CN209493042U - 一种上下料装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种上下料装置，包括机架；所述的机架内水平设有第一输送机构；所述的第一输送机构正下方设有与其输送方向相反的第二输送机构；所述的第一输送机构的输出端对接有第三输送机构；所述的机架上设有升降机构；所述的第三输送机构固定在用于将其分别与第一输送机构输出端和第二输送机构输入端对接的升降机构上。本实用新型目的在于提供一种结构巧妙、能自动上下料、同时还提高整个晶圆片生产线生产效率的上下料装置。

Description

一种上下料装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆片生产设备技术领域，尤其涉及一种上下料装置。

背景技术

晶圆片，是指先将二氧化矽经过纯化、融解、蒸馏之后，制成矽晶棒，晶圆厂再拿这些矽晶棒研磨，抛光和切片成为晶圆片。晶圆片可以用来加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。

晶圆片在生产线上需要经过数百条工序。晶圆片在进入下一道工序加工前，会将其一片片的叠放在承载装置中，以便节省占地空间并为转移到下一道工序做作备。在生产中，为了避免损坏，大多采用人工戴上专门的防磨损手套，一片一片地将承载装置中的晶圆片取出，放置到下一工序上。该种方法虽然可以部分避免晶圆片的破损，但是耗费人力，且耗时较长。

实用新型内容

为了解决上述现有技术存在的问题，本实用新型目的在于提供一种结构巧妙、能自动上下料、同时还提高整个晶圆片生产线生产效率的上下料装置。

为实现上述目的，本发明提供一种晶圆片输送机构，包括机架；所述的机架内水平设有第一输送机构；所述的第一输送机构正下方设有与其输送方向相反的第二输送机构；所述的第一输送机构的输出端对接有第三输送机构；所述的机架上设有升降机构；所述的第三输送机构固定在用于将第三输送机构分别与第一输送机构输出端和第二输送机构输入端对接的升降机构上。

优选地，所述的第一输送机构包括沿输送方向设置其在两侧且相互平行的第一限位挡板、沿运输方向设置的第一皮带和与电机联动的第一滚轴；所述的第一皮带套设在第一滚轴上。

优选地，所述的第二输送机构包括沿输送方向设置其在两侧且相互平行的第二限位挡板、沿运输方向设置的第二皮带和与电机联动的第二滚轴；所述的第二皮带套设在第二滚轴上。

优选地，所述的第三输送机构包括沿输送方向设置其在两侧且相互平行的第三限位挡板、沿运输方向设置的第三皮带和与电机联动的第三滚轴；所述的第三皮带套设在第三滚轴上。

优选地，所述的第三限位挡板的侧壁设有用于固定晶圆片的承载装置的紧锁机构。

优选地，所述的紧锁机构为水平延伸的气压缸，所述气压缸的固定端设置在其中一块第三限位挡板上，气压缸的活动端朝向另一块第三限位挡板。

优选地，所述的机架上设有外板。

优选地，所述的升降机构包括滑轨、丝杆、沿滑轨和丝杆往复运动的滑动平台和与丝杆螺纹配合的涡轮减速电机；所述的滑轨和丝杆均竖直设置在机架上；滑动平台与第三输送机构固定连接并与滑轨滑动配合；所述的涡轮减速电机固定在滑动平台上。

与现有技术相比,本实用新型所述的一种上下料装置，其优点在于：

1.升降机构由控制系统准确地控制其每次下降的距离及时间，使得放置在第三输送机构上的晶圆片的承载装置准确地下降到指定位置，由下一工序的设备将承载装置上的晶圆片由下至上一片片的取走，降低了人工操作带来的不稳定性，节省了人力操作，提高生产效率。

2.通过设置运输方向相反的第一输送机构和第二输送机构，可连续地将取出晶圆片后的晶圆片的承载装置运输到下一工序，保证了生产连续性。

3.在每个输送机构运输方向上的两侧，都增加了相应的限位挡板，防止晶圆片的承载装置在运输过程中错误的运动。

4.通过在第三输送机构上增设紧锁机构，可将晶圆片的承载装置固定，防止下一工序在转移其上的晶圆片时带动该装置移动使其位置发生改变，导致下一工序无法继续获取其上的晶圆片。

5.在机架上设置多个外板，可有效地防止生产车间中的碎屑飞落到晶圆片上，造成污染。

附图说明

图1是本实用新型不带外板的结构示意图。

图2是本实用新型带外板的结构示意图。

图3是本实用新型带外板时升降机构的正视图。

其中:100-机架；210-第一输送机构；211-第一皮带；212-第一滚轴；213-第一限位挡板；220-第二输送机构；221-第二皮带；222-第二滚轴；223-第二限位挡板；300-第三输送机构；301-第三皮带；302-第三滚轴；303-第三限位挡板；304-紧锁机构；400-升降机构；401-滑动平台；402-涡轮减速电机；403-滑轨；404-丝杆；500-外板；600-可调底脚。

具体实施方式

如图1-3所示，本实用新型所述的一种上下料装置，包括机架100。在机架100上设有用于输送装载有晶圆片的承载装置的第一输送机构210。第一输送机构210包括沿输送方向设置其在两侧且相互平行的第一限位挡板213、沿运输方向设置的第一皮带211和与电机联动的第一滚轴212。第一皮带211套设在第一滚轴212上。通过设置第一限位挡板213，可防止晶圆片的承载装置在运输过程中错误的运动。

在第一输送机构210正下方水平设有与其输送方向相反的第二输送机构220。第二输送机构220用于将取出晶圆片后的承载装置输送至下一个工序上。第二输送机构220包括沿输送方向设置其在两侧相且互平行的第二限位挡板223、沿运输方向设置的第二皮带221和与电机联动的第二滚轴222。第二皮带221套设在第二滚轴222上。通过设置第二限位挡板223，可防止晶圆片的承载装置在运输过程中错误的运动。

在机架100的背部设有升降机构400。升降机构400包括滑轨403、丝杆404、沿滑轨403和丝杆404往复运动的滑动平台401和与丝杆404螺纹配合的涡轮减速电机402。滑轨403竖直固定在机架100上。丝杆404竖直固定在机架100上且位于两个所述的滑轨403之间。涡轮减速电机402固定在滑动平台401上与丝杆404螺纹配合，用于带动滑动平台401上下移动。

升降机构400的滑动平台401上固定有第三输送机构300。第三输送机构300可与第一输送机构210的输出端对接。升降机构400通过控制第三输送机构300的上升和下降，可使其分别与第一输送机构210输出端和第二输送机构220输入端对接。第三输送机构300包括沿输送方向设置其在两侧且相互平行的第三限位挡板303、沿运输方向设置的第三皮带301和与电机联动的第三滚轴302。第三皮带301套设在第三滚轴302上。通过设置第三限位挡板303，可防止晶圆片的承载装置在运输过程中错误的运动。需要注意的是，第三输送机构300的输送方向是双向的且能够受系统控制启停。当第一输送机构210将装载有晶圆片的承载装置输送到第三输送机构300上时，第三输送机构300会沿原输送方向上继续将承载装置输送到指定位置。到达指定位置后，第三输送机构300暂停工作，由下一工序将放置在第三输送机构300上的晶圆片从承载装置中取出。每取完一片晶圆片后，系统控制升降机构400使第三输送机构300下降到指定位置，继续取另一片晶圆片，如此往复，直到取完所有晶圆片。当取完晶圆片后升降机构400控制第三输送机构300下降到与第二输送机构220输入端对接的位置，然后第三输送机构300反方向将承载装置输送给第二输送机构220，由其将承载装置转移到下一工序，保证了生产的连续性。

多块晶圆片在承载装置中上下间隔布置，且各晶圆片水平布置，承载装置对晶圆片的边缘部分进行承托。为进一步的完善本实用新型，在第三挡板303的侧壁设有用于固定晶圆片的承载装置的紧锁机构304。在第三输送机构300暂停工作、下一工序获取晶圆片时，紧锁机构304会将承载装置固定在第三限位挡板303和紧锁机构304之间，防止下一工序在转移晶圆片时带动承载装置移动使承载装置位置发生改变，导致下一工序无法继续获取其上的晶圆片。本实施例中，紧锁机构304为水平延伸的气压缸。气压缸的固定端设置在其中一块第三限位挡板303上，气压缸的活动端朝向另一块第三限位挡板303。气压缸可沿水平方向将承载装置推向另一侧的第三限位挡板303，防止其移动。当取完晶圆片后气压缸复位，第三输送机构300下降到与第二输送机构220输入端对接的位置，然后第三输送机构300反方向将承载装置输送给第二输送机构220。下一工序获取晶圆片的设备采用能水平移动至承载装置上最下层晶圆片下方的皮带输送机构。每当第三输送机构300下降一点，则有一块晶圆片落在下一工序获取晶圆片的皮带输送机构上被移走。当承载装置上的所有晶圆片都被移走后，下一工序获取晶圆片的皮带输送机构可水平移开，避免对第三输送机构300的下降造成干涉。

需要注意的是，第一输送机构210和第二输送机构220的高度差必须大于晶圆片的承载装置高度，才能保证承载装置能够在第二输送机构220上运输。

机架100的顶部和第一输送机构210运输方向的两侧均设有外板500，且靠近第一输送机构210一侧的外板500做成对开门的结构，可使操作人员方便的进入维修。通过设置外板500，可有效地防止生产车间中的碎屑飞落到晶圆片上而造成污染。

为了使本实施例在生产过程中保持水平，在机架100的底部设有四个可调底脚600，可适应工厂中地面出现不平整的情况。

对于本领域的技术人员来说，可根据以上描述的技术方案以及构思，做出其它各种相应的改变以及形变，而所有的这些改变以及形变都应该属于本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种上下料装置，其特征在于，包括机架(100)；所述的机架(100)内水平设有第一输送机构(210)；所述的第一输送机构(210)正下方设有与其输送方向相反的第二输送机构(220)；所述的第一输送机构(210)的输出端对接有第三输送机构(300)；所述的机架(100)上设有升降机构(400)；所述的第三输送机构(300)固定在用于将其分别与第一输送机构(210)输出端和第二输送机构(220)输入端对接的升降机构(400)上。

2.根据权利要求1所述上下料装置，其特征在于，所述的第一输送机构(210)包括沿输送方向设置其在两侧且相互平行的第一限位挡板(213)、沿运输方向设置的第一皮带(211)和与电机联动的第一滚轴(212)；所述的第一皮带(211)套设在第一滚轴(212)上。

3.根据权利要求1所述上下料装置，其特征在于，所述的第二输送机构(220)包括沿输送方向设置其在两侧且相互平行的第二限位挡板(223)、沿运输方向设置的第二皮带(221)和与电机联动的第二滚轴(222)；所述的第二皮带(221)套设在第二滚轴(222)上。

4.根据权利要求1所述上下料装置，其特征在于，所述的第三输送机构(300)包括沿输送方向设置其在两侧且相互平行的第三限位挡板(303)、沿运输方向设置的第三皮带(301)和与电机联动的第三滚轴(302)；所述的第三皮带(301)套设在第三滚轴(302)上。

5.根据权利要求4所述上下料装置，其特征在于，所述的第三限位挡板(303)的侧壁设有用于固定晶圆片的承载装置的紧锁机构(304)。

6.根据权利要求5所述上下料装置，其特征在于，所述的紧锁机构(304)为水平延伸的气压缸，所述气压缸的固定端设置在其中一块第三限位挡板(303)上，气压缸的活动端朝向另一块第三限位挡板(303)。

7.根据权利要求1所述上下料装置，其特征在于，所述的机架(100)上设有外板(500)。

8.根据权利要求1所述上下料装置，其特征在于，所述的升降机构(400)包括滑轨(403)、丝杆(404)、沿滑轨(403)和丝杆(404)往复运动的滑动平台(401)和与丝杆(404)螺纹配合的涡轮减速电机(402)；所述的滑轨(403)和丝杆(404)均竖直设置在机架(100)上；滑动平台(401)与第三输送机构(300)固定连接并与滑轨(403)滑动配合；所述的涡轮减速电机(402)固定在滑动平台(401)上。