CN208803118U - 一种天然气退火炉连续进料装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种天然气退火炉连续进料装置，包括退火区、进料电机和出料电机，退火区中设置有左挡板和右挡板，左挡板与右挡板垂直设置，左挡板和右挡板相对的表面设置有倾斜卡槽，左挡板和右挡板远端边缘均设置有限位挡板，左挡板和右挡板均固定在转轴上，转轴两端均设置有支架，转轴两端下方均设置有拨板，右侧拨板下方设置有进料电机，进料电机上设置有拨杆，左侧拨板下方设置有出料电机，出料电机上同样设置有拨杆，两侧拨杆设置在各自拨板的左侧，左侧支架下方设置有收料箱，进料电机和出料电机下方均设置有电机座，本进料装置结构简单，操作方便，通过反复的传导动作，将退火区挡板上的工件不断向一侧推进，最终使得工件顺利通过退火区，自动化程度高，节省人力，使用安全。

Description

一种天然气退火炉连续进料装置

技术领域

本实用新型涉及退火加工技术领域，尤其是涉及一种天然气退火炉连续进料装置。

背景技术

退火是一种金属热处理工艺，指的是将金属缓慢加热到一定温度，保持足够时间，然后以适宜速度冷却。目的是降低硬度，改善切削加工性；消除残余应力，稳定尺寸，减少变形与裂纹倾向；细化晶粒，调整组织，消除组织缺陷。准确的说，退火是一种对材料的热处理工艺，包括金属材料、非金属材料。而且新材料的退火目的也与传统金属退火存在异同。

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构。

退火炉是退火加工中不可或缺的加工设备，通常是先将退火炉内的炉胆从退火炉的炉膛取出，装入工件至炉胆内，然后将炉胆置入炉膛内，加热至预设温度并保持一定的时间后，将炉胆从退火炉的炉膛退出，再将工件从炉胆内取出。此种退火方式不能连续进料且进料不方便，自动化程度不高，极大地影响了工件的加工效率。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种天然气退火炉连续进料装置。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种天然气退火炉连续进料装置，包括退火区、进料电机和出料电机，所述退火区中设置有左挡板和右挡板，所述左挡板与所述右挡板垂直设置，所述左挡板和所述右挡板相对的表面设置有倾斜卡槽，所述左挡板和所述右挡板远端边缘均设置有限位挡板，所述左挡板和所述右挡板均固定在转轴上，所述转轴两端均设置有支架，所述转轴两端下方均设置有拨板，右侧所述拨板下方设置有所述进料电机，所述进料电机上设置有拨杆，左侧所述拨板下方设置有所述出料电机，所述出料电机上同样设置有所述拨杆，两侧所述拨杆设置在各自所述拨板的左侧，所述左侧支架下方设置有收料箱，所述进料电机和所述出料电机下方均设置有电机座。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述支架与所述转轴转动连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述进料电机与所述出料电机旋转速度相同，旋转方向相对不同。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述退火区的所述转轴稍向左倾斜。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述转轴和所述左挡板和所述右挡板表面均设置有石棉绝热材料膜。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述拨板与所述拨杆活动连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本进料装置结构简单，操作方便，通过反复的传导动作，将退火区挡板上的工件不断向一侧推进，最终使得工件顺利通过退火区，完成连续进料的要求，自动化程度高，节省人力，使用安全，提高工件建工效率。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型所述一种天然气退火炉连续进料装置结构图；

图2为本实用新型所述一种天然气退火炉连续进料装置侧视图。

图中：1、转轴；2、右挡板；3、拨板；4、进料电机；5、左挡板；6、电机座；7、拨杆；8、倾斜卡槽；9、限位挡板；10、支架；11、出料电机；12、收料箱；13、退火区。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种天然气退火炉连续进料装置，包括退火区13、进料电机4和出料电机11，退火区13中设置有左挡板5和右挡板2，左挡板5与右挡板2垂直设置，左挡板5和右挡板2相对的表面设置有倾斜卡槽8，左挡板5和右挡板2远端边缘均设置有限位挡板9，左挡板5和右挡板2均固定在转轴1上，转轴1两端均设置有支架10，转轴1两端下方均设置有拨板3，右侧拨板3下方设置有进料电机4，进料电机4上设置有拨杆7，左侧拨板3下方设置有出料电机11，出料电机11上同样设置有拨杆7，两侧拨杆7设置在各自拨板3的左侧，左侧支架10下方设置有收料箱12，进料电机4和出料电机11下方均设置有电机座6，支架10与转轴1转动连接，进料电机4与出料电机11旋转速度相同，旋转方向相对不同，退火区13的转轴1稍向左倾斜，转轴1和左挡板5和右挡板2表面均设置有石棉绝热材料膜，拨板3与拨杆7活动连接。

具体原理：使用时，将需要退火加工的工件放在进料电4机一侧的退火区13中，进料电机4旋转时带动拨杆7旋转，拨杆7拨动拨板3带动转轴1旋转，出料电机11与进料电机4保持间歇运作，不断的拨动转轴1往复运动，于是工件从左挡板5上落到右挡板2，又从右挡板2落到左挡板5，同时，在倾斜卡槽8的作用下，工件不断向左侧移动，最终落入到收料箱12中，完成退火工序。

本进料装置结构简单，操作方便，通过反复的传导动作，将退火区挡板上的工件不断向一侧推进，最终使得工件顺利通过退火区，完成连续进料的要求，自动化程度高，节省人力，使用安全，提高工件建工效率。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种天然气退火炉连续进料装置，包括退火区（13）、进料电机（4）和出料电机（11），其特征在于，所述退火区（13）中设置有左挡板（5）和右挡板（2），所述左挡板（5）与所述右挡板（2）垂直设置，所述左挡板（5）和所述右挡板（2）相对的表面设置有倾斜卡槽（8），所述左挡板（5）和所述右挡板（2）远端边缘均设置有限位挡板（9），所述左挡板（5）和所述右挡板（2）均固定在转轴（1）上，所述转轴（1）两端均设置有支架（10），所述转轴（1）两端下方均设置有拨板（3），右侧所述拨板（3）下方设置有所述进料电机（4），所述进料电机（4）上设置有拨杆（7），左侧所述拨板（3）下方设置有所述出料电机（11），所述出料电机（11）上同样设置有所述拨杆（7），两侧所述拨杆（7）设置在各自所述拨板（3）的左侧，所述左侧支架（10）下方设置有收料箱（12），所述进料电机（4）和所述出料电机（11）下方均设置有电机座（6）。

2.根据权利要求1所述的一种天然气退火炉连续进料装置，其特征在于，所述支架（10）与所述转轴（1）转动连接。

3.根据权利要求1所述的一种天然气退火炉连续进料装置，其特征在于，所述进料电机（4）与所述出料电机（11）旋转速度相同，旋转方向相对不同。

4.根据权利要求1所述的一种天然气退火炉连续进料装置，其特征在于，所述退火区（13）的所述转轴（1）稍向左倾斜。

5.根据权利要求1所述的一种天然气退火炉连续进料装置，其特征在于，所述转轴（1）和所述左挡板（5）和所述右挡板（2）表面均设置有石棉绝热材料膜。

6.根据权利要求1所述的一种天然气退火炉连续进料装置，其特征在于，所述拨板（3）与所述拨杆（7）活动连接。