CN215925012U - 一种循环互通节能式退火炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及退火炉技术领域，具体涉及一种循环互通节能式退火炉，包括支柱、底箱和燃料柜，支柱的上端固定安装有底箱，底箱的表面镶嵌安装有燃料柜，燃料柜的表面固定安装有把手。本实用新型克服了现有技术的不足，通过设置有控制器和感温器，在本装置进行使用时，通过启动开关将装置开启，然后通过控制器进行控制调整使得滑动板滑出，将需要进行退火的材料放入滑动板内，然后通过控制器将材料传入炉体内，通过控制器的调整将材料进行匹配，使得温度适合正在退火的材料，通过感应器的感应使得装置能够通过感应器控制炉体内部的温度，有利于材料的退火，提高了装置的适用范围，有利于实际适用。

Description

一种循环互通节能式退火炉

技术领域

本实用新型涉及一种退火炉，具体为一种循环互通节能式退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

但是，现有的部分退火炉在进行运行的过程中，无法对各种材料进行针对性的退火处理，其适用范围窄，而且现有的部分退火炉在对材料进行退火时，其内部的温度不够均衡，使得在退火炉进行对材料的退火时会影响材料的品质，且耗能高，提高了装置的使用成本，不利于实际使用。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种循环互通节能式退火炉，克服了现有技术的不足，结构设计简单，有效的解决了现有的部分退火炉在进行运行的过程中，无法对各种材料进行针对性的退火处理，其适用范围窄，而且现有的部分退火炉在对材料进行退火时，其内部的温度不够均衡，使得在退火炉进行对材料的退火时会影响材料的品质，且耗能高，提高了装置的使用成本，不利于实际使用的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

一种循环互通节能式退火炉，包括支柱、底箱和燃料柜，所述支柱的上端固定安装有底箱，所述底箱的表面镶嵌安装有燃料柜；

所述燃料柜的表面固定安装有把手，所述底箱的上端固定安装有炉体，所述炉体的表面固定安装有控制器，所述控制器的表面均固定安装有控制按钮，所述控制按钮的上端固定安装有显示屏，所述显示屏的右端固定安装有启动开关。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述炉体的内侧活动安装有滑动板，所述滑动板的左右两侧均固定安装有滑轨。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述炉体的上端固定连接有固定架，所述固定架的内侧活动连接有炉门，所述固定架的右端固定安装有机箱，所述机箱的右端设有排气管。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述机箱的内部固定安装有电机，所述电机的左端固定安装有升降结构。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述炉体的内部均固定安装有储热结构，所述炉体内部的左上端和右下端均固定安装有风机，所述储热结构的一端设有感温器。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述底箱的内部固定安装有加热结构，所述加热结构的上端固定安装有纱网，所述纱网的上端活动安装有滑轮。

本实用新型实施例提供了一种循环互通节能式退火炉，具备以下有益效果：该种改进的退火炉在进行运行的过程中，对各种材料能进行针对性的退火处理，其适用范围广，而且该种改进的退火炉在对材料进行退火时，其内部的温度均衡，使得在退火炉进行对材料的退火时提高了材料的品质，且耗能低，降低了装置的使用成本，有利于实际使用。

1、通过设置有控制器和感温器，在本装置进行使用时，通过启动开关将装置开启，然后通过控制器进行控制调整使得滑动板滑出，将需要进行退火的材料放入滑动板内，然后通过控制器将材料传入炉体内，通过控制器的调整将材料进行匹配，使得温度适合正在退火的材料，通过感应器的感应使得装置能够通过感应器控制炉体内部的温度，有利于材料的退火，提高了装置的适用范围，有利于实际适用。

2、通过设置有储热结构和风机，在本装置进行对材料进行退火的过程中，通过装置的运行使得炉体内部的温度升高，通过设有储热结构，使得炉体内的温度被储热结构进行吸收并储存，不需要一直加热，且耗能低，通过装置的运行炉体内风机进行转动，从而使得炉体内的温度更加的均衡，提高了材料退火时的品质，有利于实际使用。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型整体结构示意图；

图2是本实用新型正面内部结构示意图；

图3是本实用新型底箱内部结构示意图。

图中：1、支柱；2、底箱；3、燃料柜；4、把手；5、炉体；6、控制器；7、控制按钮；8、显示屏；9、启动开关；10、滑动板；11、滑轨；12、固定架；13、炉门；14、机箱；15、排气管；16、升降结构；17、电机；18、风机；19、储热结构；20、感温器；21、加热结构；22、纱网；23、滑轮。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例：如图1-3所示，一种循环互通节能式退火炉，包括支柱1、底箱2和燃料柜3，支柱1的上端固定安装有底箱2，底箱2的表面镶嵌安装有燃料柜3；

燃料柜3的表面固定安装有把手4，底箱2的上端固定安装有炉体5，炉体5的表面固定安装有控制器6，控制器6的表面均固定安装有控制按钮7，控制按钮7的上端固定安装有显示屏8，显示屏8的右端固定安装有启动开关9。

其中，炉体5的内侧活动安装有滑动板10，滑动板10的左右两侧均固定安装有滑轨11；

本实施例中，通过此种设计，在实际使用时，通过控制器6的控制，使得炉体5内侧的滑动板10通过滑轨11进行滑出，然后将需要退火的材料放入滑动板10上。

其中，炉体5的上端固定连接有固定架12，固定架12的内侧活动连接有炉门13，固定架12的右端固定安装有机箱14，机箱14的右端设有排气管15；

本实施例中，通过此种设计，在实际使用时，通过控制器6的控制使得固定架12内侧的炉门13进行上下移动，从而对装置进行开启和关闭，通过设有排气管15使得装置内的气体可以通过排气管15排出。

其中，机箱14的内部固定安装有电机17，电机17的左端固定安装有升降结构16；

本实施例中，通过此种设计，在实际使用时，通过控制器6的启动使得电机17进行启动，通过电机17运行时，使得升降结构16进行运行，从而使得炉门13进行上下移动。

其中，炉体5的内部均固定安装有储热结构19，炉体5内部的左上端和右下端均固定安装有风机18，储热结构19的一端设有感温器20；

本实施例中，通过此种设计，在对材料进行退火时，通过炉体5内部设有储热结构19使得内部的温度可以进行储存，节省了能源的消耗，通过设有风机18使得内部的温度更加的均衡，通过设有感温器20使得装置能感知炉体5内部的温度进行调整，提高材料在退火时的品质。

其中，底箱2的内部固定安装有加热结构21，加热结构21的上端固定安装有纱网22，纱网22的上端活动安装有滑轮23；

本实施例中，通过此种设计，在实际使用时，通过将燃料柜3打开将燃料放入内部，然后在将燃料柜3推入底箱2内，通过装置的运行使得加热结构21进行加热，从而使得炉体5内部升温。

工作原理：本装置为一种循环互通节能式退火炉，在装置进行使用时，先将燃料柜3打开将燃料放入内部，然后在将燃料柜3推入底箱2内进行燃料补充，然后将启动开关9开启从而启动装置，然后通过控制器6的控制使得电机进行运行，从而使得升降结构16进行运行，当升降结构16运行时，使得炉门13进行开启，在需要将材料进行退火时，通过控制器6的控制使得滑动板10通过滑轨11弹出，然后将材料放入滑动板10内，通过控制器6的控制将材料传入炉体5内进行退火，通过控制器6的调整将材料进行匹配，使得温度适合正在退火的材料，通过感温器20的感应使得装置能够通过感温器20控制炉体5内部的温度，在退火过程中，通过装置的运行使得炉体5内部的温度升高，通过设有储热结构19，使得炉体5内的温度被储热结构19进行吸收并储存，不需要一直加热，且耗能低，通过装置的运行炉体5内风机18进行转动，从而使得炉体5内的温度更加的均衡，提高了材料退火时的品质，有利于实际使用。

最后应说明的是：在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种循环互通节能式退火炉，包括支柱(1)、底箱(2)和燃料柜(3)，其特征在于，所述支柱(1)的上端固定安装有底箱(2)，所述底箱(2)的表面镶嵌安装有燃料柜(3)；

所述燃料柜(3)的表面固定安装有把手(4)，所述底箱(2)的上端固定安装有炉体(5)，所述炉体(5)的表面固定安装有控制器(6)，所述控制器(6)的表面均固定安装有控制按钮(7)，所述控制按钮(7)的上端固定安装有显示屏(8)，所述显示屏(8)的右端固定安装有启动开关(9)。

2.根据权利要求1所述的循环互通节能式退火炉，其特征在于，所述炉体(5)的内侧活动安装有滑动板(10)，所述滑动板(10)的左右两侧均固定安装有滑轨(11)。

3.根据权利要求1所述的循环互通节能式退火炉，其特征在于，所述炉体(5)的上端固定连接有固定架(12)，所述固定架(12)的内侧活动连接有炉门(13)，所述固定架(12)的右端固定安装有机箱(14)，所述机箱(14)的右端设有排气管(15)。

4.根据权利要求3所述的循环互通节能式退火炉，其特征在于，所述机箱(14)的内部固定安装有电机(17)，所述电机(17)的左端固定安装有升降结构(16)。

5.根据权利要求1所述的循环互通节能式退火炉，其特征在于，所述炉体(5)的内部均固定安装有储热结构(19)，所述炉体(5)内部的左上端和右下端均固定安装有风机(18)，所述储热结构(19)的一端设有感温器(20)。

6.根据权利要求1所述的循环互通节能式退火炉，其特征在于，所述底箱(2)的内部固定安装有加热结构(21)，所述加热结构(21)的上端固定安装有纱网(22)，所述纱网(22)的上端活动安装有滑轮(23)。

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