CN214620621U - 一种用于硅基材料玻璃器皿生产的退火炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种用于硅基材料玻璃器皿生产的退火炉，包括机壳，所述机壳的前端绞接有门板，所述门板的右方在机壳的前端位置处固定有加热腔，所述加热腔的内部固定有耐热盒，所述耐热盒的内表面滑动连接有推拉板，所述机壳的上端固定有控制装置，本实用新型通过板体表面的滑块使推拉板能在耐热盒内部移动，在需要取出加热物体时，推拉板移动带动物体移动，从而方便外部夹具的夹取，加快物体的取出速度，挡板表面的滚珠能减少与耐热盒内部的摩擦，使推拉板的取出更加迅速，缩短了器皿的加热过程。

Description

一种用于硅基材料玻璃器皿生产的退火炉

技术领域

本实用新型涉及工业机械领域，尤其涉及一种用于硅基材料玻璃器皿生产的退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

但是由于现有的退火炉在使用时器皿放置在退火炉内部，但是在加热完成后，由于退火炉内部空间小，导致加热后的器皿难以取出，影响器皿的加工时间。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于硅基材料玻璃器皿生产的退火炉，以解决上述技术问题。

本实用新型为解决上述技术问题，采用以下技术方案来实现：一种用于硅基材料玻璃器皿生产的退火炉，包括机壳，所述机壳的前端绞接有门板，所述门板的右方在机壳的前端位置处固定有加热腔，所述加热腔的内部固定有耐热盒，所述耐热盒的内表面滑动连接有推拉板，所述机壳的上端固定有控制装置，所述推拉板包括连动装置，所述连动装置的右端固定有板体，所述板体的下端固定有滑块，所述板体的上端固定有挡板。

优选的，所述耐热盒的内表面设置有滑槽，所述滑块与耐热盒内表面的滑槽滑动连接。

优选的，所述挡板的表面设置有滚珠，所述板体的材质为耐火砖材质。

优选的，所述连动装置包括连接板，所述连接板的上端固定有转动柱，所述转动柱的表面转动连接有左限位圈，所述左限位圈的右端固定有拉动板，所述拉动板的上端固定有旋转柱，所述旋转柱的表面转动连接有右限位圈，所述右限位圈的右端固定有联结板。

优选的，所述联结板的右端固定在板体的表面，所述连接板的左端固定在门板的表面。

优选的，所述拉动板的材质为耐高温PVC材质，所述右限位圈内表面直径大于转动柱外表面直径。

本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型通过板体表面的滑块使推拉板能在耐热盒内部移动，在需要取出加热物体时，推拉板移动带动物体移动，从而方便外部夹具的夹取，加快物体的取出速度，挡板表面的滚珠能减少与耐热盒内部的摩擦，使推拉板的取出更加迅速，缩短了器皿的加热过程。

2.本实用新型通过连动装置调整门板转动的角度，使门板移动的距离能拉动板体移动，移动大板体带动表面的物体移动，避免通过手部拉动板体造成的麻烦，同时加快物体的取出速度。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型推拉板的结构示意图；

图3为本实用新型连动装置的结构示意图；

附图标记：1、控制装置；2、门板；3、推拉板；4、加热腔；5、耐热盒；6、机壳；31、连动装置；32、滑块；33、挡板；34、板体；311、拉动板；312、转动柱；313、连接板；314、左限位圈；315、右限位圈；316、联结板；317、旋转柱。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例和附图，进一步阐述本实用新型，但下述实施例仅仅为本实用新型的优选实施例，并非全部。基于实施方式中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其它实施例，都属于本发明的保护范围。

下面结合附图描述本实用新型的具体实施例。

实施例1

如图1-2所示，一种用于硅基材料玻璃器皿生产的退火炉，包括机壳6，机壳6的前端绞接有门板2，门板2的右方在机壳6的前端位置处固定有加热腔4，加热腔4的内部固定有耐热盒5，耐热盒5的内表面滑动连接有推拉板3，机壳6的上端固定有控制装置1，推拉板3包括连动装置31，连动装置31的右端固定有板体34，板体34的下端固定有滑块32，板体34的上端固定有挡板33。

在需要使用时将加热的物体放置在板体34表面，关闭门板2，接入退火炉电源，同时在控制装置1表面控制温度和时间，则机壳6内部的电热丝通电发热对内部的物体进行加热，物体加热完成后需要取出时，将开启门板2，门板2转动通过连动装置31带动板体34移动，板体34移动则表面的物体移动，方便物体的取出，通过板体34表面的滑块32使推拉板3能在耐热盒5内部移动，在需要取出加热物体时，推拉板3移动带动物体移动，从而方便外部夹具的夹取，加快物体的取出速度，挡板33表面的滚珠能减少与耐热盒5内部的摩擦，使推拉板3的取出更加迅速，缩短了器皿的加热过程。

实施例2

如图1-3所示，一种用于硅基材料玻璃器皿生产的退火炉，包括机壳6，机壳6的前端绞接有门板2，门板2的右方在机壳6的前端位置处固定有加热腔4，加热腔4的内部固定有耐热盒5，耐热盒5的内表面滑动连接有推拉板3，机壳6的上端固定有控制装置1，推拉板3包括连动装置31，连动装置31的右端固定有板体34，板体34的下端固定有滑块32，板体34的上端固定有挡板33，连动装置31包括连接板313，连接板313的上端固定有转动柱312，转动柱312的表面转动连接有左限位圈314，左限位圈314的右端固定有拉动板311，拉动板311的上端固定有旋转柱317，旋转柱317的表面转动连接有右限位圈315，右限位圈315的右端固定有联结板316。

当门板2转动时带动拉动板311转动，拉动板311转动带动转动柱312转动，转动柱312在左限位圈314内部转动并带动左限位圈314移动，左限位圈314移动带动拉动板311移动，拉动板311移动带动旋转柱317移动，旋转柱317移动带动右限位圈315移动，右限位圈315移动带动联结板316移动，联结板316移动带动板体34移动，从而将板体34表面的物体拉出，通过连动装置31调整门板2转动的角度，使门板2移动的距离能拉动板体34移动，移动大板体34带动表面的物体移动，避免通过手部拉动板体34造成的麻烦，同时加快物体的取出速度。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例，并不用来限制本实用新型，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (6)

1.一种用于硅基材料玻璃器皿生产的退火炉，包括机壳(6)，其特征在于：所述机壳(6)的前端绞接有门板(2)，所述门板(2)的右方在机壳(6)的前端位置处固定有加热腔(4)，所述加热腔(4)的内部固定有耐热盒(5)，所述耐热盒(5)的内表面滑动连接有推拉板(3)，所述机壳(6)的上端固定有控制装置(1)，所述推拉板(3)包括连动装置(31)，所述连动装置(31)的右端固定有板体(34)，所述板体(34)的下端固定有滑块(32)，所述板体(34)的上端固定有挡板(33)。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅基材料玻璃器皿生产的退火炉，其特征在于：所述耐热盒(5)的内表面设置有滑槽，所述滑块(32)与耐热盒(5)内表面的滑槽滑动连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于硅基材料玻璃器皿生产的退火炉，其特征在于：所述挡板(33)的表面设置有滚珠，所述板体(34)的材质为耐火砖材质。

4.根据权利要求1所述的一种用于硅基材料玻璃器皿生产的退火炉，其特征在于：所述连动装置(31)包括连接板(313)，所述连接板(313)的上端固定有转动柱(312)，所述转动柱(312)的表面转动连接有左限位圈(314)，所述左限位圈(314)的右端固定有拉动板(311)，所述拉动板(311)的上端固定有旋转柱(317)，所述旋转柱(317)的表面转动连接有右限位圈(315)，所述右限位圈(315)的右端固定有联结板(316)。

5.根据权利要求4所述的一种用于硅基材料玻璃器皿生产的退火炉，其特征在于：所述联结板(316)的右端固定在板体(34)的表面，所述连接板(313)的左端固定在门板(2)的表面。

6.根据权利要求5所述的一种用于硅基材料玻璃器皿生产的退火炉，其特征在于：所述拉动板(311)的材质为耐高温PVC材质，所述右限位圈(315)内表面直径大于转动柱(312)外表面直径。

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