CN218535632U - 一种适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构，包括下气腔固定杆，下气腔固定杆上连接有下气腔腔体，下气腔腔体上设置有上气腔腔体，上气腔腔体内连接有镜片浮动吸头组件，下气腔腔体内连接有升降的膜片吸附组件，下气腔腔体的中轴处连接有与下气腔腔体相连通的顶升密封腔体，下气腔腔体的下方连接有膜片顶升气缸，膜片顶升气缸的驱动轴与顶升杆的一端相连，顶升杆的另一端穿过顶升密封腔体伸入下气腔腔体并与膜片吸附组件相连，顶升杆上连接有在顶升密封腔体内活动的顶升杆密封块，所述下气腔腔体的外侧壁上连接有真空腔接口。本实用新型能确保真空腔体的密封性。

Description

一种适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构

技术领域

本实用新型涉及一种适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构。

背景技术

目前现有的高真空腔体的结构不易在高真空度腔体内部增加动力；增加动力元件极易在原件内部产生漏气现象，影响腔体真空度，从而影响产品的工作。

有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种新型结构的适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构，使其更具有产业上的利用价值。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构，包括下气腔固定杆，所述下气腔固定杆上连接有下气腔腔体，所述下气腔腔体上设置有与其相连通的上气腔腔体，所述上气腔腔体内连接有镜片浮动吸头组件，所述上气腔腔体的外侧壁上连接有与镜片浮动吸头组件相连通的镜片吸附真空接口；

所述下气腔腔体内连接有升降的膜片吸附组件，所述膜片吸附组件位于镜片浮动吸头组件的正下方，所述下气腔腔体的下方穿接有带有导套密封筒的导向杆，所述导向杆的顶端与膜片吸附组件相连，所述下气腔腔体的中轴处连接有与下气腔腔体相连通的顶升密封腔体，所述下气腔腔体的下方连接有膜片顶升气缸，所述膜片顶升气缸的驱动轴与顶升杆的一端相连，所述顶升杆的另一端穿过顶升密封腔体伸入下气腔腔体并与膜片吸附组件相连，所述顶升杆上连接有在顶升密封腔体内活动的顶升杆密封块，所述下气腔腔体的外侧壁上连接有真空腔接口，所述顶升杆为中空结构，其中，中空结构的所述顶升杆的一端与膜片吸附组件相连通，顶升杆的另一端与膜片吸附真空接口相连。

优选地，所述的一种适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构，所述下气腔腔体与上气腔腔体之间设置有密封圈。

优选地，所述的一种适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构，所述顶升杆密封块的上端面装嵌有与下气腔腔体相碰触的第一密封圈，所述顶升杆密封块的下端面装嵌有与顶升密封腔体的下端内壁相碰触的第二密封圈，所述顶升杆密封块上装嵌有与顶升密封腔体内部相碰触的第三密封圈。

优选地，所述的一种适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构，所述顶升密封腔体与下气腔腔体相连接处连接有密封圈。

优选地，所述的一种适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构，所述顶升杆密封块与顶升杆为一体结构。

优选地，所述的一种适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构，所述镜片浮动吸头组件包括浮动吸头导向固定架，所述浮动吸头导向固定架内连接有T型结构的浮动吸头柱，在浮动吸头导向固定架内的所述浮动吸头柱的一端与浮动吸头导向固定架之间设置有弹簧，所述浮动吸头柱的另一端连接有浮动吸板，所述浮动吸板内开设有浮动吸附腔体，所述浮动吸板上连接有与浮动吸附腔体相连通的连接头，所述连接头与镜片吸附真空接口之间通过软管相连通。

优选地，所述的一种适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构，所述膜片吸附组件包括膜片吸附平台，所述膜片吸附平台上设置有膜片吸头吸附腔体，所述膜片吸头吸附腔体的上方开设有用于吸附膜片的吸头孔，所述膜片吸附平台的轴心处穿接有与膜片吸头吸附腔体相连通的顶升杆。

优选地，所述的一种适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构，其所述膜片顶升气缸通过辅助连接杆连接在下气腔腔体上。

借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：

本实用新型通过外置的顶升气缸和在顶升杆上的顶升密封块来确保腔体内在活动时防止漏气的现象，降低影响腔体真空度，提高腔体的密封性。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的内部结构示意图。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或竖直，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本申请的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

实施例

如图1和图2所示，一种适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构，包括下气腔固定杆1，所述下气腔固定杆1上连接有下气腔腔体2，所述下气腔腔体2上设置有与其相连通的上气腔腔体3，所述上气腔腔体3内连接有镜片浮动吸头组件4，所述上气腔腔体3的外侧壁上连接有与镜片浮动吸头组件4相连通的镜片吸附真空接口5；

所述下气腔腔体2内连接有升降的膜片吸附组件6，所述膜片吸附组件6位于镜片浮动吸头组件4的正下方，所述下气腔腔体2的下方穿接有带有导套密封筒的导向杆7，所述导向杆7的顶端与膜片吸附组件6相连，所述下气腔腔体2的中轴处连接有与下气腔腔体相连通的顶升密封腔体8，所述下气腔腔体2的下方连接有膜片顶升气缸9，所述膜片顶升气缸9的驱动轴与顶升杆10的一端相连，所述顶升杆10的另一端穿过顶升密封腔体8伸入下气腔腔体2并与膜片吸附组件6相连，所述顶升杆10上连接有在顶升密封腔体8内活动的顶升杆密封块11，所述下气腔腔体2的外侧壁上连接有真空腔接口12，所述顶升杆10为中空结构，其中，中空结构的所述顶升杆10的一端与膜片吸附组件6相连通，顶升杆10的另一端与膜片吸附真空接口13相连。

本实用新型中所述下气腔腔体2与上气腔腔体3之间设置有密封圈，确保下气腔腔体2与上气腔腔体3之间的密封性，防止漏气。

本实用新型中所述顶升杆密封块11的上端面装嵌有与下气腔腔体2相碰触的第一密封圈14，所述顶升杆密封块11的下端面装嵌有与顶升密封腔体8的下端内壁相碰触的第二密封圈15，所述顶升杆密封块11上装嵌有与顶升密封腔体8内部相碰触的第三密封圈16。由于顶升杆作为主要的漏气源头，在顶升杆活动的顶升密封腔体8内安装一顶升杆密封块11，在顶升杆密封块11随顶升杆上下移动时，通过上、下以及周边上的密封圈来实现密封的效果，从而防止其漏气，在漏气的情况下也能确保漏气值在允许的范围内。

本实用新型中所述顶升密封腔体8与下气腔腔体2相连接处连接有密封圈。

本实用新型中所述顶升杆密封块11与顶升杆10为一体结构。

本实用新型中所述镜片浮动吸头组件4包括浮动吸头导向固定架41，所述浮动吸头导向固定架41内连接有T型结构的浮动吸头柱42，在浮动吸头导向固定架41内的所述浮动吸头柱42的一端与浮动吸头导向固定架41之间设置有弹簧，所述浮动吸头柱42的另一端连接有浮动吸板43，所述浮动吸板43内开设有浮动吸附腔体，所述浮动吸板43上连接有与浮动吸附腔体相连通的连接头，所述连接头与镜片吸附真空接口5之间通过软管相连通。

本实用新型中所述膜片吸附组件6包括膜片吸附平台61，所述膜片吸附平台61上设置有膜片吸头吸附腔体62，所述膜片吸头吸附腔体62的上方开设有用于吸附膜片的吸头孔63，所述膜片吸附平台61的轴心处穿接有与膜片吸头吸附腔体62相连通的顶升杆10。

本实用新型中所述膜片顶升气缸9通过辅助连接杆连接在下气腔腔体2上。

本实用新型的工作原理如下：

具体工作时密封的状态如下，在未进行贴膜时，顶升杆密封块11的第二密封圈与顶升密封腔体8相碰触，从而确保了密封性，在进行贴膜的时，通过第三密封圈与顶升密封腔体的周边相碰触密封，使其在移动的过程进行密封，此过程由于比较短，漏气比较少，在漏气的范围内，在进行贴膜时，第一密封圈与下气腔腔体2相碰触形成密封。

本实用新型中的产品的工作是本领域技术人员已知的贴附过程，这边不再做任何的赘述。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，并不用于限制本实用新型，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构，包括下气腔固定杆(1)，所述下气腔固定杆(1)上连接有下气腔腔体(2)，所述下气腔腔体(2)上设置有与其相连通的上气腔腔体(3)，其特征在于：所述上气腔腔体(3)内连接有镜片浮动吸头组件(4)，所述上气腔腔体(3)的外侧壁上连接有与镜片浮动吸头组件(4)相连通的镜片吸附真空接口(5)；

所述下气腔腔体(2)内连接有升降的膜片吸附组件(6)，所述膜片吸附组件(6)位于镜片浮动吸头组件(4)的正下方，所述下气腔腔体(2)的下方穿接有带有导套密封筒的导向杆(7)，所述导向杆(7)的顶端与膜片吸附组件(6)相连，所述下气腔腔体(2)的中轴处连接有与下气腔腔体相连通的顶升密封腔体(8)，所述下气腔腔体(2)的下方连接有膜片顶升气缸(9)，所述膜片顶升气缸(9)的驱动轴与顶升杆(10)的一端相连，所述顶升杆(10)的另一端穿过顶升密封腔体(8)伸入下气腔腔体(2)并与膜片吸附组件(6)相连，所述顶升杆(10)上连接有在顶升密封腔体(8)内活动的顶升杆密封块(11)，所述下气腔腔体(2)的外侧壁上连接有真空腔接口(12)，所述顶升杆(10)为中空结构，其中，中空结构的所述顶升杆(10)的一端与膜片吸附组件(6)相连通，顶升杆(10)的另一端与膜片吸附真空接口(13)相连。

2.根据权利要求1所述的一种适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构，其特征在于：所述下气腔腔体(2)与上气腔腔体(3)之间设置有密封圈。

3.根据权利要求1所述的一种适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构，其特征在于：所述顶升杆密封块(11)的上端面装嵌有与下气腔腔体(2)相碰触的第一密封圈(14)，所述顶升杆密封块(11)的下端面装嵌有与顶升密封腔体(8)的下端内壁相碰触的第二密封圈(15)，所述顶升杆密封块(11)上装嵌有与顶升密封腔体(8)内部相碰触的第三密封圈(16)。

4.根据权利要求1或3所述的一种适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构，其特征在于：所述顶升密封腔体(8)与下气腔腔体(2)相连接处连接有密封圈。

5.根据权利要求1所述的一种适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构，其特征在于：所述顶升杆密封块(11)与顶升杆(10)为一体结构。

6.根据权利要求1所述的一种适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构，其特征在于：所述镜片浮动吸头组件(4)包括浮动吸头导向固定架(41)，所述浮动吸头导向固定架(41)内连接有T型结构的浮动吸头柱(42)，在浮动吸头导向固定架(41)内的所述浮动吸头柱(42)的一端与浮动吸头导向固定架(41)之间设置有弹簧，所述浮动吸头柱(42)的另一端连接有浮动吸板(43)，所述浮动吸板(43)内开设有浮动吸附腔体，所述浮动吸板(43)上连接有与浮动吸附腔体相连通的连接头，所述连接头与镜片吸附真空接口(5)之间通过软管相连通。

7.根据权利要求1所述的一种适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构，其特征在于：所述膜片吸附组件(6)包括膜片吸附平台(61)，所述膜片吸附平台(61)上设置有膜片吸头吸附腔体(62)，所述膜片吸头吸附腔体(62)的上方开设有用于吸附膜片的吸头孔(63)，所述膜片吸附平台(61)的轴心处穿接有与膜片吸头吸附腔体(62)相连通的顶升杆(10)。

8.根据权利要求1所述的一种适用于高真空腔体外部驱动内部动作的密封机构，其特征在于：所述膜片顶升气缸(9)通过辅助连接杆连接在下气腔腔体(2)上。

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