CN208637399U - 一种晶圆定位流道装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆定位流道装置，包括机架，所述机架的右侧面设有第一电机，所述第一电机和所述机架焊接固定，Y方向拍板气缸位于所述机架的上表面左端处，且与所述机架固定连接，拍板通过所述Y方向拍板气缸位于第一传送带上方，所述拍板与所述Y方向拍板气缸挤压固定，所述第一电机的第一转轴贯穿竖板；通过给上料流道增加了Y方向的拍板气缸，当晶圆移动到Y方向拍板气缸的正上方时，Y拍板气缸将晶圆拍正，当晶圆移动到X方向气缸正上方时，X拍板气缸从晶圆下面升上来把晶圆拍打固定位置，有效的保证了每一片晶圆移动到伯努利吸盘下方，使得晶圆在XY两个方向都一致，确保了加工精度。

Description

一种晶圆定位流道装置

技术领域

本实用新型属于晶圆加工技术领域，具体涉及一种晶圆定位流道装置。

背景技术

晶圆是制造半导体芯片的基本材料，半导体集成电路最主要的原料是硅，因此对应的就是硅晶圆。单晶硅生长最常用的方法叫直拉法用直拉法生长后，单晶棒将按适当的尺寸进行加工，然后进行研磨，将凹凸的切痕磨掉，再用化学机械抛光工艺使其至少一面光滑如镜，晶圆片制造就完成了。

原有晶圆加工过程中，晶圆直接通过传送带进行传送，晶圆的位置方向无法拍正，在对晶圆加工时无法确保晶圆的加工精度，不仅造成了浪费还对公司经济造成一定的损失。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆定位流道装置，以解决上述背景技术中提出的原有晶圆加工过程中，晶圆直接通过传送带进行传送，晶圆的位置方向无法拍正，在对晶圆加工时无法确保晶圆的加工精度，不仅造成了浪费还对公司经济造成一定的损失的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆定位流道装置，包括机架，所述机架的右侧面设有第一电机，所述第一电机和所述机架焊接固定，Y方向拍板气缸位于所述机架的上表面左端处，且与所述机架固定连接，拍板通过所述Y方向拍板气缸位于第一传送带上方，所述拍板与所述Y方向拍板气缸挤压固定，所述第一电机的第一转轴贯穿竖板，所述竖板与所述第一电机固定连接，第一电机的第一转轴转动连接第二滚筒，所述第二滚筒位于所述竖板前表面，皮带套设在所述第二滚筒和第一滚筒上，所述第二滚筒与所述皮带转动连接，所述第一滚筒和所述皮带转动连接，第一传送带套设在所述第一滚筒的外侧面且在所述Y方向拍板气缸和X方向拍板气缸的上方所述拍板的下方，所述第一传送带和所述第一滚筒转动连接，所述竖板远离所述第一电机的一端被第一滚筒的前端所贯穿，所述第一传送带的左侧靠近所述机架上表面设有X方向拍板气缸，所述X方向拍板气缸与所述机架转动连接，电机固定座位于所述机架的上表面靠近所述X方向拍板气缸远离所述Y方向拍板气缸的一侧，所述电机固定座与所述机架焊接固定，所述电机固定座的上表面设有电机壳，所述电机壳与所述电机固定座焊接固定，所述电机壳内部设有容腔,所述容腔内设有第二电机，所述第二电机与所述电机壳焊接固定，所述旋转手臂位于所述电机壳的上方通过所述第二电机的第二转轴转动连接，所述旋转手臂的上表面转动手柄处固定设有伯努利吸盘，所述机架的后表面左端上方通过固定柱底端固定设有料盒，所述第三电机位于所述机架左侧面且与所述机架焊接固定，所述第二传送带和所述第一滚筒转动连接，所述竖板远离所述第三电机的一端被第一滚筒的前端所贯穿，所述竖板和所述第一滚筒转动连接，所述第一滚筒远离所述竖板的一端与所述机架的后端内侧固定连接。

优选的，所述Y方向拍板气缸与所述机架固定连接，所述Y方向拍板气缸的左侧夹板与所述Y方向拍板气缸的第一推杆连接，不与所述Y方向拍板气缸与机架固定的底板相接处。

优选的，所述Y方向拍板气缸上有一个刚好与所述第一传送带在竖直方向上拥有同一个高度的拍板撑柱，所述Y方向拍板气缸与所述拍板撑柱固定连接。

优选的，所述伯努利吸盘的数量为四个，四个所述伯努利吸盘均固定连接在所述旋转手臂的上表面手柄处。

优选的，所述第一滚筒、所述第二滚筒、所述皮带和所述竖板的数量均为两个，所述第二传送带和一个所述第一滚筒转动连接，一个所述竖板远离所述第三电机的一端被一个所述第一滚筒的前端所贯穿，一个所述竖板和一个所述第一滚筒转动连接，一个所述第一滚筒远离一个所述竖板的一端与所述机架的后端内侧固定连接，所述第一传送带和另一个所述第一滚筒转动连接，另一个所述竖板远离所述第一电机的一端被另一个所述第一滚筒的前端所贯穿，另一个所述竖板和另一个所述第一滚筒转动连接，另一个所述第一滚筒远离另一个所述竖板的一端与所述机架的后端内侧固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过给上料流道增加了Y方向的拍板气缸，当晶圆移动到Y方向拍板气缸的正上方时，Y拍板气缸将晶圆拍正，当晶圆移动到X方向气缸正上方时，X拍板气缸从晶圆下面升上来把晶圆拍打固定位置，有效的保证了每一片晶圆移动到伯努利吸盘下方，使得晶圆在XY两个方向都一致，确保了加工精度。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型中的Y方向拍板气缸结构示意图；

图3为本实用新型中的X方向拍板气缸结构示意图；

图4为本实用新型中的旋转手臂结构示意图；

图中：1、机架；2、第一电机；3、Y方向拍板气缸；4、拍板；5、第一传送带；6、X方向拍板气缸；7、旋转手臂；8、电机壳；9、料盒；10、第二传送带；11、第一滚筒；12、第三电机；13、第二滚筒；14、皮带；15、竖板；16、电机固定座；17、伯努利吸盘。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆定位流道装置，包括机架1，机架1的右侧面设有第一电机2，第一电机2和机架1焊接固定，Y方向拍板气缸3位于机架1的上表面左端处，且与机架1固定连接，拍板4通过Y方向拍板气缸3位于第一传送带5上方，拍板4与Y方向拍板气缸3挤压固定，第一电机2的第一转轴贯穿竖板15，竖板15与第一电机2固定连接，第一电机2的第一转轴转动连接第二滚筒13，第二滚筒13位于竖板15前表面，皮带14套设在第二滚筒13和第一滚筒11上，第二滚筒13与皮带14转动连接，第一滚筒11和皮带14转动连接，第一传送带5套设在第一滚筒11的外侧面且在Y方向拍板气缸3和X方向拍板气缸6的上方拍板4的下方，第一传送带5和第一滚筒11转动连接，竖板15远离第一电机2的一端被第一滚筒11的前端所贯穿，第一传送带5的左侧靠近机架1上表面设有X方向拍板气缸6，X方向拍板气缸6与机架1转动连接，电机固定座16位于机架1的上表面靠近X方向拍板气缸6远离Y方向拍板气缸3的一侧，电机固定座16与机架1焊接固定，电机固定座16的上表面设有电机壳8，电机壳8与电机固定座16焊接固定，电机壳8内部设有容腔,容腔内设有第二电机，第二电机与电机壳8焊接固定，旋转手臂7位于电机壳8的上方通过第二电机的第二转轴转动连接，旋转手臂7的上表面转动手柄处固定设有伯努利吸盘17，机架1的后表面左端上方通过固定柱底端固定设有料盒9，第三电机12位于机架1左侧面且与机架1焊接固定，第二传送带10和第一滚筒11转动连接，竖板15远离第三电机12的一端被第一滚筒11的前端所贯穿，竖板15和第一滚筒11转动连接，第一滚筒11远离竖板15的一端与机架1的后端内侧固定连接。

本实施方案中，当给晶圆定位流道装置连接外部电源时，第一电机带动皮带转动，皮带带动第一滚筒滚动，套设在第一滚筒滚筒上的第一传送带跟第一滚筒转动连接，进而使第一传送带上的晶圆发生位移，当晶圆移动到Y方向拍板气缸的正上方时，Y拍板气缸将晶圆拍正，当晶圆移动到X方向气缸正上方时，X拍板气缸从晶圆下面升上来把晶圆拍打固定位置，旋转手臂上的伯努利吸盘把晶圆吸住，然后第二个电机按逆时针方向转动旋转手臂，把晶圆转到加工区域，当加工完成时旋转手臂在按逆时针方向旋转，通过伯努利吸盘放到第二传送带上，发生位移，工作人员把加工好的晶圆收入料盒里即可。

进一步的，Y方向拍板气缸3与机架1固定连接，Y方向拍板气缸3的左侧夹板与Y方向拍板气缸3的第一推杆连接，不与Y方向拍板气缸3与机架1固定的底板相接处。

本实施例中，当晶圆移动到Y方向拍板气缸的正上方时，Y拍板气缸将晶圆拍正，当晶圆移动到X方向气缸正上方时，X拍板气缸从晶圆下面升上来把晶圆拍打固定位置，以此保证晶圆加工精度。

进一步的，Y方向拍板气缸3上有一个刚好与第一传送带5在竖直方向上拥有同一个高度的拍板撑柱，Y方向拍板气缸3与拍板撑柱固定连接。

本实施例中，当固定好Y方向拍板时，Y方向气缸的左边推动，上面的板块固定好时，拍板直接落到拍板柱上，方便在传送带上发生位移，进入下个阶段的位置拍板。

进一步的，伯努利吸盘17的数量为四个，四个伯努利吸盘17均固定连接在旋转手臂7的上表面手柄处。

本实施例中，使可以多次运输晶圆，对晶圆进行加工减少了多余的动作提高了工作效率。

进一步的，第一滚筒11、第二滚筒13、皮带14和竖板15的数量均为两个，第二传送带10和一个第一滚筒11转动连接，一个竖板15远离第三电机12的一端被一个第一滚筒11的前端所贯穿，一个竖板15和一个第一滚筒11转动连接，一个第一滚筒11远离一个竖板15的一端与机架1的后端内侧固定连接，第一传送带5和另一个第一滚筒11转动连接，另一个竖板15远离第一电机2的一端被另一个第一滚筒11的前端所贯穿，另一个竖板15和另一个第一滚筒11转动连接，另一个第一滚筒11远离另一个竖板15的一端与机架1的后端内侧固定连接。

本实施例中，为了使第一传送带与第二传送带一直转动运输晶圆，进而对晶圆加工，以及对加工好的晶圆就行收纳。

本实用新型的工作原理及使用流程：本实用新型安装好过后，当给晶圆定位流道装置连接外部电源时，第一电机带动皮带转动，皮带带动第一滚筒滚动，套设在第一滚筒滚筒上的第一传送带跟第一滚筒转动连接，进而使第一传送带上的晶圆发生位移，当晶圆移动到Y方向拍板气缸的正上方时，Y拍板气缸将晶圆拍正，当晶圆移动到X方向气缸正上方时，X拍板气缸从晶圆下面升上来把晶圆拍打固定位置，旋转手臂上的伯努利吸盘把晶圆吸住，然后第二个电机按逆时针方向转动旋转手臂，把晶圆转到加工区域，当加工完成时旋转手臂在按逆时针方向旋转，这样减少了多余的动作提高了工作效率，晶圆通过伯努利吸盘放到第二传送带上，发生位移，工作人员把加工好的晶圆收入料盒里，当加工完毕时，工作人员切断外部电源，将装置收放于工作台上即可。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种晶圆定位流道装置，包括机架（1），其特征在于：所述机架（1）的右侧面设有第一电机（2），所述第一电机（2）和所述机架（1）焊接固定，Y方向拍板气缸（3）位于所述机架（1）的上表面左端处，且与所述机架（1）固定连接，拍板（4）通过所述Y方向拍板气缸（3）位于第一传送带（5）上方，所述拍板（4）与所述Y方向拍板气缸（3）挤压固定，所述第一电机（2）的第一转轴贯穿竖板（15），所述竖板（15）与所述第一电机（2）固定连接，第一电机（2）的第一转轴转动连接第二滚筒（13），所述第二滚筒（13）位于所述竖板（15）前表面，皮带（14）套设在所述第二滚筒（13）和第一滚筒（11）上，所述第二滚筒（13）与所述皮带（14）转动连接，所述第一滚筒（11）和所述皮带（14）转动连接，第一传送带（5）套设在所述第一滚筒（11）的外侧面且在所述Y方向拍板气缸（3）和X方向拍板气缸（6）的上方所述拍板（4）的下方，所述第一传送带（5）和所述第一滚筒（11）转动连接，所述竖板（15）远离所述第一电机（2）的一端被第一滚筒（11）的前端所贯穿，所述第一传送带（5）的左侧靠近所述机架（1）上表面设有X方向拍板气缸（6），所述X方向拍板气缸（6）与所述机架（1）转动连接，电机固定座（16）位于所述机架（1）的上表面靠近所述X方向拍板气缸（6）远离所述Y方向拍板气缸（3）的一侧，所述电机固定座（16）与所述机架（1）焊接固定，所述电机固定座（16）的上表面设有电机壳（8），所述电机壳（8）与所述电机固定座（16）焊接固定，所述电机壳（8）内部设有容腔,所述容腔内设有第二电机，所述第二电机与所述电机壳（8）焊接固定，旋转手臂（7）位于所述电机壳（8）的上方通过所述第二电机的第二转轴转动连接，所述旋转手臂（7）的上表面转动手柄处固定设有伯努利吸盘（17），所述机架（1）的后表面左端上方通过固定柱底端固定设有料盒（9），第三电机（12）位于所述机架（1）左侧面且与所述机架（1）焊接固定，第二传送带（10）和所述第一滚筒（11）转动连接，所述竖板（15）远离所述第三电机（12）的一端被第一滚筒（11）的前端所贯穿，所述竖板（15）和所述第一滚筒（11）转动连接，所述第一滚筒（11）远离所述竖板（15）的一端与所述机架（1）的后端内侧固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆定位流道装置，其特征在于：所述Y方向拍板气缸（3）与所述机架（1）固定连接，所述Y方向拍板气缸（3）的左侧夹板与所述Y方向拍板气缸（3）的第一推杆连接，不与所述Y方向拍板气缸（3）与机架（1）固定的底板相接处。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆定位流道装置，其特征在于：所述Y方向拍板气缸（3）上有一个刚好与所述第一传送带（5）在竖直方向上拥有同一个高度的拍板撑柱，所述Y方向拍板气缸（3）与所述拍板撑柱固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆定位流道装置，其特征在于：所述伯努利吸盘（17）的数量为四个，四个所述伯努利吸盘（17）均固定连接在所述旋转手臂（7）的上表面手柄处。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆定位流道装置，其特征在于：所述第一滚筒（11）、所述第二滚筒（13）、所述皮带（14）和所述竖板（15）的数量均为两个，所述第二传送带（10）和一个所述第一滚筒（11）转动连接，一个所述竖板（15）远离所述第三电机（12）的一端被一个所述第一滚筒（11）的前端所贯穿，一个所述竖板（15）和一个所述第一滚筒（11）转动连接，一个所述第一滚筒（11）远离一个所述竖板（15）的一端与所述机架（1）的后端内侧固定连接，所述第一传送带（5）和另一个所述第一滚筒（11）转动连接，另一个所述竖板（15）远离所述第一电机（2）的一端被另一个所述第一滚筒（11）的前端所贯穿，另一个所述竖板（15）和另一个所述第一滚筒（11）转动连接，另一个所述第一滚筒（11）远离另一个所述竖板（15）的一端与所述机架（1）的后端内侧固定连接。