CN209223872U - 一种靶材生产用夹具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种靶材生产用夹具，特别涉及于靶材制造技术领域。本实用新型包括支撑平台、升降气缸、升降活塞杆、支撑板、第二支架、第一夹持机构、双向夹块、第二夹持机构，所述第二支架上设有滑槽，所述支撑板两端固定有与所述滑槽相匹配的滑块，所述支撑板上方依次设有所述第一夹持机构、所述双向夹块、所述第二夹持机构。不仅一次可以夹固两根根靶材，而且防滑防变形效果好，提高了靶材生产加工的稳定性和效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及于靶材制造技术领域，特别涉及于一种靶材生产用夹具。
背景技术
靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。
靶材生产用夹具是靶材生产加工过程中必不可少的，现有的靶材生产用夹具一次只能夹固一根靶材，夹持效率低，而且夹具没有配套的防滑件和防滑颗粒，容易造成打滑及变形，影响生产加工。
实用新型内容
(1)要解决的技术问题
本实用新型提供一种靶材生产用夹具，克服了现有的靶材生产用夹具一次只能夹固一根靶材，夹持效率低，而且夹具没有配套的防滑件和防滑颗粒，容易造成打滑及变形，影响生产加工的缺点。
(2)技术方案
为了解决上述技术问题，本实用新型提供了这样一种靶材生产用夹具，包括支撑平台、升降气缸、升降活塞杆、支撑板、第二支架、第一夹持机构、双向夹块、第二夹持机构，所述支撑平台包括面板和支撑腿，所述面板和所述支撑腿之间固定有所述升降气缸，所述升降气缸的所述升降活塞杆朝上设置，所述升降活塞杆上端穿过所述面板并固定连接有所述支撑板，所述支撑板两侧均设有所述第二支架，所述第二支架上设有滑槽，所述支撑板两端固定有与所述滑槽相匹配的滑块，所述支撑板上方依次设有所述第一夹持机构、所述双向夹块、所述第二夹持机构，所述第一夹持机构包括第一气缸、第一活塞杆、第一夹块、第一凹槽、第一防滑件，所述第一气缸通过所述第一活塞杆与所述第一夹块一端相连，所述第一夹块另一端面中部开设有所述第一凹槽，所述第一凹槽内壁上设有所述第一防滑件，所述第二夹持机构包括第二气缸、第二活塞杆、第二夹块、第二凹槽、第二防滑件，所述第二气缸通过所述第二活塞杆与所述第二夹块一端相连，所述第二夹块另一端面中部开设有所述第二凹槽，所述第二凹槽内壁上设有所述第二防滑件，所述双向夹块两端面中部分别开设有左凹槽和右凹槽，所述左凹槽内壁上设有左防滑件，所述右凹槽内壁上设有右防滑件。
优选地，所述第一防滑件、所述第二防滑件、所述左防滑件、所述右防滑件上均匀分布有防滑突起。
优选地，所述第一凹槽与所述左凹槽对应设置，所述第二凹槽与所述右凹槽对应设置。
优选地，所述第一凹槽、所述第二凹槽、所述左凹槽、所述右凹槽的侧壁与待测的靶材的侧面相贴合。
优选地，所述第一防滑件、所述第二防滑件、所述左防滑件、所述右防滑件的材质为橡胶材质。
(3)有益效果
本实用新型提供一种靶材生产用夹具，克服了现有的靶材生产用夹具一次只能夹固一根靶材，夹持效率低，而且夹具没有配套的防滑件和防滑颗粒，容易造成打滑及变形，影响生产加工的缺点。与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
1、该生产用夹具一次可夹持一根或两根靶材，靶材夹持方便，提高了工作效率。
2、凹槽的设置可以较好地使靶材的侧壁很好地贴合，对靶材进行定位固定，保证了靶材生产过程的稳定性。
3、防滑件及防滑突起的设置，可以增大摩擦力，较好地防止靶材生产加工过程的晃动，提高靶材加工的准确性和效率。
4、采用气缸带动滑块和滑槽配合上下运动，方便加工时高度的灵活调节，保证气缸工作时活塞杆晃动小，工作稳定。
5、防滑件采用橡胶材质制作而成，可以防止靶材在夹持的过程中变形及刮花。
附图说明
图1为本实用新型靶材生产用夹具的结构示意图。
图2为本实用新型靶材生产用夹具的第一夹块、第一夹块的结构示意图。
图3为本实用新型靶材生产用夹具的双向夹块的结构示意图。
附图标记为：1-支撑平台、11-面板、12-支撑腿、2-升降气缸、21-升降活塞杆、3-支撑板、31-滑块、4-第二支架、41-滑槽、5-第一夹持机构、51-第一气缸、 52-第一活塞杆、53-第一夹块、54-第一凹槽、55-第一防滑件、6-双向夹块、61- 左凹槽、62-右凹槽、63-左防滑件、64-右防滑件、7-第二夹持机构、71-第二气缸、72-第二活塞杆、73-第二夹块、74-第二凹槽、75-第二防滑件、8-防滑突起。
具体实施方式
结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”、“竖直”、“水平”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
如图1～3所示，本实用新型所述的一种靶材生产用夹具，包括支撑平台1、升降气缸2、升降活塞杆21、支撑板3、第二支架4、第一夹持机构5、双向夹块6、第二夹持机构7，所述支撑平台1包括面板11和支撑腿12，所述面板11 和所述支撑腿12之间固定有所述升降气缸2，所述升降气缸2的所述升降活塞杆21朝上设置所述升降活塞杆21上端穿过所述面板11并固定连接有所述支撑板3，所述支撑板3两侧均设有所述第二支架4，所述第二支架4上设有滑槽41，所述支撑板3两端固定有与所述滑槽41相匹配的滑块31，所述支撑板3上方依次设有所述第一夹持机构5、所述双向夹块6、所述第二夹持机构7，所述第一夹持机构5包括第一气缸51、第一活塞杆52、第一夹块53、第一凹槽54、第一防滑件55，所述第一气缸51通过所述第一活塞杆52与所述第一夹块53一端相连，所述第一夹块53另一端面中部开设有所述第一凹槽54，所述第一凹槽54 内壁上设有所述第一防滑件55，所述第二夹持机构7包括第二气缸71、第二活塞杆72、第二夹块73、第二凹槽74、第二防滑件75，所述第二气缸71通过所述第二活塞杆72与所述第二夹块73一端相连，所述第二夹块73另一端面中部开设有所述第二凹槽74，所述第二凹槽74内壁上设有所述第二防滑件75，所述双向夹块6两端面中部分别开设有左凹槽61和右凹槽62，所述左凹槽61内壁上设有左防滑件63，所述右凹槽62内壁上设有右防滑件64。
所述第一防滑件55、所述第二防滑件75、所述左防滑件63、所述右防滑件 64上均匀分布有防滑突起8，所述第一凹槽54、所述第二凹槽74、所述左凹槽 61、所述右凹槽62的侧壁与待测的靶材的侧面相贴合，所述第一防滑件55、所述第二防滑件75、所述左防滑件63、所述右防滑件64的材质为橡胶材质。
工作原理：在进行靶材生产加工时，其中第一夹块53由第一气缸51驱动与双向夹块9的左凹槽61夹紧靶材，第二夹块73由第二气缸71驱动与双向夹块6的右凹槽62夹紧靶材，夹具一次可夹持一根或两根靶材，靶材夹持方便，提高了工作效率，所述第一凹槽54、所述第二凹槽74、所述左凹槽61、所述右凹槽62内壁上分别设有所述第一防滑件55、所述第二防滑件75、所述左防滑件63、所述右防滑件64，所述第一防滑件55、所述第二防滑件75、所述左防滑件63、所述右防滑件64上均匀分布有防滑突起8，所述第一凹槽54、所述第二凹槽74、所述左凹槽61、所述右凹槽62的侧壁与待测的靶材的侧面相贴合，可以增大摩擦力，较好地防止靶材生产加工过程的晃动，提高靶材生产的效率。所述第一防滑件55、所述第二防滑件75、所述左防滑件63、所述右防滑件64 的材质为橡胶材质，可以防止靶材在夹持的过程中变形及刮花。打开升降气缸2 带动升降活塞杆21运动进而带动支撑板3及滑块31及滑槽41的配合上下运动，方便靶材生产加工时高度的灵活调节。
以上所述的实施例仅表达了对本实用新型优选实施方式，其描述较为具体和详细，但本实用新型不仅限于这些实施例，应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说。在未脱离本实用新型宗旨的前提下，所为的任何改进均落在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (5)
1.一种靶材生产用夹具，其特征在于，包括支撑平台(1)、升降气缸(2)、升降活塞杆(21)、支撑板(3)、第二支架(4)、第一夹持机构(5)、双向夹块(6)、第二夹持机构(7)，所述支撑平台(1)包括面板(11)和支撑腿(12)，所述面板(11)和所述支撑腿(12)之间固定有所述升降气缸(2)，所述升降气缸(2)的所述升降活塞杆(21)朝上设置，所述升降活塞杆(21)上端穿过所述面板(11)并固定连接有所述支撑板(3)，所述支撑板(3)两侧均设有所述第二支架(4)，所述第二支架(4)上设有滑槽(41)，所述支撑板(3)两端固定有与所述滑槽(41)相匹配的滑块(31)，所述支撑板(3)上方依次设有所述第一夹持机构(5)、所述双向夹块(6)、所述第二夹持机构(7)，所述第一夹持机构(5)包括第一气缸(51)、第一活塞杆(52)、第一夹块(53)、第一凹槽(54)、第一防滑件(55)，所述第一气缸(51)通过所述第一活塞杆(52)与所述第一夹块(53)一端相连，所述第一夹块(53)另一端面中部开设有所述第一凹槽(54)，所述第一凹槽(54)内壁上设有所述第一防滑件(55)，所述第二夹持机构(7)包括第二气缸(71)、第二活塞杆(72)、第二夹块(73)、第二凹槽(74)、第二防滑件(75)，所述第二气缸(71)通过所述第二活塞杆(72)与所述第二夹块(73)一端相连，所述第二夹块(73)另一端面中部开设有所述第二凹槽(74)，所述第二凹槽(74)内壁上设有所述第二防滑件(75)，所述双向夹块(6)两端面中部分别开设有左凹槽(61)和右凹槽(62)，所述左凹槽(61)内壁上设有左防滑件(63)，所述右凹槽(62)内壁上设有右防滑件(64)。
2.根据权利要求1所述的一种靶材生产用夹具，其特征在于，所述第一防滑件(55)、所述第二防滑件(75)、所述左防滑件(63)、所述右防滑件(64)上均匀分布有防滑突起(8)。
3.根据权利要求1所述的一种靶材生产用夹具，其特征在于，所述第一凹槽(54)与所述左凹槽(61)对应设置，所述第二凹槽(74)与所述右凹槽(62)对应设置。
4.根据权利要求1所述的一种靶材生产用夹具，其特征在于，所述第一凹槽(54)、所述第二凹槽(74)、所述左凹槽(61)、所述右凹槽(62)的侧壁与待测的靶材的侧面相贴合。
5.根据权利要求1所述的一种靶材生产用夹具，其特征在于，所述第一防滑件(55)、所述第二防滑件(75)、所述左防滑件(63)、所述右防滑件(64)的材质为橡胶材质。
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| CN110355526A (zh) * | 2019-08-17 | 2019-10-22 | 叶宁 | 一种化工反应釜壳体焊接工装夹具 |
| CN111300310A (zh) * | 2020-03-23 | 2020-06-19 | 苏州万祥科技股份有限公司 | 一种锂电池的夹装装置及其使用方法 |
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Cited By (4)
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|---|---|---|---|---|
| CN110355526A (zh) * | 2019-08-17 | 2019-10-22 | 叶宁 | 一种化工反应釜壳体焊接工装夹具 |
| CN111330822A (zh) * | 2020-02-17 | 2020-06-26 | 王晶晶 | 一种汽车生产用板材喷漆烘干装置 |
| CN111300310A (zh) * | 2020-03-23 | 2020-06-19 | 苏州万祥科技股份有限公司 | 一种锂电池的夹装装置及其使用方法 |
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