CN209550849U - 一种通用石英沟棒精烧辅助装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种通用石英沟棒精烧辅助装置，旨在解决石英沟棒精烧效果不佳，工作效率低的不足。该实用新型包括机体、工作基台、X向横移模组、Y向纵移模组、Z向升降模组、焊枪回转夹紧机构，工作基台安装在机体上，工作基台和机体之间设有隔热间隙，工作基台左右两端均设有向上凸出的基准板，工作基台上安装有若干排用于支撑石英沟棒的支撑块，X向横移模组安装在机体和Y向纵移模组之间，Z向升降模组安装在Y向纵移模组和焊枪回转夹紧机构之间，焊枪回转夹紧机构上安装有焊枪。这种通用石英沟棒精烧辅助装置通用性好，大大方便了石英沟棒的精烧操作，精烧效果好，工作效率高。

Description

一种通用石英沟棒精烧辅助装置

技术领域

本实用新型涉及石英玻璃加工技术，更具体地说，它涉及一种通用石英沟棒精烧辅助装置。

背景技术

随着IC行业的高速发展，半导体设备制造行业随之日渐成熟，石英玻璃产品属于半导体设备中的重要组成产品，需求也与日俱增。因石英玻璃具有高硬度、高纯度、热膨胀系数低和电绝缘等一系列特性，故其加工工艺要求十分严苛，尤其精烧工艺绝大多数为传统的人工操作，精烧合格率和效率普遍偏低，且对作业人员的技能水平要求较高；半导体设备中的石英产品结构复杂多变，石英沟棒精烧更是给操作人员带来了极大的精烧困难，石英沟棒因为沟齿数量多，精烧所需时间长，沟齿精烧易变形，精烧效率低，从而造成生产成本高且质量不稳定。

实用新型内容

本实用新型克服了石英沟棒精烧效果不佳，工作效率低的不足，提供了一种通用石英沟棒精烧辅助装置，它通用性好，大大方便了石英沟棒的精烧操作，精烧效果好，工作效率高。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：一种通用石英沟棒精烧辅助装置，包括机体、工作基台、X向横移模组、Y向纵移模组、Z向升降模组、焊枪回转夹紧机构，工作基台安装在机体上，工作基台和机体之间设有隔热间隙，工作基台左右两端均设有向上凸出的基准板，工作基台上安装有若干排用于支撑石英沟棒的支撑块，X向横移模组安装在机体和Y向纵移模组之间，Z向升降模组安装在Y向纵移模组和焊枪回转夹紧机构之间，焊枪回转夹紧机构上安装有焊枪。

石英沟棒精烧操作时，首先，将待精烧的石英沟棒放置在支撑块上，手动调节石英沟棒的一端紧靠工作基台一端的基准板，确认石英沟棒位置放置无误后，点燃焊枪火焰，调效焊枪火焰，避免焊枪位置调节过程中火焰对石英沟棒造成精烧损伤。其次，试运行一段，观察焊枪火焰是否处于在石英沟棒中心位置、焊枪旋转后火焰是否覆盖沟齿侧面，调节出焊枪合适相关参数。最后调节焊枪回原点，逐步调大火焰，待精烧效果合格后，在X向横移模组、Y向纵移模组、Z向升降模组共同作用下，焊枪自动运行精烧程序，然后操作人员记录该石英沟棒相关参数。隔热间隙的设置有利于精烧过程中的散热，精烧辅助装置通用于多种型号的石英沟棒的精烧，而且一次可以进行多根石英沟棒的精烧，有利于提高工作效率。这种通用石英沟棒精烧辅助装置通用性好，大大方便了石英沟棒的精烧操作，精烧效果好，工作效率高。

作为优选，X向横移模组包括X向滑轨、X向电机、X向丝杆、X向滑块，X向丝杆与X向电机输出轴连接，X向滑块滑动安装在X向滑轨上且与X向丝杆适配连接，X向滑块上紧固连接用于安装Y向纵移模组的支架。

X向电机工作带动X向丝杆转动，从而带动X向滑块在X向滑轨上滑动，带动焊枪X向移动。

作为优选，Z向升降模组包括Z向滑轨、Z向电机、Z向丝杆、Z向滑块，Z向丝杆与Z向电机输出轴连接，Z向滑块滑动安装在Z向滑轨上且与Z向丝杆适配连接，Z向滑轨紧固安装在支架上。

Z向电机工作带动Z向丝杆转动，从而带动Z向滑块在Z向滑轨上滑动，带动焊枪Z向升降移动。

作为优选，Y向纵移模组包括Y向滑轨、Y向电机、Y向丝杆、Y向滑块，Y向丝杆与Y向电机输出轴连接，Y向滑块滑动安装在Y向滑轨上且与Y向丝杆适配连接，焊枪回转夹紧机构安装在Y向滑轨上，Y向滑块紧固连接在Z向滑块上。

Y向电机工作带动Y向丝杆转动，而Y向滑块紧固连接在Z向滑块上，因此Y向滑轨在Y向滑块上滑动，带动焊枪Y向移动。

作为优选，焊枪回转夹紧机构包括安装盘、连接座、驱动电机、安装板，连接座连接在安装盘上，驱动电机安装在连接座上，驱动电机输出轴与安装板紧固连接，焊枪连接在安装板上。在连接座与安装盘紧固之间对连接座的角度进行微调。驱动电机工作带动安装板转动，从而对焊枪的角度进行调整。

作为优选，工作基台和机体之间连接有若干根石墨隔热柱。石墨隔热柱便于工作基台的安装，有利于隔热。

作为优选，工作基台和支撑块均为石墨材质。石墨材质耐热性能好。

作为优选，支撑块上表面设有倾斜设置的支撑面，相邻两支撑块上的支撑面倾斜方向相反，相邻两支撑块投影到基准板构成V形结构，石英沟棒支撑在支撑面上。石英沟棒支撑在一排支撑块上，支撑平稳可靠。

作为优选，机体上设有承载台，X向横移模组和工作基台安装在承载台上。承载台的设置便于工作基台和焊枪的安装。

作为优选，机体下端安装若干个高度调整脚和若干个脚轮。高度调整脚便于调整机体的支撑高度，脚轮便于推动机体移动。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通用石英沟棒精烧辅助装置通用性好，大大方便了石英沟棒的精烧操作，精烧效果好，工作效率高。

附图说明

图1是本实用新型的一种结构示意图；

图2是本实用新型的局部放大示意图；

图3是本实用新型的局部剖视图；

图中：1、机体，2、工作基台，3、隔热间隙，4、基准板，5、支撑块，6、焊枪，7、X向滑轨，8、X向电机，9、X向丝杆，10、X向滑块，11、支架，12、Z向滑轨，13、Z向电机，14、Z向丝杆，15、Z向滑块，16、Y向滑轨，17、Y向电机，18、Y向丝杆，19、Y向滑块，20、安装盘，21、连接座，22、驱动电机，23、安装板，24、石墨隔热柱，25、支撑面，26、承载台，27、高度调整脚，28、脚轮，29、人机操作屏，30、石英沟棒。

具体实施方式

下面通过具体实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的具体描述：

实施例：一种通用石英沟棒精烧辅助装置（参见附图1至附图3），包括机体1、工作基台2、X向横移模组、Y向纵移模组、Z向升降模组、焊枪回转夹紧机构，工作基台安装在机体上，工作基台和机体之间设有隔热间隙3，工作基台左右两端均设有向上凸出的基准板4，工作基台上安装有若干排用于支撑石英沟棒的支撑块5，X向横移模组安装在机体和Y向纵移模组之间，Z向升降模组安装在Y向纵移模组和焊枪回转夹紧机构之间，焊枪回转夹紧机构上安装有焊枪6。X向横移模组包括X向滑轨7、X向电机8、X向丝杆9、X向滑块10，X向丝杆与X向电机输出轴连接，X向滑块滑动安装在X向滑轨上且与X向丝杆适配连接，X向滑块上紧固连接用于安装Y向纵移模组的支架11。Z向升降模组包括Z向滑轨12、Z向电机13、Z向丝杆14、Z向滑块15，Z向丝杆与Z向电机输出轴连接，Z向滑块滑动安装在Z向滑轨上且与Z向丝杆适配连接，Z向滑轨紧固安装在支架上。Y向纵移模组包括Y向滑轨16、Y向电机17、Y向丝杆18、Y向滑块19，Y向丝杆与Y向电机输出轴连接，Y向滑块滑动安装在Y向滑轨上且与Y向丝杆适配连接，焊枪回转夹紧机构安装在Y向滑轨上，Y向滑块紧固连接在Z向滑块上。焊枪回转夹紧机构包括安装盘20、连接座21、驱动电机22、安装板23，连接座连接在安装盘上，驱动电机安装在连接座上，驱动电机输出轴与安装板紧固连接，焊枪连接在安装板上。工作基台和机体之间连接有若干根石墨隔热柱24。工作基台和支撑块均为石墨材质。支撑块上表面设有倾斜设置的支撑面25，相邻两支撑块上的支撑面倾斜方向相反，同一排相邻两支撑块投影到基准板构成V形结构，石英沟棒支撑在支撑面上。机体上设有承载台26，X向横移模组和工作基台安装在承载台上。机体下端安装若干个高度调整脚27和若干个脚轮28。机体上安装控制器、人机操作屏29，控制器为PLC控制器。X向电机、Y向电机、Z向电机、驱动电机、人机操作屏均与控制器电连接，人机操作屏输入信号，控制器根据输入的信号控制X向电机、Y向电机、Z向电机、驱动电机工作。

石英沟棒精烧操作时，首先，将待精烧的石英沟棒30放置在支撑块上，手动调节石英沟棒的一端紧靠工作基台一端的基准板，确认石英沟棒位置放置无误后，点燃焊枪火焰，调效焊枪火焰，避免焊枪位置调节过程中火焰对石英沟棒造成精烧损伤。其次，人机操作屏输入信号，试运行一段，观察焊枪火焰是否处于在石英沟棒中心位置、焊枪旋转后火焰是否覆盖沟齿侧面，调节出焊枪合适相关参数。最后调节焊枪回原点，逐步调大火焰，待精烧效果合格后，在X向横移模组、Y向纵移模组、Z向升降模组共同作用下，焊枪自动运行精烧程序，然后操作人员记录该石英沟棒相关参数。隔热间隙的设置有利于精烧过程中的散热，精烧辅助装置通用于多种型号的石英沟棒的精烧，而且一次可以进行多根石英沟棒的精烧，有利于提高工作效率。这种通用石英沟棒精烧辅助装置通用性好，大大方便了石英沟棒的精烧操作，精烧效果好，工作效率高。

以上所述的实施例只是本实用新型的一种较佳的方案，并非对本实用新型作任何形式上的限制，在不超出权利要求所记载的技术方案的前提下还有其它的变体及改型。

Claims (10)

1.一种通用石英沟棒精烧辅助装置，其特征是，包括机体、工作基台、X向横移模组、Y向纵移模组、Z向升降模组、焊枪回转夹紧机构，工作基台安装在机体上，工作基台和机体之间设有隔热间隙，工作基台左右两端均设有向上凸出的基准板，工作基台上安装有若干排用于支撑石英沟棒的支撑块，X向横移模组安装在机体和Y向纵移模组之间，Z向升降模组安装在Y向纵移模组和焊枪回转夹紧机构之间，焊枪回转夹紧机构上安装有焊枪。

2.根据权利要求1所述的一种通用石英沟棒精烧辅助装置，其特征是，X向横移模组包括X向滑轨、X向电机、X向丝杆、X向滑块，X向丝杆与X向电机输出轴连接，X向滑块滑动安装在X向滑轨上且与X向丝杆适配连接，X向滑块上紧固连接用于安装Y向纵移模组的支架。

3.根据权利要求2所述的一种通用石英沟棒精烧辅助装置，其特征是，Z向升降模组包括Z向滑轨、Z向电机、Z向丝杆、Z向滑块，Z向丝杆与Z向电机输出轴连接，Z向滑块滑动安装在Z向滑轨上且与Z向丝杆适配连接，Z向滑轨紧固安装在支架上。

4.根据权利要求3所述的一种通用石英沟棒精烧辅助装置，其特征是，Y向纵移模组包括Y向滑轨、Y向电机、Y向丝杆、Y向滑块，Y向丝杆与Y向电机输出轴连接，Y向滑块滑动安装在Y向滑轨上且与Y向丝杆适配连接，焊枪回转夹紧机构安装在Y向滑轨上，Y向滑块紧固连接在Z向滑块上。

5.根据权利要求1至4任意一项所述的一种通用石英沟棒精烧辅助装置，其特征是，焊枪回转夹紧机构包括安装盘、连接座、驱动电机、安装板，连接座连接在安装盘上，驱动电机安装在连接座上，驱动电机输出轴与安装板紧固连接，焊枪连接在安装板上。

6.根据权利要求1至4任意一项所述的一种通用石英沟棒精烧辅助装置，其特征是，工作基台和机体之间连接有若干根石墨隔热柱。

7.根据权利要求1至4任意一项所述的一种通用石英沟棒精烧辅助装置，其特征是，工作基台和支撑块均为石墨材质。

8.根据权利要求1至4任意一项所述的一种通用石英沟棒精烧辅助装置，其特征是，支撑块上表面设有倾斜设置的支撑面，相邻两支撑块上的支撑面倾斜方向相反，相邻两支撑块投影到基准板构成V形结构，石英沟棒支撑在支撑面上。

9.根据权利要求1至4任意一项所述的一种通用石英沟棒精烧辅助装置，其特征是，机体上设有承载台，X向横移模组和工作基台安装在承载台上。

10.根据权利要求1至4任意一项所述的一种通用石英沟棒精烧辅助装置，其特征是，机体下端安装若干个高度调整脚和若干个脚轮。