CN112762281B - 一种设备定位装置及定位方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种设备定位装置，包括定位块、导向槽、定位孔和定位销，其中，所述定位块固定在地面，所述定位块中包括导向槽和定位孔，且定位孔位于导向槽中；所述定位销固定在设备底部，且所述定位销的形状与所述定位孔契合；当设备靠近定位装置时，设备底部的定位销移动至导向槽中，并沿着导向槽移动至定位孔中，调节设备的高度，使得定位销插入至定位孔底部，使得设备被固定；当设备远离定位装置时，调节设备高度，使得设备底部定位销移出定位孔，并沿着导向槽滑出定位装置，再将设备移出定位装置。通过本发明定位装置可以确保设备移入移出过程迅速，定位准确便捷。

Description

一种设备定位装置及定位方法

技术领域

本发明涉及设备固定领域，具体涉及一种设备定位装置及定位方法。

背景技术

在完整的生产链中通常包含多个设备，且每个设备在进厂或者检修环节需要不断的移入移出场地，尤其是检修环节，检修完成之后的设备还需要再移动至固定场地进行固定。针对生产链来说，在设备的初次安装以及后续多次安装过程中，均需要将其高度以及位置毫无差异的进行复原，这样才能保证生产条件相同。

如附图1所示，现有技术中设备的移入移出采用脚轮6和脚杯10相互配合的方法进行，传统设计都是脚轮6用来对设备5进行移动，移动到位后脚杯10调高用来支撑设备5，这时脚轮6不再着地。采用这种方式安装的设备如果想要在对设备位置进行微调节就无法进行了，只能反复的调节脚杯高度使脚轮受力对设备位置进行调位。同时设备因为大修维护等需要移出工位时，再次移入工位又需要再一次调节，不具有固定位置的再现性；需要多次调节脚轮的位置才能移动至固定点。

现有技术中针对设备移入移出的位置不可再现性严重阻碍了整个生产链的组装以及生产效率。

发明内容

本发明的目的是提供一种设备定位装置及定位方法，通过本发明定位装置可以确保设备移入移出过程迅速，定位准确便捷。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：一种设备定位装置，包括定位块、导向槽、定位孔和定位销，其中，所述定位块固定在地面，所述定位块中包括导向槽和定位孔，且定位孔位于导向槽中；所述定位销固定在设备底部，且所述定位销的形状与所述定位孔契合；

当设备靠近定位装置时，设备底部的定位销移动至导向槽中，并沿着导向槽移动至定位孔中，调节设备的高度，使得定位销插入至定位孔底部，使得设备被固定；

当设备远离定位装置时，调节设备高度，使得设备底部定位销移出定位孔，并沿着导向槽滑出定位装置，再将设备移出定位装置。

进一步的，所述定位块固定在所述高架地板中，所述定位块通过螺钉固定在锁紧块中，所述定位块位于所述高架地板的顶部，所述锁紧块位于高架地板的底部。

进一步的，所述定位块固定在地面上，所述定位块通过膨胀螺丝固定在地面中。

进一步的，所述定位装置还包括脚轮，所述脚轮固定在设备底部，所述脚轮带动设备进行移动。

进一步的，所述脚轮连接高度调节螺丝，所述高度调节螺丝用于调节脚轮的高度。

进一步的，所述导向槽为位于定位块中的水平凹槽，且所述导向槽的水平截面为锥形，远离定位孔一端的水平截面面积大于靠近定位孔一端的水平截面面积。

进一步的，所述定位孔位于导向槽的末端，所述定位孔的高度小于所述导向槽的高度。

进一步的，所述设备为晶圆传送机或者晶圆分拣机。

一种采用定位设备进行设备移入移出的方法，包括如下步骤：

S01：设备入厂时，设备底部的定位销升高至不承重状态，设备底部的脚轮降低至称重状态，所述脚轮带动设备移动至待固定位置，并标记出待固定位置；

S02：脚轮带动设备移出待固定位置，将定位块固定在待固定位置；

S03：脚轮带动设备底部的定位销移动至定位块中的导向槽中，并沿着导向槽滑动至定位孔中，此时设备被定位装置固定，调高脚轮的高度，使得脚轮升高至不承重状态；

S04：设备需要移出时，调节脚轮至承重状态，调节定位销的高度使得定位销移出定位孔，所述定位销沿着导向槽滑出定位装置，脚轮带动设备移出定位装置。

本发明具有如下有益效果：本发明通过定位孔、导向槽以及定位销的相互配合，确保设备的准确快速定位，鉴于导向槽的截面面积大于定位孔，只需要将设备移入至导向槽中，即可精准滑动至定位孔进行定位；当设备移出时，只需要将定位销移出定位孔，即可沿着导向槽滑出定位装置；

针对晶圆传输、分拣装置，采用现有技术中脚轮脚杯装置进行设备移入安装预计需要8小时左右，而采用本发明中定位装置首次移入安装设备时，只需要4小时；采用本发明中定位装置再次移入安装设备时，只需要1小时；可以看出，本发明可以大大提高设备的安装以及调试效率，进而提高整个生产线的生产效率。

附图说明

附图1为现有技术中包含脚轮脚杯的定位装置示意图；

附图2为本发明中定位装置的结构示意图；

附图3为本发明中定位装置与设备的整体示意图；

附图4为本发明中定位孔和定位销的结构示意图；

图中：1定位块，2导向槽，3定位孔，4定位销，5设备，6脚轮，7高度调节螺丝，8高架地板，9锁紧块，10脚杯。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本发明的具体实施方式做进一步的详细说明。

如附图2-4所示，本发明提供的一种设备定位装置，包括定位块1、导向槽2、定位孔3和定位销4，其中，定位块1固定在地面，定位块1中包括导向槽2和定位孔3，且定位孔3位于导向槽2中；定位销4固定在设备5底部，且定位销4的形状与定位孔3契合。

定位块用于确定定位位置，可以在设备初次安装的时候先将设备移动至待固定位置，利用设备底部的定位销确定待固定位置，进而将定位块固定在带固定位置处。本发明中定位块可以固定在高架地板中，也可以直接固定在地面中。如附图2所示，以固定在高价地板中为例进行说明：定位块1通过螺钉固定在锁紧块9中，定位块1固定于高架地板8的顶部，锁紧块9固定于高架地板8的底部；高架地板中间具有移动的空间，正好为导向槽2和定位孔3的设置提供方便。作为另外一种实施例，本发明中定位块也可以直接固定在地面中，当直接固定在地面中时，定位块通过膨胀螺丝进行固定，此时不需要锁紧块，其中膨胀螺丝没入地面中，用于在地面中膨胀确保定位块的位置固定精准。

请继续参阅附图2-4，本发明中导向槽2为位于定位块1中的水平凹槽，且导向槽2的水平截面为锥形，远离定位孔3一端的水平截面面积大于靠近定位孔3一端的水平截面面积。优选的，定位孔位于导向槽的末端，定位孔的高度小于导向槽的高度。本发明中导向槽设置为凹槽是为了方便定位销在导向槽中滑动，且定位孔为位于导向槽中的凹槽，定位销沿着导向槽滑动过程中必然会落入定位孔中；本发明设置定位销底部形状与定位孔契合，即当定位销落入定位孔中，即可实现定位销的无缝隙固定，契合的形状使得定位销无法移动，进而确保设备的稳定性。

优选的，本发明中定位孔的深度要小于导向槽的厚度，即定位孔没有贯穿导向槽，若贯穿导向槽，则定位销的底部就会滑出定位块，不利于定位销的固定，本发明中定位孔的深度优先为5mm左右，如附图4所示。作为另外一种实施例，当定位孔贯穿导向槽时，可以在定位孔周边固定限位装置，用于限定定位销的位置。

优选的，定位销的高度通过脚轮连接高度调节螺丝进行调节，也可以设置单独的高度调节单元。高度调节螺丝带动脚轮上升或者下降的时候，可以间接调节定位销的高度；高度调节单元可以直接调节定位销的高度，确保定位销可以顺利移出或者移入定位孔。优选的，本发明中固定销可以位于设备的四个角或者其他便于设备固定为任意位置。

如附图3所示，本发明定位装置还包括脚轮6，脚轮6固定在设备5底部，脚轮6带动设备5进行移动。优选的，脚轮6连接高度调节螺丝7，高度调节螺丝7用于调节脚轮6的高度，脚轮的作用在于带动设备进行移动，并且本发明中脚轮连接的高度调节螺丝可以带动脚轮进行上下调节，使得脚轮处于称重状态或者不承重状态，当设备需要移动时，高度调节螺丝调节脚轮下降至称重状态，进而脚轮带动设备进行移动；当设备处于固定状态时，高度调节螺丝调节脚轮上升至不承重状态。

脚轮处追加高度调节螺丝，可以边调节设备位置边调节设备高度，方便了调节的操作性。

本发明中设备可以但不限于为晶圆传送机或者晶圆分拣机。晶圆传送机与后端设备对接是高度及位置调节。晶圆分拣机与后端结合设备如foup厂家的片库对接调节，及后端设备维护便利性频繁的移入移出工位。

综上所述，当设备靠近定位装置时，设备底部的定位销移动至导向槽中，并沿着导向槽移动至定位孔中，调节设备的高度，使得定位销插入至定位孔底部，使得设备被固定；当设备远离定位装置时，调节设备高度，使得设备底部定位销移出定位孔，并沿着导向槽滑出定位装置，再将设备移出定位装置。

请继续参阅附图2-4，本发明提供的一种设备移入移出的方法，包括如下步骤：

S01：设备5入厂时，设备5底部的定位销4升高至不承重状态，设备5底部的脚轮6降低至称重状态，此时为设备的首次移入安装，需要脚轮首选带动设备移动至待固定位置，并标记出待固定位置；设备首次安装时需要将设备移动至目的地进行准确定位。

S02：脚轮6带动设备移出待固定位置，将定位块1固定在待固定位置；值得说明的是，本发明中定位装置和定位销是一一对应的，每个定位销对应一个定位装置；根据设备底部的定位销位置固定对应的定位块；定位块可以固定在高架地板中，也可以直接固定在地面中，在此不做详细描述。

S03：脚轮6带动设备底部的定位销4移动至定位块中的导向槽2中，由于定位销的高度可以调节，此时定位销的高度被调节至低于定位块顶面，但高于导向槽的高度，此时定位销不承重，脚轮称重。定位销被脚轮带动移动至导向槽中时，脚轮继续带动定位销移动至定位孔上方，通过直接或者间接调节定位销的高度，使得定位销固定在定位孔中；此时设备被定位装置固定，调高脚轮的高度，使得脚轮升高至不承重状态；

S04：设备5需要移出时，调节脚轮6至承重状态，同时调节定位销4的高度，使得定位销4移出定位孔3，此时定位销4移出定位孔，但仍然位于导向槽2中，如附图4所示，定位孔的高度在5mm左右，当定位孔上移5mm左右时，定位销已经移出了定位孔，但是仍然位于导向槽中。定位销4沿着导向槽2滑出定位装置；脚轮6带动设备5移出定位装置。

附图1中设备的调节安装时间预计8小时左右，当设备移出再次移入又需要约8小时左右。本发明中定位装置可以确保设备的调节安装时间预计4小时天左右，当设备移出再次移入仅需要不到1小时，大大较少了作业时间。

以上所述仅为本发明的优选实施例，所述实施例并非用于限制本发明的专利保护范围，因此凡是运用本发明的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本发明所附权利要求的保护范围内。

Claims (6)

1.一种设备定位装置，其特征在于，包括定位块、导向槽、定位孔和定位销，其中，所述定位块固定在地面，所述定位块中包括导向槽和定位孔，且定位孔位于导向槽中；所述定位销固定在设备底部，且所述定位销的形状与所述定位孔契合；所述导向槽为位于定位块中的水平凹槽，所述定位孔位于导向槽的末端，所述定位孔的高度小于所述导向槽的高度；所述导向槽的水平截面为锥形，远离定位孔一端的水平截面面积大于靠近定位孔一端的水平截面面积；所述设备为晶圆传送机或者晶圆分拣机；所述定位孔的深度小于导向槽的厚度，确保所述定位孔没有贯穿导向槽；

当设备靠近定位装置时，设备底部的定位销移动至导向槽中，并沿着导向槽移动至定位孔中，调节设备的高度，使得定位销插入至定位孔底部，使得设备被固定；

当设备远离定位装置时，调节设备高度，使得设备底部定位销移出定位孔，并沿着导向槽滑出定位装置，再将设备移出定位装置。

2.根据权利要求1所述的一种设备定位装置，其特征在于，所述定位块固定在高架地板中，所述定位块通过螺钉固定在锁紧块中，所述定位块位于所述高架地板的顶部，所述锁紧块位于高架地板的底部。

3.根据权利要求1所述的一种设备定位装置，其特征在于，所述定位块固定在地面上，所述定位块通过膨胀螺丝固定在地面中。

4.根据权利要求1所述的一种设备定位装置，其特征在于，所述定位装置还包括脚轮，所述脚轮固定在设备底部，所述脚轮带动设备进行移动。

5.根据权利要求4所述的一种设备定位装置，其特征在于，所述脚轮连接高度调节螺丝，所述高度调节螺丝用于调节脚轮的高度。

6.一种采用权利要求1的定位设备进行设备移入移出的方法，其特征在于，包括如下步骤：

S01：设备入厂时，设备底部的定位销升高至不承重状态，设备底部的脚轮降低至称重状态，所述脚轮带动设备移动至待固定位置，并标记出待固定位置；

S02：脚轮带动设备移出待固定位置，将定位块固定在待固定位置；

S03：脚轮带动设备底部的定位销移动至定位块中的导向槽中，并沿着导向槽滑动至定位孔中，此时设备被定位装置固定，调高脚轮的高度，使得脚轮升高至不承重状态；

S04：设备需要移出时，调节脚轮至承重状态，调节定位销的高度使得定位销移出定位孔，所述定位销沿着导向槽滑出定位装置，脚轮带动设备移出定位装置。

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