CN209140519U - 一种旋转钼靶材的表面处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种旋转钼靶材的表面处理装置，所述旋转钼靶材的表面处理装置包括：机体，所述机体包括机身和底座；旋转夹持机构，所述旋转夹持机构包括主轴箱、夹持件和尾座，所述主轴箱和尾座分别设置所述机身的两端，所述夹持件与所述主轴箱驱动连接，所述尾座上枢接有一旋转顶尖，所述夹持件和旋转顶尖相向设置；滑动座，所述滑动座滑动设置在所述机身上，并位于所述主轴箱和尾座之间；旋转磨具，所述旋转磨具设置在所述滑动座两侧。通过旋转夹持机构、滑动座和旋转磨具的配合，能够快速磨掉旋转钼靶材的细划痕，经过此装置处理的钼靶材表面光滑并且均匀一致。

Description

一种旋转钼靶材的表面处理装置

技术领域

本实用新型涉及机械加工领域，特别是涉及一种旋转钼靶材的表面处理装置。

背景技术

光伏太阳能作为21世纪最理想的新能源，近年来发展十分迅猛。数据显示，全球对光伏太阳能电池的需求每年40％的速度增长，钼靶材作为配套耗材，需求量也呈现出激增。

钼靶材以钼溅射薄膜方式被消耗，主要用作TFT栅极，和太阳能电池组件的金属堆叠层等。旋转钼靶材主要用于太阳能光伏行业，由于其利用率高，镀膜均匀性好，适用于大面积连续性磁控溅射生产线，已经成为未来靶材发展的新趋势。管状旋转靶的理论利用率可达70％，大大高于平面靶20％-30％的利用率，大大降低了镀膜生产成本，是靶材的发展方向。

钼旋转靶材经过机械加工完成后，表面存在车刀纹，导致靶材表面粗糙，但是对旋转钼靶材溅射面粗糙度要求越来越高，如何生产出溅射面粗糙度小，加工劳动强度低，效率高的钼旋转靶材有待解决。

实用新型内容

基于此，本实用新型的目的在于，提供一种旋转钼靶材的表面处理装置，该处理装置能够快速磨掉旋转钼靶材的细划痕，经过此装置处理的钼靶材表面光滑并且均匀一致。

一种旋转钼靶材的表面处理装置，所述旋转钼靶材的表面处理装置包括：机体，所述机体包括机身和底座；旋转夹持机构，所述旋转夹持机构包括主轴箱、夹持件和尾座，所述主轴箱和尾座分别设置所述机身的两端，所述夹持件与所述主轴箱驱动连接，所述尾座上枢接有一旋转顶尖，所述夹持件和旋转顶尖相向设置；滑动座，所述滑动座滑动设置在所述机身上，并位于所述主轴箱和尾座之间；旋转磨具，所述旋转磨具设置在所述滑动座两侧。

作为上述旋转钼靶材的表面处理装置的进一步改进，所述尾座滑动设置在所述机身上，可朝向所述主轴箱往复直线运动。

作为上述旋转钼靶材的表面处理装置的进一步改进，所述旋转磨具包括移动机构和磨具本体，所述移动机构设置在所述滑动座上，并与所述磨具本体连接，可控制所述磨具本体发生移动。

作为上述旋转钼靶材的表面处理装置的进一步改进，所述旋转磨具包括第一旋转磨具和第二旋转磨具，分别设置在所述滑动座的两侧；所述第一旋转磨具的磨具本体旋转方向与所述夹持件的转向相同，所述第二旋转磨具的磨具本体旋转方向与所述夹持件的转向相反。

作为上述旋转钼靶材的表面处理装置的进一步改进，所述移动机构为三轴机械手，所述磨具本体安装在三轴机械手的端部。

作为上述旋转钼靶材的表面处理装置的进一步改进，还包括降温机构，所述降温机构设置在所述滑动座上。

作为上述旋转钼靶材的表面处理装置的进一步改进，所述降温机构包括一喷淋头，所述喷淋头可转动地设置在所述滑动座上。

作为上述旋转钼靶材的表面处理装置的进一步改进，还包括粗糙度测量机构，所述粗糙度测量机构设置在所述滑动座上。

作为上述旋转钼靶材的表面处理装置的进一步改进，还包括保护罩，所述保护罩设置在所述机身上，其一侧面为敞口。

作为上述旋转钼靶材的表面处理装置的进一步改进，还包括接料盘，所述接料盘设置在机身下方，其两端与底座连接。

本申请实施例中提供的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点：

1、通过旋转夹持机构、滑动座和旋转磨具的配合，能够快速磨掉旋转钼靶材细划痕，经过此装置处理的钼靶材表面光滑并且均匀一致。

2、滑动设置在所述机身上的滑动座可以适配不同长度的旋转钼靶材。

3、三轴机械手可以从翻个方向对磨具本体进行调节，其实用灵活，提高了加工精度。

4、所述降温机构可在加工过程中对旋转钼靶材以及磨具本体进行降温，保持加工的安全进行。

5、所述第二液位传感器和报警器的设置可作为保险措施，当液位接近油托盘的满载量，所述第二液位传感器感应到液压油便会发出通知信号到所述控制器，所述控制器控制所述警报器发出警报，以便工作人员及时作出补救措施。

6、粗糙度测量机构可以对加工后的旋转钼靶材进行粗糙度的测量，提高加工品的质量。

7、保护罩可防止加工过程被磨掉的钼靶材或其它异物飞出，对周围环境造成污染或人员受伤。

8、接料盘可以盛接机身上掉落的碎料和废水，保持工作环境的干净。

为了更好地理解和实施，下面结合附图详细说明本实用新型。

附图说明

图1为本实用新型所述旋转钼靶材的表面处理装置的结构示意图；

图2为本实用新型所述旋转钼靶材的表面处理装置的俯视图；

图3为本实用新型所述旋转钼靶材的表面处理装置的侧视图；

图4为本实用新型所述旋转钼靶材的表面处理装置的加工原理图。

具体实施方式

本实用新型一种旋转钼靶材的表面处理装置，通过旋转夹持机构、滑动座和旋转磨具的配合，能够快速磨掉钼旋转靶材细划痕，经过此装置处理的钼靶材表面光滑并且均匀一致。

现在参看后文中的附图，更完整地描述本实用新型，在图中，显示了本实用新型的实施例。然而，本实用新型可体现为多种不同的形式，并且不应理解为限于本文中所提出的特定实施例。确切地说，这些实施例用于将本实用新型的范围传达给本领域的技术人员。

除非另外限定，否则，本文中所使用的术语(包括技术性和科学性术语) 应理解为具有与本实用新型所属的领域中的技术人员通常所理解的意义相同的意义。而且，要理解的是，本文中所使用的术语应理解为具有与本说明书和相关领域中的意义一致的意义，并且不应通过理想的或者过度正式的意义对其进行解释，除非本文中明确这样规定。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“坚直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

如图1所示，图1为本实用新型所述旋转钼靶材的表面处理装置的结构示意图。一种旋转钼靶材的表面处理装置，所述旋转钼靶材的表面处理装置包括：机体，所述机体包括机身和底座；旋转夹持机构，所述旋转夹持机构包括主轴箱、夹持件和尾座，所述主轴箱和尾座分别设置所述机身的两端，所述夹持件与所述主轴箱驱动连接，所述尾座上枢接有一旋转顶尖，所述夹持件和旋转顶尖相向设置；滑动座，所述滑动座滑动设置在所述机身上，并位于所述主轴箱和尾座之间；旋转磨具，所述旋转磨具设置在所述滑动座两侧。

以下分别对本实施例回收装置的各个组成部分进行详细描述。

机体，为支撑整个旋转钼靶材的表面处理装置基础部件，其包括机身11和底座12，其中，所述机身11为进行旋转钼靶材的表面处理主要的操作区域，所述底座12为承托所有部件的基底，起到稳固整台机器的作用。

优选地，所述尾座23滑动设置在所述机身11上，可朝向所述主轴箱21往复直线运动，从而可以适配不同长度的旋转钼靶材。

旋转夹持机构，为夹持并使旋转钼靶材旋转的部件，其包括主轴箱21、夹持件22和尾座23，所述主轴箱21和尾座23分别设置所述机身11的两端，所述夹持件22与所述主轴箱21驱动连接，所述尾座23上枢接有一旋转顶尖231，所述夹持件22和旋转顶尖231相向设置。

具体地，所述主轴箱内装有主轴和变速电机，通过变速电机驱动主轴使其获得不同的转速，所述夹持件22的一端与所述主轴连接，所述主轴带动夹持件 22同时转动，所述夹持22的另一端具有夹持部，可以夹持旋转钼靶材。所述尾座23用于固定旋转钼靶材的另一端，所述旋转顶尖231枢接在尾座23上，在旋转钼靶材旋转时，旋转顶尖231便会跟随着同时旋转。

滑动座3，所述滑动座3滑动安装在所述机身11上，并位于所述主轴箱21 和尾座23之间，可在二者之间来回滑动，便于对旋转钼靶材进行加工。

具体地，所述滑动座3通过一进给机构驱动，可以通过丝杆配合丝杆螺母进行实现传动，也可以通过滑块和滑轨来进行传动。

旋转磨具4，所述旋转磨具为对旋转钼靶材进行磨平的主要部件，通过与所述旋转钼靶材发生相对转动摩擦，从而抹掉钼靶材表面的粗车刀纹。

具体地，所述旋转磨具包括移动机构41和磨具本体42，所述移动机构41 设置在所述滑动座3上，并与所述磨具本体42连接，可控制所述磨具本体42 发生移动，从而调节磨具的位置，以便进行更加精准的加工。所述磨具本体42 可以砂轮等常用的磨具。

如图2和图4所示，图2为本实用新型所述旋转钼靶材的表面处理装置的俯视图，图4为本实用新型所述旋转钼靶材的表面处理装置的加工原理图。在本实施例中，所述旋转磨具包括第一旋转磨具4a和第二旋转磨具4b，分别设置在所述滑动座3的两侧；所述第一旋转磨具4a的磨具本体旋转方向与所述夹持件22的转向相同，所述第二旋转磨具4b的磨具本体旋转方向与所述夹持件22 的转向相反。该设置同时对旋转钼靶材9的两侧进行加工，可快速且均匀对旋转钼靶材完成加工。

作为优选的实施例，所述移动机构41为三轴机械手，所述磨具本体安装在三轴机械手的端部。三轴机械手可以从翻个方向对磨具本体42进行调节，其实用灵活，提高了加工精度。

作为优选的实施例，还包括降温机构5，所述降温机构5设置在所述滑动座 3上，可根据需要，在加工过程中对旋转钼靶材以及磨具本体42进行降温。

具体地，所述降温机构5包括一喷淋头，所述喷淋头可转动地设置在所述滑动座3上，可对正在加工旋转钼靶材喷水和喷雾进行降温，保持工作正常。

作为优选的实施例，还包括粗糙度测量机构6，所述粗糙度测量机构6设置在所述滑动座3上，在加工完毕后，可以对加工后的旋转钼靶材进行粗糙度的测量。

如图3所示，图3为本实用新型所述旋转钼靶材的表面处理装置的侧视图。作为优选的实施例，还包括保护罩7，所述保护罩7设置在所述机身上，其一侧面为敞口，该保护罩可防止加工过程被磨掉的钼靶材或其它异物飞出，对周围环境造成污染或人员受伤。

作为优选的实施例，还包括接料盘8，所述接料盘8设置在机身11下方，其两端与底座12连接，该接料盘8可以盛接机身上掉落的碎料和废水，保持工作环境的干净。

工作原理：旋转夹持机构将旋转钼靶材固定并带动其旋转，通过旋转钼靶材两侧的旋转磨具与旋转钼靶材发生相对转动摩擦，从而磨掉钼旋转靶材细划痕，所述滑动座3带动旋转磨具在将旋转钼靶材的长度方向移动使得旋转磨具对旋转钼靶材的整体进行均匀的加工，其中，所述移动机构41还可对磨具本体 42的位置进行微调，以便达到更高的加工水准。

相比于现有技术，本申请实施例具有如下技术效果或者优点：

1、通过旋转夹持机构、滑动座和旋转磨具的配合，能够快速磨掉旋转钼靶材细划痕，经过此装置处理的钼靶材表面光滑并且均匀一致。

2、滑动设置在所述机身上的滑动座可以适配不同长度的旋转钼靶材。

3、三轴机械手可以从翻个方向对磨具本体进行调节，其实用灵活，提高了加工精度。

4、所述降温机构可在加工过程中对旋转钼靶材以及磨具本体进行降温，保持加工的安全进行。

5、所述第二液位传感器和报警器的设置可作为保险措施，当液位接近油托盘的满载量，所述第二液位传感器感应到液压油便会发出通知信号到所述控制器，所述控制器控制所述警报器发出警报，以便工作人员及时作出补救措施。

6、粗糙度测量机构可以对加工后的旋转钼靶材进行粗糙度的测量，提高加工品的质量。

7、保护罩可防止加工过程被磨掉的钼靶材或其它异物飞出，对周围环境造成污染或人员受伤。

8、接料盘可以盛接机身上掉落的碎料和废水，保持工作环境的干净。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种旋转钼靶材的表面处理装置，其特征在于，所述旋转钼靶材的表面处理装置包括：

机体，所述机体包括机身和底座；

旋转夹持机构，所述旋转夹持机构包括主轴箱、夹持件和尾座，所述主轴箱和尾座分别设置所述机身的两端，所述夹持件与所述主轴箱驱动连接，所述尾座上枢接有一旋转顶尖，所述夹持件和旋转顶尖相向设置；

滑动座，所述滑动座滑动设置在所述机身上，并位于所述主轴箱和尾座之间；

旋转磨具，所述旋转磨具设置在所述滑动座两侧。

2.根据权利要求1所述的旋转钼靶材的表面处理装置，其特征在于：所述尾座滑动设置在所述机身上，可朝向所述主轴箱往复直线运动。

3.根据权利要求1所述的旋转钼靶材的表面处理装置，其特征在于：所述旋转磨具包括移动机构和磨具本体，所述移动机构设置在所述滑动座上，并与所述磨具本体连接，可控制所述磨具本体发生移动。

4.根据权利要求3所述的旋转钼靶材的表面处理装置，其特征在于：所述旋转磨具包括第一旋转磨具和第二旋转磨具，分别设置在所述滑动座的两侧；所述第一旋转磨具的磨具本体旋转方向与所述夹持件的转向相同，所述第二旋转磨具的磨具本体旋转方向与所述夹持件的转向相反。

5.根据权利要求3所述的旋转钼靶材的表面处理装置，其特征在于：所述移动机构为三轴机械手，所述磨具本体安装在三轴机械手的端部。

6.根据权利要求1所述的旋转钼靶材的表面处理装置，其特征在于：还包括降温机构，所述降温机构设置在所述滑动座上。

7.根据权利要求6所述的旋转钼靶材的表面处理装置，其特征在于：所述降温机构包括一喷淋头，所述喷淋头可转动地设置在所述滑动座上。

8.根据权利要求1所述的旋转钼靶材的表面处理装置，其特征在于：还包括粗糙度测量机构，所述粗糙度测量机构设置在所述滑动座上。

9.根据权利要求1所述的旋转钼靶材的表面处理装置，其特征在于：还包括保护罩，所述保护罩设置在所述机身上，其一侧面为敞口。

10.根据权利要求1所述的旋转钼靶材的表面处理装置，其特征在于：还包括接料盘，所述接料盘设置在机身下方，其两端与底座连接。