CN213984606U - 一种节能式氧化炉温度调节系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种节能式氧化炉温度调节系统，包括炉体，所述炉体顶部后端固定连接有滑动变阻器，所述滑动变阻器的顶部左侧固定连接有正极旋钮，所述正极旋钮与第一接电旋钮之间固定连接有第一导线，所述滑动变阻器的顶部滑动连接有负极旋钮，所述负极旋钮与第二接电旋钮之间固定连接有第二导线，所述炉体的顶部右侧固定连接有温度传感器，所述炉体的顶部偏右侧固定连接有控制器。本实用新型中，通过温度传感器传输信号给控制器，控制器控制电机转动，电机带动滑动变阻器上的负极旋钮左右移动，通过增大或者减小电阻实现对加热管的电流控制从而实现自动调节温度，简单省事且有利于减少资源损耗，值得大力推广。

Description

一种节能式氧化炉温度调节系统

技术领域

本实用新型涉及氧化炉领域，尤其涉及一种节能式氧化炉温度调节系统。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化。

氧化炉在进行加热的时候由于待加热物体的属性不同，在加热的时候需要对温度进行精准的控制，而市面上大多的氧化炉都需要手动进行调节，十分的麻烦，并且不够节能环保。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种节能式氧化炉温度调节系统。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种节能式氧化炉温度调节系统，包括炉体，所述炉体底部固定连接有底座，所述炉体内部设置有加热管，所述加热管的顶部左侧贯穿炉体连接有第一接电旋钮，所述加热管的顶部右侧贯穿炉体连接有第二接电旋钮，所述炉体顶部后端固定连接有滑动变阻器，所述滑动变阻器的顶部左侧固定连接有正极旋钮，所述正极旋钮与第一接电旋钮之间固定连接有第一导线，所述滑动变阻器的顶部滑动连接有负极旋钮，所述负极旋钮与第二接电旋钮之间固定连接有第二导线，所述炉体顶部固定连接有支撑板，所述支撑板顶部设置有限位槽，所述限位槽内滑动连接有限位块，所述限位块顶部固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有齿轮，所述炉体顶部前端固定连接有两个连接块，所述连接块的顶部固定连接在齿条的底部左右两侧，所述齿轮与齿条啮合连接，所述电机的后端通过连接杆与负极旋钮固定连接，所述炉体的顶部右侧固定连接有温度传感器，所述炉体的顶部偏右侧固定连接有控制器。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述底座底部四个角均固定连接有支腿。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述炉体的材质为高温陶瓷。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述温度传感器向下贯穿炉体的顶部。

作为上述技术方案的进一步描述：

底座的材质为不锈钢。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述炉体的左侧设置有圆孔。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述炉体为内部中空的壳体。

本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型中，炉体内部设置有加热管，加热管的顶部左侧贯穿炉体连接有第一接电旋钮，加热管的顶部右侧贯穿炉体连接有第二接电旋钮，炉体顶部后端固定连接有滑动变阻器，滑动变阻器的顶部左侧固定连接有正极旋钮，正极旋钮与第一接电旋钮之间固定连接有第一导线，滑动变阻器的顶部滑动连接有负极旋钮，负极旋钮与第二接电旋钮之间固定连接有第二导线，电机的输出端固定连接有齿轮，齿轮与齿条啮合连接，电机的后端通过连接杆与负极旋钮固定连接，炉体的顶部右侧固定连接有温度传感器，炉体的顶部偏右侧固定连接有控制器，通过温度传感器传输信号给控制器，控制器控制电机转动，电机带动滑动变阻器上的负极旋钮左右移动，通过增大或者减小电阻实现对加热管的电流控制从而实现自动调节温度，简单省事且有利于减少资源损耗，值得大力推广。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种节能式氧化炉温度调节系统的外观图；

图2为图1中A处的放大图；

图3为本实用新型提出的一种节能式氧化炉温度调节系统的俯视图。

图例说明：

1、炉体；2、底座；3、支腿；4、圆孔；5、加热管；6、第一接电旋钮；7、第二接电旋钮；8、滑动变阻器；9、正极旋钮；10、第一导线；11、负极旋钮；12、第二导线；13、连接杆；14、支撑板；15、限位槽；16、限位块；17、电机；18、齿轮；19、齿条；20、连接块；21、温度传感器；22、控制器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参照图1-3，本实用新型提供的一种实施例：一种节能式氧化炉温度调节系统，包括炉体1，炉体1底部固定连接有底座2，炉体1内部设置有加热管5，加热管5的顶部左侧贯穿炉体1连接有第一接电旋钮6，加热管5的顶部右侧贯穿炉体1连接有第二接电旋钮7，炉体1顶部后端固定连接有滑动变阻器8，滑动变阻器8的顶部左侧固定连接有正极旋钮9，正极旋钮9与第一接电旋钮6之间固定连接有第一导线10，滑动变阻器8的顶部滑动连接有负极旋钮11，负极旋钮11与第二接电旋钮7之间固定连接有第二导线12，炉体1顶部固定连接有支撑板14，支撑板14顶部设置有限位槽15，限位槽15内滑动连接有限位块16，限位块16顶部固定连接有电机17，电机17的输出端固定连接有齿轮18，炉体1顶部前端固定连接有两个连接块20，连接块20的顶部固定连接在齿条19的底部左右两侧，齿轮18与齿条19啮合连接，电机17的后端通过连接杆13与负极旋钮11固定连接，电机17转动带动电机17在限位槽15上左右移动从而带动负极旋钮11的移动，炉体1的顶部右侧固定连接有温度传感器21，炉体1的顶部偏右侧固定连接有控制器22，温度传感器21传输信号给控制器22，控制器22控制电机17转动。

底座2底部四个角均固定连接有支腿3，炉体1的材质为高温陶瓷，高温陶瓷具有优异的耐高温性能，温度传感器21向下贯穿炉体1的顶部，底座2的材质为不锈钢，炉体1的左侧设置有圆孔4，炉体1为内部中空的壳体。

工作原理：接通电源，加热管5开始工作，当达到一定的温度后，温度传感器21受到感应后将信号传输给控制器22，控制器22驱动电机17转动，由于齿条19位置固定，所以电机17在限位槽15上滑动，从而带动负极旋钮11在滑动变阻器8上进行滑动，从而达到自动控制温度的目的。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种节能式氧化炉温度调节系统，包括炉体(1)，其特征在于：所述炉体(1)底部固定连接有底座(2)，所述炉体(1)内部设置有加热管(5)，所述加热管(5)的顶部左侧贯穿炉体(1)连接有第一接电旋钮(6)，所述加热管(5)的顶部右侧贯穿炉体(1)连接有第二接电旋钮(7)，所述炉体(1)顶部后端固定连接有滑动变阻器(8)，所述滑动变阻器(8)的顶部左侧固定连接有正极旋钮(9)，所述正极旋钮(9)与第一接电旋钮(6)之间固定连接有第一导线(10)，所述滑动变阻器(8)的顶部滑动连接有负极旋钮(11)，所述负极旋钮(11)与第二接电旋钮(7)之间固定连接有第二导线(12)，所述炉体(1)顶部固定连接有支撑板(14)，所述支撑板(14)顶部设置有限位槽(15)，所述限位槽(15)内滑动连接有限位块(16)，所述限位块(16)顶部固定连接有电机(17)，所述电机(17)的输出端固定连接有齿轮(18)，所述炉体(1)顶部前端固定连接有两个连接块(20)，所述连接块(20)的顶部固定连接在齿条(19)的底部左右两侧，所述齿轮(18)与齿条(19)啮合连接，所述电机(17)的后端通过连接杆(13)与负极旋钮(11)固定连接，所述炉体(1)的顶部右侧固定连接有温度传感器(21)，所述炉体(1)的顶部偏右侧固定连接有控制器(22)。

2.根据权利要求1所述的一种节能式氧化炉温度调节系统，其特征在于：所述底座(2)底部四个角均固定连接有支腿(3)。

3.根据权利要求1所述的一种节能式氧化炉温度调节系统，其特征在于：所述炉体(1)的材质为高温陶瓷。

4.根据权利要求1所述的一种节能式氧化炉温度调节系统，其特征在于：所述温度传感器(21)向下贯穿炉体(1)的顶部。

5.根据权利要求1所述的一种节能式氧化炉温度调节系统，其特征在于：底座(2)的材质为不锈钢。

6.根据权利要求1所述的一种节能式氧化炉温度调节系统，其特征在于：所述炉体(1)的左侧设置有圆孔(4)。

7.根据权利要求1所述的一种节能式氧化炉温度调节系统，其特征在于：所述炉体(1)为内部中空的壳体。

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