CN208604203U - 一种pvd涂层机 - Google Patents
一种pvd涂层机 Download PDFInfo
- Publication number
- CN208604203U CN208604203U CN201821240584.XU CN201821240584U CN208604203U CN 208604203 U CN208604203 U CN 208604203U CN 201821240584 U CN201821240584 U CN 201821240584U CN 208604203 U CN208604203 U CN 208604203U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- coating machine
- screw rod
- sample stage
- welded
- piston
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Abstract
本实用新型公开了一种PVD涂层机，包括涂层机外壳和样品台，样品台位于涂层机外壳内部上顶端，样品台呈“L”型，且样品台下底端与涂层机外壳焊接固定，利用设置的两组伺服电机控制两侧的螺杆的转动，将螺杆套在螺杆上的滑动推动活塞杆与活塞进行伸缩，使置物台实现在可调节涂层台的左右移动，以实现对于PVD涂层时的位置移动，达到对蒸镀过程的均匀控制。
Description
技术领域
本实用新型涉及PVD涂层设备技术领域，具体为一种PVD涂层机。
背景技术
PVD物理气相沉积：指利用物理过程实现物质转移，将原子或分子由源转移到基材表面上的过程。它的作用是可以使某些有特殊性能(强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等)的微粒喷涂在性能较低的母体上，使得母体具有更好的性能。PVD技术出现于，制备的薄膜具有高硬度、低摩擦系数、很好的耐磨性和化学稳定性等优点。最初在高速钢刀具领域的成功应用引起了世界各国制造业的高度重视，人们在开发高性能、高可靠性涂层设备的同时，也在硬质合金、陶瓷类刀具中进行了更加深入的涂层应用研究。
但是现有的PVD涂层机在涂层过程中往往会出现蒸镀物体无法均匀接受蒸镀，且对于蒸镀体翻转需要人工进行，效率低下，且人工翻转时难以保证真空的环境。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种PVD涂层机，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种PVD涂层机，包括涂层机外壳和样品台，所述样品台位于涂层机外壳内部上顶端，所述样品台呈“L”型，且所述样品台下底端与涂层机外壳焊接固定：所述涂层机外壳下底面横向设置有底板，所述底板与涂层机外壳焊接固定，所述底板一侧边位置处设置有真空管，所述涂层机外壳一侧外周面中心位置合页连接有启闭门，所述底板上表面中心位置处设置有蒸发加热器，所述蒸发加热器与底板固定连接，所述涂层机外壳内部设置有真空室，所述蒸发加热器正上方位置处设置有蒸发舟，所述蒸发舟固定于真空室内部，所述样品台下表面两侧设置有中空连杆，所述中空连杆上顶端位置处设置有紧固螺栓，所述中空连杆通过紧固螺栓与样品台螺钉连接，所述中空连杆中心位置处设置有伺服电机，所述伺服电机与中空连杆固定连接，所述伺服电机外顶端中心位置处设置有转轴，所述转轴与伺服电机外顶端固定连接，所述两侧的转轴间设置有置物板，所述置物板两侧顶端位置处设置有可调节涂层台，所述可调节涂层台内部中心设置有活塞腔室，所述活塞腔室共有两组，所述活塞腔室内壁滑动连接有活塞，所述活塞外端面中心焊接固定有活塞杆，所述活塞杆外顶端焊接固定有螺杆套，所述螺杆套内部设置有螺杆，所述螺杆外端面与螺杆套啮合，所述螺杆外顶端与转轴焊接固定，所述置物板外周面焊接固定有置物台。
优选的，所述中空连杆共有两组，所述伺服电机共有两组，且所述两组伺服电机处于同一轴线。
优选的，所述蒸发舟与蒸发加热器垂直位置处于同一轴线，所述蒸发舟上表面放置蒸镀物质。
优选的，所述真空管嵌于底板内部，所述真空管外端面外接真空泵。
优选的，所述螺杆共有两组，所述每组螺杆外顶端均与转轴焊接固定，所述螺杆外轴径与螺杆套内轴径相匹配。
优选的，所述所述伺服电机上下两侧端固定连接有弹簧，所述弹簧位于中空连杆中空位。
优选的，所述置物台外周面两侧边位置处焊接固定有固定柱，所述置物台两侧设置有置物槽。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1.利用设置的两组伺服电机控制两侧的螺杆的转动，将螺杆套在螺杆上的滑动推动活塞杆与活塞进行伸缩，使置物台实现在可调节涂层台的左右移动，以实现对于PVD涂层时的位置移动，达到对蒸镀过程的均匀控制。
2.利用设置的两侧的伺服电机的转动控制转轴进行转动，以实现置物台进行转动，将置物台上的待蒸镀物均匀转动进行蒸镀，减除人力翻转，提高工作效率；
3.利用设置的弹簧的伸缩实现对于伺服电机工作时进行减震处理，保证PVD涂层机内部的稳定。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型可调节涂层装置的结构示意图；
图3为本实用新型可调节涂层台的结构示意图。
图中：涂层机外壳1、可调节涂层装置2、真空室3、蒸发舟4、底板5、蒸发加热器6、真空管7、启闭门8、样品台9、紧固螺栓10、中空连杆11、弹簧12、伺服电机13、转轴14、可调节涂层台15、置物板16、螺杆17、螺杆套18、活塞杆19、活塞20、活塞腔室21、置物台22、置物槽23、固定柱24。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种PVD涂层机，包括涂层机外壳1和样品台9，样品台9位于涂层机外壳1内部上顶端，样品台9呈“L”型，且样品台9下底端与涂层机外壳1焊接固定涂层机外壳1下底面横向设置有底板5，底板5与涂层机外壳1焊接固定，底板5一侧边位置处设置有真空管7，涂层机外壳1一侧外周面中心位置合页连接有启闭门8，底板5上表面中心位置处设置有蒸发加热器6，蒸发加热器6与底板5固定连接，涂层机外壳1内部设置有真空室3，蒸发加热器6正上方位置处设置有蒸发舟4，蒸发舟4固定于真空室3内部，样品台9下表面两侧设置有中空连杆11，中空连杆11上顶端位置处设置有紧固螺栓10，中空连杆11通过紧固螺栓10与样品台9螺钉连接，中空连杆11中心位置处设置有伺服电机13，伺服电机13与中空连杆11固定连接，伺服电机13外顶端中心位置处设置有转轴14，转轴14与伺服电机13外顶端固定连接，两侧的转轴14间设置有置物板16，置物板16两侧顶端位置处设置有可调节涂层台15，可调节涂层台15内部中心设置有活塞腔室21，活塞腔室21共有两组，活塞腔室21内壁滑动连接有活塞20，活塞20外端面中心焊接固定有活塞杆19，活塞杆19外顶端焊接固定有螺杆套18，螺杆套18内部设置有螺杆17，螺杆17外端面与螺杆套18啮合，螺杆17外顶端与转轴14焊接固定，置物板16外周面焊接固定有置物台22；
中空连杆11共有两组，伺服电机13共有两组，且两组伺服电机13处于同一轴线；
蒸发舟4与蒸发加热器6垂直位置处于同一轴线，蒸发舟4上表面放置蒸镀物质；
真空管7嵌于底板5内部，真空管7外端面外接真空泵；
螺杆17共有两组，每组螺杆17外顶端均与转轴14焊接固定，螺杆17外轴径与螺杆套18内轴径相匹配；
伺服电机13上下两侧端固定连接有弹簧12，弹簧12位于中空连杆11中空位；
置物台22外周面两侧边位置处焊接固定有固定柱24，置物台22两侧设置有置物槽23；
工作原理：实际操作时，将真空管7外端接通外部的真空泵，并通过启闭门8将待蒸镀物质放置于蒸发舟4上表面，将样品放置于置物槽23中，并通过固定柱24进行固定，PVD涂层机进行工作，真空泵排出真空室3内部空气，蒸发加热器6加热蒸镀物质实现气象沉积，在蒸镀过程中，两侧的伺服电机13一组进行转动，伺服电机13的转动联动转轴14带动螺杆17转动，由于螺杆17转动，使螺杆17外表面啮合的螺杆套18进行左右滑动，以带动活塞杆19与活塞20在活塞腔室21内部进行滑动，实现置物台22向右移动，同理，右侧的伺服电机13转动实现置物台22向左移动，两组伺服电机13间接配合，实现了置物台22的左右移动，同时两侧的伺服电机13的转动控制转轴14进行转动，以实现置物台22进行转动，将置物台22上的待蒸镀物均匀转动进行蒸镀，减除人力翻转，提高工作效率。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (7)
1.一种PVD涂层机，包括涂层机外壳(1)和样品台(9)，所述样品台(9)位于涂层机外壳(1)内部上顶端，所述样品台(9)呈“L”型，且所述样品台(9)下底端与涂层机外壳(1)焊接固定，其特征在于：所述涂层机外壳(1)下底面横向设置有底板(5)，所述底板(5)与涂层机外壳(1)焊接固定，所述底板(5)一侧边位置处设置有真空管(7)，所述涂层机外壳(1)一侧外周面中心位置合页连接有启闭门(8)，所述底板(5)上表面中心位置处设置有蒸发加热器(6)，所述蒸发加热器(6)与底板(5)固定连接，所述涂层机外壳(1)内部设置有真空室(3)，所述蒸发加热器(6)正上方位置处设置有蒸发舟(4)，所述蒸发舟(4)固定于真空室(3)内部，所述样品台(9)下表面两侧设置有中空连杆(11)，所述中空连杆(11)上顶端位置处设置有紧固螺栓(10)，所述中空连杆(11)通过紧固螺栓(10)与样品台(9)螺钉连接，所述中空连杆(11)中心位置处设置有伺服电机(13)，所述伺服电机(13)与中空连杆(11)固定连接，所述伺服电机(13)外顶端中心位置处设置有转轴(14)，所述转轴(14)与伺服电机(13)外顶端固定连接，所述两侧的转轴(14)间设置有置物板(16)，所述置物板(16)两侧顶端位置处设置有可调节涂层台(15)，所述可调节涂层台(15)内部中心设置有活塞腔室(21)，所述活塞腔室(21)共有两组，所述活塞腔室(21)内壁滑动连接有活塞(20)，所述活塞(20)外端面中心焊接固定有活塞杆(19)，所述活塞杆(19)外顶端焊接固定有螺杆套(18)，所述螺杆套(18)内部设置有螺杆(17)，所述螺杆(17)外端面与螺杆套(18)啮合，所述螺杆(17)外顶端与转轴(14)焊接固定，所述置物板(16)外周面焊接固定有置物台(22)。
2.根据权利要求1所述的一种PVD涂层机，其特征在于：所述中空连杆(11)共有两组，所述伺服电机(13)共有两组，且所述两组伺服电机(13)处于同一轴线。
3.根据权利要求1所述的一种PVD涂层机，其特征在于：所述蒸发舟(4)与蒸发加热器(6)垂直位置处于同一轴线，所述蒸发舟(4)上表面放置蒸镀物质。
4.根据权利要求1所述的一种PVD涂层机，其特征在于：所述真空管(7)嵌于底板(5)内部，所述真空管(7)外端面外接真空泵。
5.根据权利要求1所述的一种PVD涂层机，其特征在于：所述螺杆(17)共有两组，所述每组螺杆(17)外顶端均与转轴(14)焊接固定，所述螺杆(17)外轴径与螺杆套(18)内轴径相匹配。
6.根据权利要求1所述的一种PVD涂层机，其特征在于：所述伺服电机(13)上下两侧端固定连接有弹簧(12)，所述弹簧(12)位于中空连杆(11)中空位。
7.根据权利要求1所述的一种PVD涂层机，其特征在于：所述置物台(22)外周面两侧边位置处焊接固定有固定柱(24)，所述置物台(22)两侧设置有置物槽(23)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201821240584.XU CN208604203U (zh) | 2018-08-02 | 2018-08-02 | 一种pvd涂层机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201821240584.XU CN208604203U (zh) | 2018-08-02 | 2018-08-02 | 一种pvd涂层机 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN208604203U true CN208604203U (zh) | 2019-03-15 |
Family
ID=65670400
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201821240584.XU Active CN208604203U (zh) | 2018-08-02 | 2018-08-02 | 一种pvd涂层机 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN208604203U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111678904A (zh) * | 2020-06-11 | 2020-09-18 | 福建医科大学附属第一医院 | 一种脑胶质瘤边界确定装置 |
| CN114107938A (zh) * | 2021-10-21 | 2022-03-01 | 杭州大和热磁电子有限公司 | 一种真空镀膜机内部固定柱的连接结构及方法 |
-
2018
- 2018-08-02 CN CN201821240584.XU patent/CN208604203U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111678904A (zh) * | 2020-06-11 | 2020-09-18 | 福建医科大学附属第一医院 | 一种脑胶质瘤边界确定装置 |
| CN114107938A (zh) * | 2021-10-21 | 2022-03-01 | 杭州大和热磁电子有限公司 | 一种真空镀膜机内部固定柱的连接结构及方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN208604203U (zh) | 一种pvd涂层机 | |
| CN201446097U (zh) | 转盘式清洗处理系统 | |
| CN111934504B (zh) | 一种电机转子浸漆装置及其使用方法 | |
| CN108745770A (zh) | 一种自带烘干的达克罗浸涂机 | |
| CN113579978A (zh) | 一种精密轴承内圈抛光装置及其抛光方法 | |
| CN205346320U (zh) | 一种成品玻璃吸装装置 | |
| CN209974882U (zh) | 一种真空镀膜加热装置 | |
| CN213078303U (zh) | 一种带加热装置的泌尿外科用样本震荡装置 | |
| CN113416928B (zh) | 一种金属化膜生产用镀膜装置 | |
| CN209602631U (zh) | 提高下料速度的溅射镀膜设备 | |
| CN111621767A (zh) | 一种手机摄像头镜片镀ar膜装置及其镀膜方法 | |
| CN210434742U (zh) | 一种节能高效的涂布机 | |
| CN210190113U (zh) | 一种自动施釉装置 | |
| CN211199382U (zh) | 一种可调节截齿固定架尺寸的离子镀膜机 | |
| CN209816260U (zh) | 一种镀膜装置 | |
| CN219603672U (zh) | 一种真空镀膜设备的工件受热机构 | |
| CN112111772A (zh) | 铝合金阳极氧化膜的封闭方法 | |
| CN211848124U (zh) | 一种具有旋转结构的真空镀膜机 | |
| CN217839103U (zh) | 一种镀膜机 | |
| CN220678399U (zh) | 一种定位旋转涂胶装置 | |
| CN220861877U (zh) | 电子浆料涂敷器 | |
| CN220781596U (zh) | 一种铝合金铸件的全方位清洗装置 | |
| CN217569490U (zh) | 一种用于金属制品涂层的工作台装置 | |
| CN218187909U (zh) | 一种基于MOFs多孔材料的蒸发设备 | |
| CN215149092U (zh) | 一种便于自动上下料的智能机器人 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |