CN209374405U - 半导体检测用定位组件 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体检测用定位组件，包括放置待检测工件的载物台和载物台下方的高度调节机构；载物台包括设有定位孔的载物板、设有定位轴的基准板、调节板和工件固定装置，定位孔内设有适配的轴套，定位轴穿过与其适配的轴套；基准板的上方设有与调节板匹配的凹槽，调节板放置于凹槽内，并可在凹槽内滑动；基准板的侧壁上设有螺孔和调节螺栓，调节螺栓穿过螺孔抵住调节板锁紧；工件固定装置固定在调节板上；高度调节机构穿过载物板带动基准板升降。本实用新型可以实现不同型号工件的精确定位，并且可以满足工件的机械化投料，具有检测、组装、分选等功能通用性。

Description

半导体检测用定位组件

技术领域

本实用新型涉及半导体制造过程中的检测设备，特别是涉及一种半导体检测用定位组件。

背景技术

半导体器件产品生产过程中，从半导体单晶片到加工成最终成品，需经历很多道工序。为了确保产品性能合格、稳定可靠，具有高成品率，根据不同半导体产品的生产情况，对所有工艺步骤都有着严格要求。因而，在生产过程中，半导体工艺检测工序必不可少。半导体检测工序中，半导体检测设备需要将工件先进行定位后，然后再进行组装、测试、分选。定位的准确性会直接影响测试结果，工件定位的同时需满足在各工位间流通周转。

实用新型内容

实用新型目的：本实用新型的目的是提供一种半导体检测用定位组件，能够半导体加工过程中工件投料及检测时高精度定位的需求。

技术方案：一种半导体检测用定位组件，包括放置待检测工件的载物台和载物台下方的高度调节机构；所述载物台包括设有定位孔的载物板、设有定位轴的基准板、调节板和工件固定装置，所述定位孔内设有适配的轴套，定位轴穿过与其适配的轴套；所述基准板的上方设有与调节板匹配的凹槽，调节板放置于凹槽内，并可在凹槽内滑动；所述基准板的侧壁上设有螺孔和调节螺栓，调节螺栓穿过螺孔抵住调节板锁紧；所述工件固定装置固定在调节板上；所述高度调节机构穿过载物板带动基准板升降。

为了便于外部机械手对工件的放置和取出，所述工件固定装置上设有与工件相适配的卡槽。

为了使调节板定位后更好地固定住，所述基准板的两个相对侧壁上均设有螺孔和调节螺栓。

工作原理：本实用新型中的半导体检测用定位组件，通过水平调节板和高度调节机构的设置，使载物台可以在水平方向、高度方向进行调节，等调节到所需的位置时，将待检测工件放置到将待检测工件放置到工件固定装置进行相应的检测工序。同时可以针对不同型号工件设计不同的工件固定装置，以实现该定位组件的高效利用。可以在载物板上设置若干组定位孔，不同位置用于不同的加工工序，配合外部机械手将工件放置于不同的位置，实现了不同工位的通用流转。也可以在载物板上同时进行不同的检测工序，只需增加相应的调节板、基准板、定位轴和工件固定装置。

有益效果：本实用新型中的半导体检测用定位组件，结构简易实用，可以实现不同型号工件的精确定位，并且可以满足工件的机械化投料，具有检测、组装、分选等功能通用性。

附图说明

图1是半导体检测用定位组件的立体结构示意图；

图2是半导体检测用定位组件的主视图；

图3是半导体检测用定位组件的俯视图；

图4是载物板和导杆气缸的立体结构示意图；

图5是载物板和导杆气缸的主视图；

图6是载物板和导杆气缸的俯视图。

具体实施方式

如图1-6所示，本实用新型包括放置待检测工件的载物台和载物台下方的导杆气缸8，载物台包括载物板1、基准板3和调节板4。调节板4上设有两个工件固定装置5，工件固定装置5通过螺纹连接固定在调节板4上，也可以根据需求设置多个工件固定装置5在调节板4上。工件固定装置5上设有与待检测工件匹配的卡槽，将工件卡在卡槽内使其固定。也可以在工件固定装置5上设置现有技术中的其他固定方式使工件固定。

载物板1上设有四个定位孔，孔内设有适配的轴套6，轴套6固定在定位孔内，定位孔中间设有矩形升降口9；基准板3下方设有四根与轴套6适配的定位轴2，定位轴2穿过轴套6，基准板3上方设有与调节板4匹配的凹槽，调节板4放置于凹槽内，可以通过调节凹槽内调节板4的位置从而调节工件的位置。基准板3凹槽两边凸起的侧壁上设有螺孔和相应的调节螺栓7，当工件调节至所需位置时，旋动两边的调节螺栓7，使调节螺栓7抵住调节板4处于锁紧状态，避免调节板4再次滑动影响工件定位。调节板在基准板上水平移动也可以采用齿条齿轮啮合传动或者丝杠配合电机等调节方式，此是本领域技术人员可以轻易实现的，不再详细说明。

通过运行载物板1下方的导杆气缸8，导杆气缸8穿过载物板1上的升降口9，推动基准板3升降，从而实现工件的高度升降，同时轴套6的设置使定位轴2在轴套6内上下平滑滑动，不会产生卡顿现象；当工件升至所需高度时，导杆气缸8停止工作。也可以使用现有技术中的其他高度调节机构使基准板3实现高度升降。

本实用新型中的半导体检测用定位组件，通过调节板4和导杆气缸8的设置，使载物台可以在水平方向、高度方向进行调节，等调节到所需的位置时，将待检测工件放置到将待检测工件放置到工件固定装置5进行相应的检测工序。同时可以针对不同型号工件设计不同的工件固定装置5，以实现该定位组件的高效利用。可以在载物板1上设置若干组定位孔，不同位置用于不同的加工工序，配合外部机械手将工件放置于不同的位置，实现了不同工位的通用流转。也可以在载物板1上同时进行不同的检测工序，只需增加相应的调节板4、基准板3、定位轴2和工件固定装置5。本实用新型中的半导体检测用定位组件，结构简易实用，可以实现不同型号工件的精确定位，并且可以满足工件的机械化投料，具有检测、组装、分选等功能通用性。

Claims (5)

1.一种半导体检测用定位组件，其特征在于：包括放置待检测工件的载物台和载物台下方的高度调节机构；所述载物台包括设有定位孔的载物板(1)、设有定位轴(2)的基准板(3)、调节板(4)和工件固定装置(5)，所述定位孔内设有适配的轴套(6)，定位轴(2)穿过与其适配的轴套(6)；所述基准板(3)的上方设有与调节板(4)匹配的凹槽，调节板(4)放置于凹槽内，并可在凹槽内滑动；所述基准板(3)的侧壁上设有螺孔和调节螺栓(7)，调节螺栓(7)穿过螺孔抵住调节板(4)锁紧；所述工件固定装置(5)固定在调节板(4)上；所述高度调节机构穿过载物板(1)带动基准板(3)升降。

2.根据权利要求1所述的半导体检测用定位组件，其特征在于：所述工件固定装置(5)上设有与工件相适配的卡槽。

3.根据权利要求1所述的半导体检测用定位组件，其特征在于：所述基准板(3)的两个相对侧壁上均设有螺孔和调节螺栓(7)。

4.根据权利要求1所述的半导体检测用定位组件，其特征在于：所述高度调节机构为导杆气缸(8)。

5.根据权利要求1所述的半导体检测用定位组件，其特征在于：所述工件固定装置(5)采用螺纹连接固定在载物台上。