CN219603672U - 一种真空镀膜设备的工件受热机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，公开了一种真空镀膜设备的工件受热机构，包括真空镀膜箱，真空镀膜箱的内腔顶部固定连接有支杆，支杆的四面上均设置有若干电加热管，真空镀膜箱的底部设置有转盘，转盘的中心固定连接有转轴，转轴转动连接在真空镀膜箱的内腔底部，真空镀膜箱的箱底固定连接有驱动电机，驱动电机与转轴连接，转盘上转动连接有若干竖杆，竖杆上固定连接有若干工件托架，真空镀膜箱的内腔顶部固定连接有环形安装板，环形安装板的外部一圈固定连接有环形齿条，竖杆的上部固定连接有齿轮，齿轮与环形齿条啮合，此结构竖杆做环形运动时还可自转，从而将工件外侧转入到内侧加工，加热效果更加均匀，工件受热效果更好。

Description

一种真空镀膜设备的工件受热机构

技术领域

本实用新型属于真空镀膜设备技术领域，具体为一种真空镀膜设备的工件受热机构。

背景技术

真空镀膜是指在真空环境下，将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面，属于物理气相沉积工艺。因为镀层常为金属薄膜，故也称真空金属化。广义的真空镀膜还包括在金属或非金属材料表面真空蒸镀聚合物等非金属功能性薄膜。

现有工件在放入到真空镀膜箱中时，为了保证工件的受热均匀，一般会采用旋转结构来带动工件运动加热，如公告号CN217052365U公布的一种工件均匀受热的真空镀膜设备，上述设备在使用时工件放置在支撑架体上，然后转动装置带动工件做环形转动加热，但上述设备在加热时，工件远离加热源的背面与工件靠近热源的一面受热还是存在不均匀的情况，为了解决上述提出的问题，进一步提高工件受热均匀性，提出一种真空镀膜设备的工件受热机构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：为了解决上述提出的问题，提供一种真空镀膜设备的工件受热机构。

本实用新型采用的技术方案如下：一种真空镀膜设备的工件受热机构，包括真空镀膜箱，所述真空镀膜箱的内腔顶部固定连接有支杆，所述支杆的四面上均设置有若干电加热管，所述真空镀膜箱的底部设置有转盘，所述转盘的中心固定连接有转轴，所述转轴转动连接在所述真空镀膜箱的内腔底部，所述真空镀膜箱的箱底固定连接有驱动电机，所述驱动电机通过动力输出轴与所述转轴连接，所述转盘上转动连接有若干竖杆，所述竖杆上固定连接有若干工件托架；

所述真空镀膜箱的内腔顶部固定连接有环形安装板，所述环形安装板的外部一圈固定连接有环形齿条，所述竖杆的上部固定连接有齿轮，所述齿轮与所述环形齿条啮合。

在一优选的实施方式中，所述真空镀膜箱的底部四个端角处安装有支腿。

在一优选的实施方式中，所述真空镀膜箱的前侧壁铰连接有箱门。

在一优选的实施方式中，所述箱门上设置有观察窗。

在一优选的实施方式中，所述电加热管从上到下等间距设置在所述支杆的四面上。

在一优选的实施方式中，所述竖杆以所述支杆为中心呈环形阵列分布在所述转盘上。

在一优选的实施方式中，所述工件托架从上到下等间距设置在所述竖杆上。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中，此结构竖杆做环形运动时，此时齿轮做环形运行，然后配合环形安装板的环形齿条可带动齿轮转动，进而使竖杆可自转，从而加热时，使工件的外侧也能转入到内侧加热，相较于现有技术中，这样加热会更加均匀，工件受热效果更好。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意简图；

图2为本实用新型中真空镀膜箱内部结构示意简图；

图3为本实用新型中加热管结构的立体示意简图；

图4为本实用新型中竖杆自转结构的立体示意简图。

图中标记：1-真空镀膜箱、2-支杆、3-电加热管、4-转盘、5-转轴、6-驱动电机、7-竖杆、8-工件托架、9-环形安装板、10-环形齿条、11-齿轮、12-支腿、13-箱门、14-观察窗。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

下面将结合图1-图4对本实用新型实施例的一种真空镀膜设备的工件受热机构进行详细的说明。

实施例：

本实用新型实施例提供的一种真空镀膜设备的工件受热机构，参考图1-图3所示，包括真空镀膜箱1，真空镀膜箱1的内腔顶部固定连接有支杆2，支杆2的四面上均设置有若干电加热管3，真空镀膜箱1的底部设置有转盘4，转盘4的中心固定连接有转轴5，转轴5转动连接在真空镀膜箱1的内腔底部，真空镀膜箱1的箱底固定连接有驱动电机6，驱动电机6通过动力输出轴与转轴5连接，转盘4上转动连接有若干竖杆7，竖杆7上固定连接有若干工件托架8,此结构将工件放置在工件托架8上，通过支杆2上的电加热管3提供热量，然后启动驱动电机6带动转轴5转动，转轴5带动转盘4转动，进而带动竖杆7做环形转动，进而实现对工件转动受热。

参考图2和图4所示，真空镀膜箱1的内腔顶部固定连接有环形安装板9，环形安装板9的外部一圈固定连接有环形齿条10，竖杆7的上部固定连接有齿轮11，齿轮11与环形齿条10啮合，此结构利用当竖杆7做环形运动时，此时齿轮11做环形运行，然后配合环形安装板9的环形齿条10可带动齿轮11转动，进而使竖杆7可自转，从而加热时，使工件的外侧也能转入到内侧加热，这样加热会更加均匀，工件受热效果更好。

参考图1所示，真空镀膜箱1的底部四个端角处安装有支腿12，此结构利用支腿12支撑真空镀膜箱1。

参考图1所示，真空镀膜箱1的前侧壁铰连接有箱门13，此结构利用箱门13封住真空镀膜箱1的进料口，从而使真空镀膜箱1形成密封工作环境，且后期取料时，只需打开箱门13便可进行取料。

参考图1所示，箱门13上设置有观察窗14，此结构利用观察窗14方便人员观察内部工件的受热情况。

参考图3所示，电加热管3从上到下等间距设置在支杆2的四面上，此结构电加热管3从上到下均匀布置，从而保证真空镀膜箱1从上到下的空间热量均匀。

参考图4所示，竖杆7以支杆2为中心呈环形阵列分布在转盘4上，这样使的工件托架8绕电加热管3布置，从而使四周工件托架8上工件距离热源距离相同，从而保证受热不会由于距离而影响。

参考图4所示，工件托架8从上到下等间距设置在竖杆7上，从而上到下立体式设置工件托架8一次可对多个工件进行受热，加工效率高。

本申请实施例的一种真空镀膜设备的工件受热机构的实施原理为：使用时，操作人员打开箱门13，然后将工件依次摆在竖杆7的工件托架8上，然后关闭箱门13，然后启动支杆2上的电加热管3，利用电加热管3提供热量，然后工件在受热时，启动驱动电机6带动转轴5转动，转轴5带动转盘4转动，进而带动竖杆7做环形转动，进而使工件转动受热，且当竖杆7做环形运动时，此时齿轮11做环形运行，然后配合环形安装板9的环形齿条10可带动齿轮11转动，进而使竖杆7可自转，从而加热时，使工件的外侧也能转入到内侧加热，这样加热会更加均匀，工件受热效果更好。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (7)

1.一种真空镀膜设备的工件受热机构，包括真空镀膜箱(1)，其特征在于：所述真空镀膜箱(1)的内腔顶部固定连接有支杆(2)，所述支杆(2)的四面上均设置有若干电加热管(3)，所述真空镀膜箱(1)的底部设置有转盘(4)，所述转盘(4)的中心固定连接有转轴(5)，所述转轴(5)转动连接在所述真空镀膜箱(1)的内腔底部，所述真空镀膜箱(1)的箱底固定连接有驱动电机(6)，所述驱动电机(6)通过动力输出轴与所述转轴(5)连接，所述转盘(4)上转动连接有若干竖杆(7)，所述竖杆(7)上固定连接有若干工件托架(8)；

所述真空镀膜箱(1)的内腔顶部固定连接有环形安装板(9)，所述环形安装板(9)的外部一圈固定连接有环形齿条(10)，所述竖杆(7)的上部固定连接有齿轮(11)，所述齿轮(11)与所述环形齿条(10)啮合。

2.如权利要求1所述的一种真空镀膜设备的工件受热机构，其特征在于：所述真空镀膜箱(1)的底部四个端角处安装有支腿(12)。

3.如权利要求1所述的一种真空镀膜设备的工件受热机构，其特征在于：所述真空镀膜箱(1)的前侧壁铰连接有箱门(13)。

4.如权利要求3所述的一种真空镀膜设备的工件受热机构，其特征在于：所述箱门(13)上设置有观察窗(14)。

5.如权利要求1所述的一种真空镀膜设备的工件受热机构，其特征在于：所述电加热管(3)从上到下等间距设置在所述支杆(2)的四面上。

6.如权利要求1所述的一种真空镀膜设备的工件受热机构，其特征在于：所述竖杆(7)以所述支杆(2)为中心呈环形阵列分布在所述转盘(4)上。

7.如权利要求1所述的一种真空镀膜设备的工件受热机构，其特征在于：所述工件托架(8)从上到下等间距设置在所述竖杆(7)上。