CN216815023U - 一种高效型退火炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种高效型退火炉，包括基座；退火炉，安装在基座的顶端中心位置；控制面板，装配在退火炉的外壁上；门体，数量为两个，且两个门体分别安装在退火炉的左右两侧。该高效型退火炉，通过料箱可以放置待加工物料，通过退火炉、控制面板和门体之间的配合，从而可以对料箱内的物料进行常规的加工处理，通过电机、螺杆、导杆、连接座和连接杆之间的配合，从而可促使底板带动两个料箱一起向左或向右移动，进而可连续送入退火炉内进行加工，该装置结构简单、设计合理，其采用双送料口的设计，可保证物料连续加工，省去换料等待的时间，大大提高了整体的工作效率，使用灵活，实用性强，满足现有市场上的使用需求。

Description

一种高效型退火炉

技术领域

本实用新型涉及退火炉技术领域，具体为一种高效型退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

目前，现有的退火炉由于只有一个送料口，导致物料的上料或下料只能由此处进行，在物料加工完毕后，需要等待物料取出后再放入进料才能继续加工，在换料的过程中，需等待较长的时间，其操作无疑会影响整体加工的效率，给工作人员带来了许多的困扰，因此，基于以上缺点，现推出一种高效型退火炉对此来进行改善。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高效型退火炉，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高效型退火炉，包括

基座；

退火炉，安装在所述基座的顶端中心位置；

控制面板，装配在所述退火炉的外壁上；

门体，数量为两个，且两个门体分别安装在所述退火炉的左右两侧；

换料机构，装配在所述基座的内腔。

优选的，所述换料机构包括电机，所述电机螺钉连接在基座的左侧中心位置，所述电机的右侧输出端通过联轴器锁紧有螺杆的一端，且螺杆的另一端延伸进基座的内腔，所述螺杆的右侧通过轴承安装在基座的内腔右侧，所述基座的内腔前后两侧均设置有导杆，所述螺杆与导杆的外壁套接有连接座，所述连接座的顶端前后两侧均安装有连接杆的一端，所述连接杆的另一端延伸出基座上表面开设的滑轨且安装有底板，所述底板的顶端左右两侧均设置有料箱。

优选的，所述螺杆与连接座之间相互螺纹连接。

优选的，所述退火炉、控制面板、门体和电机之间均相互电性连接。

优选的，所述门体的底端设置有密封垫。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该高效型退火炉，通过料箱可以放置待加工物料，通过退火炉、控制面板和门体之间的配合，从而可以对料箱内的物料进行常规的加工处理，通过电机、螺杆、导杆、连接座和连接杆之间的配合，从而可促使底板带动两个料箱一起向左或向右移动，进而可连续送入退火炉内进行加工，该装置结构简单、设计合理，其采用双送料口的设计，可保证物料连续加工，省去换料等待的时间，大大提高了整体的工作效率，使用灵活，实用性强，满足现有市场上的使用需求。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型的换料机构俯视图。

图中：1、基座，2、退火炉，3、控制面板，4、门体，5、换料机构，51、电机，52、螺杆，53、导杆，54、连接座，55、连接杆，56、底板，57、料箱，6、密封垫。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种高效型退火炉，包括基座1；退火炉2，安装在基座1的顶端中心位置；控制面板3，装配在退火炉2的外壁上；门体4，数量为两个，且两个门体4分别安装在退火炉2的左右两侧；换料机构5，装配在基座1的内腔。

作为优选方案，更进一步的，换料机构5包括电机51，电机51螺钉连接在基座1的左侧中心位置，电机51的右侧输出端通过联轴器锁紧有螺杆52的一端，且螺杆52的另一端延伸进基座1的内腔，螺杆52的右侧通过轴承安装在基座1的内腔右侧，基座1的内腔前后两侧均设置有导杆53，螺杆52与导杆53的外壁套接有连接座54，连接座54的顶端前后两侧均安装有连接杆55的一端，连接杆55的另一端延伸出基座1上表面开设的滑轨且安装有底板56，底板56的顶端左右两侧均设置有料箱57，开启电机51，电机51会带动螺杆52转动，当螺杆52转动可促使连接座54带动连接杆55、底板56和料箱57一起向左或向右移动。

作为优选方案，更进一步的，螺杆52与连接座54之间相互螺纹连接，从而明确了螺杆52与连接座54之间的安装关系，保证螺杆52转动可带动连接座54向左或向右移动。

作为优选方案，更进一步的，退火炉2、控制面板3、门体4和电机51之间均相互电性连接。

作为优选方案，更进一步的，门体4的底端设置有密封垫6，通过密封垫6可以增加门体4关闭时的密封性。

本方案中所提到的电器元件均为现有技术，其型号仅为其中的一种，只要能达到本方案中所要达到的目的的电器元件均可以使用。

通过本领域人员，将本案中所有电气件与其适配的电源通过导线进行连接，并且应该根据实际情况，选择合适的控制器，以满足控制需求，具体连接以及控制顺序，应参考下述工作原理中，各电气件之间先后工作顺序完成电性连接，其详细连接手段，为本领域公知技术，下述主要介绍工作原理以及过程，不再对电气控制做说明，具体工作如下。

使用时，先将待加工物料倒入进两个料箱57内，开启电机51，电机51会带动螺杆52转动，由于螺杆52与连接座54之间相互螺纹连接，因此当螺杆52转动可促使连接座54带动连接杆55、底板56和料箱57一起向左侧移动，此时，左侧的料箱57会移出且右侧的料箱57会移动进退火炉2的内腔，关闭门体4且开启退火炉2，退火炉2可对其内部料箱57内放置的物料进行加工处理，当加工完毕后，开启门体4和电机51，电机51的开启可促使连接座54带动连接杆55、底板56和料箱57一起向右侧移动，此时，左侧的料箱57会移动进退火炉2的内腔等待加工，而原本在退火炉2内部加工完毕的料箱57会向右侧移动且移出退火炉2的内腔，关闭门体4，继续对新进入退火炉2内部的料箱57内物料进行加工，在此期间，工作人员可对加工完毕且移出退火炉2内腔的料箱57内物料进行换料处理，重复上述操作，即可实现连续加工处理，该装置结构简单、设计合理，其采用双送料口的设计，可保证物料连续加工，省去换料等待的时间，大大提高了整体的工作效率，使用灵活，实用性强，适合推广。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中心位置”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶端”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作；同时除非另有明确的规定和限定，术语“卡接”、“插接”、“焊接”、“安装”、“设置”、“过盈配合”、“螺钉连接”、“销轴连接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种高效型退火炉，其特征在于：包括

基座(1)；

退火炉(2)，安装在所述基座(1)的顶端中心位置；

控制面板(3)，装配在所述退火炉(2)的外壁上；

门体(4)，数量为两个，且两个门体(4)分别安装在所述退火炉(2)的左右两侧；

换料机构(5)，装配在所述基座(1)的内腔。

2.根据权利要求1所述的一种高效型退火炉，其特征在于：所述换料机构(5)包括电机(51)，所述电机(51)螺钉连接在基座(1)的左侧中心位置，所述电机(51)的右侧输出端通过联轴器锁紧有螺杆(52)的一端，且螺杆(52)的另一端延伸进基座(1)的内腔，所述螺杆(52)的右侧通过轴承安装在基座(1)的内腔右侧，所述基座(1)的内腔前后两侧均设置有导杆(53)，所述螺杆(52)与导杆(53)的外壁套接有连接座(54)，所述连接座(54)的顶端前后两侧均安装有连接杆(55)的一端，所述连接杆(55)的另一端延伸出基座(1)上表面开设的滑轨且安装有底板(56)，所述底板(56)的顶端左右两侧均设置有料箱(57)。

3.根据权利要求2所述的一种高效型退火炉，其特征在于：所述螺杆(52)与连接座(54)之间相互螺纹连接。

4.根据权利要求2所述的一种高效型退火炉，其特征在于：所述退火炉(2)、控制面板(3)、门体(4)和电机(51)之间均相互电性连接。

5.根据权利要求1所述的一种高效型退火炉，其特征在于：所述门体(4)的底端设置有密封垫(6)。

Images