需的温度。

6、通过设置橡胶层，对温度传到起到了缓冲作用，使得加热棒输出的热量可以更为均匀的传导到感光膜以及铜带处，同时橡胶层具有弹性，使得压膜时压力更为均匀。

附图说明

图1为引线框架的铜带的双压轮压膜系统结构示意图。

图2为引线框架的铜带的双压轮压膜系统上压轮剖视图。

图3为引线框架的铜带的双压轮压膜系统下压轮剖视图。

其中：1、纠偏台 2、铜带 3、铜带放料轮 4、预热轮 5、纠偏轨道 6、感光膜放料轮 7、感光膜 8、保护膜收集轮 9、上压轮机构 10、下压轮机构 11、驱动轮 12、皮带 13、纠偏系统 14、收料轮 15、气缸 16、水银滑环 17、轴承座 18、橡胶层 19、导热油 20、加热棒。

具体实施方式

图1~3是本实用新型的最佳实施例，下面结合附图1~3对本实用新型做进一步说明。

如图1所示，一种引线框架的铜带的双压轮压膜系统，包括纠偏台1，在纠偏台1内固定有铜带放料轮3，铜带2缠绕在铜带放料轮3的表面，在纠偏台1内设置有两组预热轮4，两组预热轮4在竖直方向上间隔设置，铜带2自两组预热轮4之间穿过后自纠偏台1前端的开口处输出。每组预热轮4包括水平并排设置的多个，且两组预热轮4交错设置。在纠偏台1的底部还设置有一组纠偏轨道5，纠偏台1可沿纠偏轨道5前后移动，保证铜带2不会发生位置偏移。通过设置预热轮4，可以在纠偏台1内对铜带2进行预热，以保证在后续压膜时可以达到所需的温度。

铜带2自纠偏台1输出后水平延伸，在铜带2的上下两侧分别设置有一组感光膜放料轮6，在感光膜放料轮6表面缠绕有感光膜7，两个感光膜放料轮6上脱落的感光膜7分别贴合在铜带2的上下表面一起进入后续的热压轮单元。在每圈感光膜7之间由保护膜进行间隔，因此感光膜7不断自感光膜放料轮6上脱落的同时保护膜同时脱落，因此在每个感光膜放料轮6的侧部设置有对保护膜进行收集的保护膜收集轮8，脱落的保护膜不断缠绕在保护膜收集轮8的表面。

热压轮单元包括两个上压轮机构9以及分别与两个上压轮机构9一一对应的下压轮机构10，上压轮机构9和下压轮机构10分别位于铜带2的上方和下方，上压轮机构9和相对应的下压轮机构10之间间隔设置，铜带2以及附着在其上下表面的感光膜7从上压轮机构9和下压轮机构10的间隙中穿过后完成压膜。其中下压轮机构10为驱动端，通过皮带12与驱动轮11连接。两个上压轮机构9（下压轮机构10）之间的间距为20cm。

铜带2以及其上下表面的感光膜7自热压轮单元中穿过并完成压膜之后不断缠绕在收料轮14表面完成收集。在上述纠偏台1的出口处以及热压轮单元以及收料轮14之间分别设置有纠偏系统13，通过纠偏系统13对铜带2的偏移状况进行检测并通过纠偏台1底部的纠偏轨道5进行调整。纠偏系统13可通过市售常见的EPC光电纠偏系统实现。

如图2~3所示，上述的上压轮机构9和下压轮机构10均包括一个热压轮，热压轮的直径为10~30cm。热压轮包括中心处的加热棒20，在加热棒20外圈通过金属制的壳体间隔形成导热腔，在导热腔内填充有导热油19，在导热腔的外圈套设有橡胶层18。通过导热腔以及其内的导热油19实现了热量的高效传导，提高了导热效率，通过设置橡胶层18，对温度传到起到了缓冲作用，使得加热棒20输出的热量可以更为均匀的传导到感光膜7以及铜带2处，同时橡胶层18具有弹性，使得压膜时压力更为均匀。

在上压轮机构9和下压轮机构10中，在加热棒20的两外侧设置有支撑加热棒20转动的轴承座17，在加热棒20的两端设置有水银滑环16，导线（图中未画出）通过水银滑环16接入加热棒20中，保证了加热棒20在转动的同时还可以可靠供电。加热棒20的温度为80~160℃。

上压轮机构9和下压轮机构10的区别在于：在上压轮机构9中，还设置有一组气缸15，气缸15的活塞杆与其两侧的轴承座17连接，通过调节气缸15活塞杆的输出长度可实现压力的调节，通过设置气缸15，使上压轮机构9与下压轮机构10之间的压力为0.1~0.2MPa。而在下压轮机构10中，在任意一侧的轴承座17与水银滑环16之间套设有皮带12，以驱动下压轮机构10转动。

具体工作过程及工作原理如下：

铜带2自铜带放料轮3中放料后首先经过两组预热轮4预热后自纠偏台1中输出，预热轮4可采用与上述热压轮相同的技术方案实现。

铜带2输出后与同时从感光膜放料轮6上脱落的感光膜贴合，贴合之后一同进入热压轮单元中进行热压，在两组上压轮机构9以及下压轮机构10中完成热压之后由收料轮14进行收集。由于设置有两组上压轮机构9以及下压轮机构10因此铜带2前后进行两次热压，所以铜带2可以以更快的速度进行热压，提高了热压效率。

在压膜的过程中通过纠偏系统13对铜带2的偏移状况进行检测并通过纠偏台1底部的纠偏轨道5进行调整，保证了铜带2不会发生偏离。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非是对本实用新型作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例。但是凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本实用新型技术方案的保护范围。

Claims (8)

1.一种引线框架的铜带的双压轮压膜系统，包括缠绕有铜带（2）的铜带放料轮（3）以及缠绕有感光膜（7）的感光膜放料轮（6），铜带（2）自铜带放料轮（3）脱离后与同时自感光膜放料轮（6）上脱离的感光膜（7）上下贴合后经热压轮单元热压，其特征在于：所述的热压轮单元包括并排设置的两组上压轮机构（9），上压轮机构（9）位于铜带（2）的上方，还设置有与两组上压轮机构（9）分别对应的下压轮机构（10），上压轮机构（9）和相对应的下压轮机构（10）之间间隔设置，铜带（2）以及附着在其上下表面的感光膜（7）从上压轮机构（9）和下压轮机构（10）的间隙中穿过。

2.根据权利要求1所述的引线框架的铜带的双压轮压膜系统，其特征在于：所述的上压轮机构（9）和下压轮机构（10）均包括一条热压轮，热压轮包括中心处的加热棒（20），加热棒（20）的两外侧设置有支撑加热棒（20）转动的轴承座（17），在加热棒（20）的两端设置有水银滑环（16），导线通过水银滑环（16）为加热棒（20）供电。

3.根据权利要求2所述的引线框架的铜带的双压轮压膜系统，其特征在于：在所述加热棒（20）的外圈通过金属制的壳体间隔形成导热腔，在导热腔内填充有导热油（19），在导热腔的外圈套设有橡胶层（18）。

4.根据权利要求2所述的引线框架的铜带的双压轮压膜系统，其特征在于：在所述的上压轮机构（9）中还设置有一组气缸（15），气缸（15）的活塞杆与其两侧的轴承座（17）连接。

5.根据权利要求2所述的引线框架的铜带的双压轮压膜系统，其特征在于：在所述的下压轮机构（10）中，在任意一侧的轴承座（17）与水银滑环（16）之间套设有皮带（12），皮带（12）同时套装在驱动轮（11）的外圈。

6.根据权利要求1所述的引线框架的铜带的双压轮压膜系统，其特征在于：所述的铜带放料轮（3）固定在纠偏台（1）内，铜带（2）自纠偏台（1）侧部的出口输出，在纠偏台（1）的底部设置有纠偏轨道（5）。

7.根据权利要求6所述的引线框架的铜带的双压轮压膜系统，其特征在于：在所述的纠偏台（1）内还设置有两组预热轮（4），两组预热轮（4）上下间隔设置，铜带（2）自两组预热轮（4）之间穿过后输出。

8.根据权利要求1所述的引线框架的铜带的双压轮压膜系统，其特征在于：所述的感光膜放料轮（6）设置有两个，分别位于铜带（2）的上下两侧，自两个感光膜放料轮（6）脱离的感光膜（7）分别与铜带（2）的上下表面贴合。