CN209367723U - 一种压环无摩擦升降装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种压环无摩擦升降装置，包括：驱动部件(1)、波纹管组件固定座(2)、波纹管(3)、固定法兰(4)、运动轴(5)和压环支撑环(6)，波纹管组件固定座(2)与驱动部件(1)相连接，波纹管(3)套在运动轴(5)外，固定法兰(4)设置于波纹管(3)的上端，用于与腔体固定连接，波纹管(3)和运动轴(5)的下端均安装在波纹管组件固定座(2)上，压环支撑环(6)安装在运动轴(5)的上端，压环支撑环(6)上固定有压环组件，运动轴(5)与波纹管(3)内径间存在间隙，驱动部件(1)驱动运动轴(5)带动压环支撑环(6)升降过程中不产生摩擦，有效降低了杂质颗粒的产生，改善了工艺环境。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体设备技术领域，具体涉及一种压环无摩擦升降装置。
背景技术
真空腔体被广泛应用于半导体加工、微电子制造、LED生产等领域，是半导体设备中常用的一种高真空特殊容器。整个工艺过程都在真空腔密闭的真空环境中进行，内部只有极少量气体，要求环境非常干净。腔室内部的机械运动过程需要由大气环境下的驱动部件为其提供动力，再传至真空腔室内部，带动需要执行动力的部件运动。
在工艺过程中，取放片都会利用到升降机构，主要需要满足两个方面的要求。其一，能够实现大气环境到真空环境的过渡，不影响整个真空密封；其二，能够满足升降要求，带动压环实现对晶圆的固定和固定解除，并且在升降过程中不漏气，同时，要尽可能消除摩擦，以降低杂质颗粒的产生，改善工艺环境。目前使用的压环升降机构，都能满足真空传递方面的要求，但在运动过程中为了实现轴向定位要求，在运动轴和定法兰之间装有滑动轴套，这样在运动轴的升降过程中会有摩擦发生，产生的颗粒物影响了工艺环境。鉴于上述问题，需要设计一种升降装置，能够满足升降要求的同时，不产生摩擦，提高整体工艺环境。
实用新型内容
针对现有的问题，本实用新型提供一种压环无摩擦升降装置，包括：驱动部件、波纹管组件固定座、波纹管组件和压环支撑环，所述波纹管组件通过所述波纹管组件固定座与所述驱动部件相连接，所述压环支撑环上固定有压环组件，其中，所述波纹管组件由波纹管、固定法兰、运动轴组成，所述波纹管套在所述运动轴上，所述固定法兰设置于所述波纹管的上端，用于与腔体固定连接，所述波纹管的下端和所述运动轴的下端均安装在波纹管组件固定座上，所述压环支撑环安装在所述运动轴的上端，所述固定法兰的上部分处于真空环境中，下部分处于大气环境中，整个所述运动轴处于真空环境中，通过所述波纹管实现密封，所述运动轴与波纹管内径间存在间隙，所述驱动部件驱动所述运动轴带动所述压环支撑环升降过程中不产生摩擦。
本实用新型的压环无摩擦升降装置，上升时，由所述驱动部件提供向上的动力，带动所述波纹管运动轴向上运动，此时所述波纹管处于压缩状态，从而带动所述压环支撑环向上运动；下降时，所述驱动部件提供反向动力，所述波纹管处于原长或伸长状态，带动所述压环支撑环向下运动。
本实用新型的压环无摩擦升降装置中，优选为，所述间隙为毫米级。
本实用新型的压环无摩擦升降装置中，优选为，所述间隙在1mm～8mm之间。
本实用新型的压环无摩擦升降装置中，优选为，通过运动轴定位套进行装配，所述运动轴定位套的内径与所述运动轴配合，外径与腔体的孔位配合。
本实用新型的压环无摩擦升降装置在驱动压环上下运动的过程，不存在摩擦，有效避免颗粒杂质进入设备工作环境影响工艺结果，提高了整体工艺环境。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式的技术方案，下面对具体实施方式描述中所需要使用的附图作简单的介绍。
图1是压环无摩擦升降装置的立体结构示意图。
图2是通过运动轴定位套装配压环无摩擦升降装置的剖面结构示意图。
图3是压环无摩擦升降装置安装于腔体后的剖面结构示意图。
图中：
1～驱动部件； 2～波纹管组件固定座； 3～波纹管； 4～固定法兰；
5～运动轴； 6～压环支撑环； 7～运动轴定位套； 8～O型密封圈；
9～紧固螺钉； 10～腔体； 11～定位支撑板。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
下面通过具体的实施方式并结合附图对本实用新型做进一步的详细描述。图1是压环无摩擦升降装置的立体结构示意图。如图1所示，压环无摩擦升降装置包括驱动部件1、波纹管组件固定座2、波纹管3、固定法兰4、运动轴5 和压环支撑环6，其中，波纹管3、固定法兰4和运动轴5组成为波纹管组件。波纹管组件固定座2安装在驱动部件1上，波纹管组件安装在波纹管组件固定座2上，压环支撑环6安装在波纹管组件上，压环支撑环6上固定有压环组件。具体而言，波纹管3套在运动轴5上，固定法兰4设置于波纹管3的上端，用于与腔体10固定连接，波纹管3的下端和运动轴5的下端安装在波纹管组件固定座2上，压环支撑环6安装在运动轴5的上端。
整个压环无摩擦升降装置的运动环境分为大气环境和真空环境，分界点在固定法兰4处，固定法兰4的上部分处于真空环境中，下部分处于大气环境中，整个运动轴5处于真空环境中，通过波纹管3实现密封，运动轴5与波纹管3内径间存在间隙，驱动部件1驱动运动轴5带动所述压环支撑环6升降过程中不产生摩擦。上升时，由驱动部件1提供向上的动力，带动运动轴5向上运动，此时波纹管3处于压缩状态，从而带动压环支撑环6向上运动；下降时，驱动部件1提供反向动力，波纹管3处于原长或伸长状态，带动压环支撑环6向下运动。
上述运动轴5与波纹管3内径间的间隙为毫米级。通常将间隙设置在 1mm～8mm之间，进一步优选地，该间隙取2mm。为了避免因间隙的存在，导致运动轴在安装时的倾斜，通过装配治具进行装配。在具体的一例中，如图2 所示，利用运动轴定位套7进行装配。运动轴定位套7的内径与运动轴5配合，外径与腔体10的孔位配合。装配过程中，首先将运动轴定位套7嵌入到腔体10孔内，定位住运动轴5，然后依次从上至下用紧固螺钉9固定住固定法兰4和波纹管组件固定座2，固定法兰4利用O型密封圈8与腔体10密封。然后，再将波纹管组件固定座2固定于驱动部件1，将驱动部件1固定在定位支撑板11上。最后，取下运动轴定位套7，整个压环无摩擦升降装置已同腔体 10从上至下实现定位固定安装。此种结构有利于在有限的空间将运动轴5的直径做至最大，在支撑偏心的压环组件时，形变更小。在上述结构都固定完成后，可以将压环支撑环6固定安装在运动轴5上，压环支撑环6上固定有压环组件，于是驱动部件1的运动可以带动压环上下运动实现对晶圆的固定和固定解除。在图3中示出了压环无摩擦升降装置安装于腔体后的结构示意图。
本实用新型的压环无摩擦升降装置在驱动压环上下运动的过程，不存在摩擦，有效避免颗粒杂质进入设备工作环境影响工艺结果，提高了整体工艺环境。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。
Claims (5)
1.一种压环无摩擦升降装置，其特征在于，
包括：驱动部件(1)、波纹管组件固定座(2)、波纹管组件和压环支撑环(6)，所述波纹管组件通过所述波纹管组件固定座(2)与所述驱动部件(1)相连接，所述压环支撑环(6)上固定有压环组件，其中，所述波纹管组件由波纹管(3)、固定法兰(4)和运动轴(5)组成，所述波纹管(3)套在所述运动轴(5)上，所述固定法兰(4)设置于所述波纹管(3)的上端，用于与腔体(10)固定连接，所述波纹管(3)的下端和所述运动轴(5)的下端均安装在所述波纹管组件固定座(2)上，所述压环支撑环(6)安装在所述运动轴(5)的上端，所述固定法兰(4)的上部处于真空中，下部处于大气中，整个所述运动轴(5)处于真空中，通过所述波纹管(3)实现密封，所述运动轴(5)与波纹管(3)内径间存在间隙，所述驱动部件(1)驱动所述运动轴(5)带动所述压环支撑环(6)升降过程中不产生摩擦。
2.根据权利要求1所述的压环无摩擦升降装置，其特征在于，
上升时，由所述驱动部件(1)提供向上的动力，带动所述运动轴(5)向上运动，此时所述波纹管(3)处于压缩状态，从而带动所述压环支撑环(6)向上运动；下降时，所述驱动部件(1)提供反向动力，所述波纹管(3)处于原长或伸长状态，带动所述压环支撑环(6)向下运动。
3.根据权利要求1所述的压环无摩擦升降装置，其特征在于，
所述间隙为毫米级。
4.根据权利要求1所述的压环无摩擦升降装置，其特征在于，
所述间隙在1mm～8mm之间。
5.根据权利要求1所述的压环无摩擦升降装置，其特征在于，
通过运动轴定位套(7)进行装配，所述运动轴定位套(7)的内径与所述运动轴(5)配合，外径与腔体(10)的孔位配合。
Priority Applications (1)
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| CN201821978593.9U CN209367723U (zh) | 2018-11-26 | 2018-11-26 | 一种压环无摩擦升降装置 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2022048241A1 (zh) * | 2020-09-07 | 2022-03-10 | 江苏鲁汶仪器有限公司 | 一种离子束刻蚀机及其升降旋转台装置 |
| CN114382979A (zh) * | 2021-12-07 | 2022-04-22 | 珠海格力电器股份有限公司 | 一种波纹管接头减震装置和机器人 |
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| WO2022048241A1 (zh) * | 2020-09-07 | 2022-03-10 | 江苏鲁汶仪器有限公司 | 一种离子束刻蚀机及其升降旋转台装置 |
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