CN216845668U - 一种全自动环保型高效燃气退火炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种全自动环保型高效燃气退火炉，包括炉体，控制箱，排风扇，前密封门，后密封门，伸缩柱和物料承载板，其中：炉体表面的一侧设置有控制箱，且炉体上表面的中间设置有排风扇，该炉体表面的两端通过伸缩柱呈镜像的位置分别设置有前密封门和后密封门；所述伸缩柱共设置有两个，且伸缩柱的顶端分别与前密封门和后密封门表面顶端一侧的中间进行连接。本实用新型在炉内存在退火料时，能对下一批次的料进行提前承载工作，从而当炉体内部的材料取出时，能够快速的让下一批次的退火料进行退火工作，从而提高其工作效率，同时能根据物料的高度大小调节喷头的位置，便于市场推广和应用。

Description

一种全自动环保型高效燃气退火炉

技术领域

本实用新型为退火炉领域，尤其涉及一种全自动环保型高效燃气退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60％。但是现有的退火炉依然存在着在炉内存在退火料时，不能对下一批次的料进行提前承载工作，从而导致只有在炉体内部的材料取出时，才能装上下一批次的退火料，不能根据物料的高度大小调节喷头的位置的问题。

因此，发明一种全自动环保型高效燃气退火炉显得非常必要。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种全自动环保型高效燃气退火炉，以解决现有的退火炉依然存在着在炉内存在退火料时，不能对下一批次的料进行提前承载工作，从而导致只有在炉体内部的材料取出时，才能装上下一批次的退火料，不能根据物料的高度大小调节喷头的位置的问题。一种全自动环保型高效燃气退火炉，包括炉体，控制箱，排风扇，前密封门，后密封门，伸缩柱和物料承载板，其中：炉体表面的一侧设置有控制箱，且炉体上表面的中间设置有排风扇，该炉体表面的两端通过伸缩柱呈镜像的位置分别设置有前密封门和后密封门；所述伸缩柱共设置有两个，且伸缩柱的顶端分别与前密封门和后密封门表面顶端一侧的中间进行连接；所述物料承载板表面的一侧嵌套在炉体内部的下方。

所述炉体包括壳体，底座，轨道槽，限位槽和集成板，且壳体底端的内侧镜像的位置分别设置有底座，该底座上表面的中间呈对称的位置分别设置有轨道槽；所述限位槽呈镜像的位置分别设置在壳体内部两侧的中间；所述集成板嵌套在壳体的内部。

所述集成板包括板体，喷火孔，连接台，伸缩柱一和伸缩柱二，且喷火孔设置有多个，该喷火孔呈对称的位置分别设置在板体的底面；所述连接台呈镜像的位置设置在板体表面两侧的中间，且连接台的底面呈对称的位置分别设置有伸缩柱一和伸缩柱二。

所述物料承载板包括承载板，密封槽，支架，滚轮，滑轨，第一物料区和第二物料区，且密封槽设置有三个，该密封槽呈对称的位置分别设置在承载板上表面的中间和两侧；所述第一物料区和第二物料区呈对称的位置设置在承载板的上表面，且第一物料区和第二物料区之间通过密封槽隔开；所述支架设置有三个，且支架呈对称的位置设置在承载板的底面，该支架底面的两侧分别设置有滚轮；所述滑轨呈对称的位置设置在承载板底面的两侧。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：

1.本实用新型炉体的设置，有利于能够配合前密封门和后密封门能够使物料承载板从炉体的一端进行，然后从炉体的另一端处，从而提高其工作效率。

2.本实用新型集成板的设置，有利于能够根据物料的高度尺寸，调节集成板的高度，从而均匀的对物料的表面进行高效的退火工作。

3.本实用新型物料承载板的设置，有利于能够使物料承载板表面一半嵌套密封在炉体的内部进行退火工作，且在退火的过程中，能够把下一批次的物料提前放置到物料承载板表面的另一半上，从而当炉体内部的物料退火完成后，使其从后密封门移出，从而带动提前放置好的物料进入到炉体的内部进行退火工作，从而有效的提高其工作效率。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型的炉体结构示意图。

图3是本实用新型的集成板结构示意图。

图4是本实用新型的物料承载板结构示意图。

图中：

炉体1，壳体11，底座12，轨道槽13，限位槽14，集成板15，板体151，喷火孔152，连接台153，伸缩柱一154，伸缩柱二155，控制箱2，排风扇3，前密封门4，后密封门5，伸缩柱6，物料承载板7，承载板71，密封槽72，支架73，滚轮74，滑轨75，第一物料区76，第二物料区77。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面将对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。

以下结合附图对本实用新型做进一步描述：

实施例一

参照图1-4，一种全自动环保型高效燃气退火炉，包括炉体1，控制箱2，排风扇3，前密封门4，后密封门5，伸缩柱6和物料承载板7，其中：炉体1表面的一侧设置有控制箱2，且炉体1上表面的中间设置有排风扇3，该炉体1表面的两端通过伸缩柱6呈镜像的位置分别设置有前密封门4和后密封门5；伸缩柱6共设置有两个，且伸缩柱6的顶端分别与前密封门4和后密封门5表面顶端一侧的中间进行连接；物料承载板7表面的一侧嵌套在炉体1内部的下方。

需要说明的是，炉体1包括壳体11，底座12，轨道槽13，限位槽14和集成板15，且壳体11底端的内侧镜像的位置分别设置有底座12，该底座12上表面的中间呈对称的位置分别设置有轨道槽13；限位槽14呈镜像的位置分别设置在壳体11内部两侧的中间；集成板15嵌套在壳体11的内部；轨道槽13的位置与滑轨75的位置相对应，且轨道槽13的内部设置有驱动机构。

集成板15包括板体151，喷火孔152，连接台153，伸缩柱一154和伸缩柱二155，且喷火孔152设置有多个，该喷火孔152呈对称的位置分别设置在板体151的底面；连接台153呈镜像的位置设置在板体151表面两侧的中间，且连接台153的底面呈对称的位置分别设置有伸缩柱一154和伸缩柱二155；喷火孔152的内部设置有燃气喷头，且喷火孔152内部的燃气喷头通过燃气管和控制器与外部的燃气输送机构进行连接，该伸缩柱一154和伸缩柱二155分别固定在限位槽14内部的中间。

物料承载板7包括承载板71，密封槽72，支架73，滚轮74，滑轨75，第一物料区76和第二物料区77，且密封槽72设置有三个，该密封槽72呈对称的位置分别设置在承载板71上表面的中间和两侧；第一物料区76和第二物料区77呈对称的位置设置在承载板71的上表面，且第一物料区76和第二物料区77之间通过密封槽72隔开；支架73设置有三个，且支架73呈对称的位置设置在承载板71的底面，该支架73底面的两侧分别设置有滚轮74；滑轨75呈对称的位置设置在承载板71底面的两侧，且滑轨75嵌套在轨道槽13的内部；密封槽72的位置与前密封门4和后密封门5的位置相对应，且前密封门4和后密封门5的底端分别嵌套在密封槽72的内部。

本实施例中，使用时，在第一物料区76和第二物料区77的上表面分别放置好所需的物料，放置好通过滑轨75驱动第一物料区76首先进入到壳体11的内部，这时使第二物料区77滞留在壳体11的外部，然后关闭前密封门4和后密封门5，然后通过伸缩柱一154和伸缩柱二155调节集成板15的高度，这时等待第一物料区76上表面的的物料进行均匀的退火工作，当第一物料区76上表面的的物料完成退火工作后，通过滑轨75驱动第一物料区76从后密封门5移出，使第二物料区77进入到壳体11的内部，然后关闭前密封门4和后密封门5，使第二物料区77表面的物料进行退火工作，在退火的过程中，取下第一物料区76上表面的的物料，然后放置上新的物料即可；待第二物料区77表面的物料退火完成后，使其从前密封门4中移出，使第一物料区76从后密封门5进入，从而以此进行往复循环退火工作。

利用本实用新型所述技术方案，或本领域的技术人员在本实用新型技术方案的启发下，设计出类似的技术方案，而达到上述技术效果的，均是落入本实用新型的保护范围。

Claims (4)

1.一种全自动环保型高效燃气退火炉，其特征在于：包括炉体(1)，控制箱(2)，排风扇(3)，前密封门(4)，后密封门(5)，伸缩柱(6)和物料承载板(7)，其中：炉体(1)表面的一侧设置有控制箱(2)，且炉体(1)上表面的中间设置有排风扇(3)，该炉体(1)表面的两端通过伸缩柱(6)呈镜像的位置分别设置有前密封门(4)和后密封门(5)；所述伸缩柱(6)共设置有两个，且伸缩柱(6)的顶端分别与前密封门(4)和后密封门(5)表面顶端一侧的中间进行连接；所述物料承载板(7)表面的一侧嵌套在炉体(1)内部的下方。

2.如权利要求1所述的一种全自动环保型高效燃气退火炉，其特征在于：所述炉体(1)包括壳体(11)，底座(12)，轨道槽(13)，限位槽(14)和集成板(15)，且壳体(11)底端的内侧镜像的位置分别设置有底座(12)，该底座(12)上表面的中间呈对称的位置分别设置有轨道槽(13)；所述限位槽(14)呈镜像的位置分别设置在壳体(11)内部两侧的中间；所述集成板(15)嵌套在壳体(11)的内部。

3.如权利要求2所述的一种全自动环保型高效燃气退火炉，其特征在于：所述集成板(15)包括板体(151)，喷火孔(152)，连接台(153)，伸缩柱一(154)和伸缩柱二(155)，且喷火孔(152)设置有多个，该喷火孔(152)呈对称的位置分别设置在板体(151)的底面；所述连接台(153)呈镜像的位置设置在板体(151)表面两侧的中间，且连接台(153)的底面呈对称的位置分别设置有伸缩柱一(154)和伸缩柱二(155)。

4.如权利要求1所述的一种全自动环保型高效燃气退火炉，其特征在于：所述物料承载板(7)包括承载板(71)，密封槽(72)，支架(73)，滚轮(74)，滑轨(75)，第一物料区(76)和第二物料区(77)，且密封槽(72)设置有三个，该密封槽(72)呈对称的位置分别设置在承载板(71)上表面的中间和两侧；所述第一物料区(76)和第二物料区(77)呈对称的位置设置在承载板(71)的上表面，且第一物料区(76)和第二物料区(77)之间通过密封槽(72)隔开；所述支架(73)设置有三个，且支架(73)呈对称的位置设置在承载板(71)的底面，该支架(73)底面的两侧分别设置有滚轮(74)；所述滑轨(75)呈对称的位置设置在承载板(71)底面的两侧。

Images