CN208589423U - 晶圆盒 - Google Patents

Abstract

一种晶圆盒，包含盒体及门体。盒体具有底座、两个彼此间隔相对的侧壁、连接底座和两侧壁后端的后壁，及连接两侧壁和后壁顶端并与底座间隔相对的顶壁，底座、两侧壁、后壁及顶壁共同界定容置空间，且底座、两侧壁及顶壁共同形成门框并界定与容置空间连通的开口。门框具有前端面。盒体还具有由前端面的下缘往前凸伸的支撑凸缘。门体可拆离地与盒体组合以封闭开口，且具有相连接的内门板及外门板，外门板的四周较内门板凸出而形成与前端面密合地相接的内接面，且当门体与盒体组合时，外门板的底缘抵靠于支撑凸缘。

Description

晶圆盒

技术领域

本实用新型涉及一种容器，特别是涉及一种用于放置晶圆或晶圆框架的晶圆盒。

背景技术

晶圆是半导体制程中主要的基材，由于晶圆易碎且要避免污染。特别是已经完成曝光、显影、蚀刻…等制程后以胶膜固定在晶圆框架上等待进行切割的晶圆，一旦受到损伤或污染，所造成的损失更是令人咋舌。因此，在运送晶圆/晶圆框架的过程中需要使用经过特别设计的密封容器来保护。

现有用于装载晶圆或晶圆框架的晶圆盒通常包含一盒体及一门以共同形成一封闭空间。在将门开启时，是将门自盒体拆离，使门与盒体完全分开，再将门完全移离盒体的开口前方以对盒体中所容置的晶圆或晶圆框架进行取放。由于将门开启后，门与盒体完全分离并被完全移开，而现有的晶圆盒通常没有使门与盒体对位的结构，使得作业人员在以手动操作组合门与盒体时较不容易对位，除了会影响作业时间外，也会增加意外事故发生的机率及风险。

发明内容

本实用新型的其中一目的在于提供一种门与盒体进行组合时可以容易对位的晶圆盒。

本实用新型晶圆盒在一些实施态样中，用以容置至少一晶圆或晶圆框架，且包含盒体及门体。该盒体具有底座、两个分别由该底座的左右两侧向上延伸且彼此间隔相对的侧壁、连接该底座和该两侧壁后端的后壁，及连接该两侧壁和该后壁顶端并与该底座间隔相对的顶壁，该底座、该两侧壁、该后壁及该顶壁共同界定容置空间，且该底座、该两侧壁及该顶壁共同形成门框并界定与该容置空间连通的开口，该门框具有前端面，该盒体还具有由该前端面的下缘往前凸伸的支撑凸缘。该门体可拆离地与该盒体组合以封闭该开口，且具有相连接的内门板及外门板。该外门板的四周较该内门板凸出而形成在该门体与该盒体组合时与该前端面密合地相接的内接面，且当该门体与该盒体组合时，该外门板的底缘抵靠于该支撑凸缘。

在一些实施态样中，该盒体还具有由该前端面的上缘往前凸伸的限位凸缘，且当该门体与该盒体组合时，该外门板嵌合于该支撑凸缘与该限位凸缘之间。

在一些实施态样中，该后壁具有后侧透光部，该顶壁具有与该后侧透光部相连的顶侧透光部。

在一些实施态样中，该底座顶端具有平行于该顶壁延伸的内底面，且该底座形成有至少一贯穿该内底面并与该容置空间相连通且邻近该后壁的进气孔，该晶圆盒还包含至少一设置于该容置空间内并且结合于该底座及该后壁的导流件，该导流件与该内底面及该后壁共同界定出与该进气孔相连通的气体流道，该导流件形成有多个沿着上下方向彼此相间隔排列的出气口，所述出气口连通该气体流道与该容置空间。

在一些实施态样中，该底座具有多个凸出于底侧以适用于共同靠抵于承载面的支撑部。

在一些实施态样中，各该侧壁形成多个沿上下方向间隔排列且各自沿前后方向延伸的支撑肋，以在该两侧壁对应的每两该支撑肋上方形成与该容置空间相连通的容置槽。

在一些实施态样中，该顶壁或至少一该侧壁顶端邻近该开口处还形成至少一个朝向该容置空间突出的防呆挡部，以将最上方的该容置槽上方的该开口处封闭，或使任一该侧壁与该防呆挡部边缘的距离小于该晶圆盒内所欲容置的该至少一晶圆或晶圆框架的外径。

在一些实施态样中，该底座或至少一该侧壁底端邻近该开口处还形成至少一个朝向该容置空间突出的防呆挡部，以将最下方的该容置槽下方的该开口处封闭，或使任一该侧壁与该防呆挡部边缘的距离小于该晶圆盒内所欲容置的该至少一晶圆或晶圆框架的外径。

在一些实施态样中，该盒体系一体成型的结构。

在一些实施态样中，该盒体还具有多个连接于该顶壁的外侧面的提取部。

在一些实施态样中，所述提取部为一体成型地与该顶壁连接。

在一些实施态样中，所述提取部可拆地与该顶壁连接。

在一些实施态样中，该晶圆盒还包含连接于该盒体的顶壁的外侧面的机器提把及多个连接于该盒体的底座的外侧面的动态定位销，该机器提把的中心点、该晶圆盒中所欲容置的晶圆或晶圆框架的圆心与所述动态定位销分布位置的中心点在上下方向相对齐。

在一些实施态样中，该晶圆盒还包含至少一布设于该底座的配重件，且该晶圆盒于容置该至少一晶圆或晶圆框架后的整体的重心位于该机器提把的中心点与所述动态定位销分布位置的中心点的连线上。

在一些实施态样中，该至少一配重件系可拆卸地设于该底座。

本实用新型具有以下功效：藉由位于该盒体的门框的前端面下缘的支撑凸缘，能够在组合该门体时供该门体抵靠以辅助对位，方便组合门体的作业。此外，该盒体一体成型的结构，可以减轻重量并增加结构强度。进一步地，藉由配重件调整重心位置，能在机器手臂提取晶圆盒时避免晶圆盒摇晃。

附图说明

本实用新型的其他的特征及功效，将于参照图式的实施方式中清楚地呈现，其中：

图1是本实用新型晶圆盒的一实施例的一立体图；

图2是该实施例的一立体分解图；

图3是该实施例的一门体拆离的状态的一立体图；

图4是图3的局部区域放大图；

图5是该门体的一立体图；

图6是类似图3的另一角度视图；

图7是该实施例的一不完整的剖视示意图；

图8是类似图3的另一角度视图；

图9是该实施例的一立体图；及

图10是类似图3的另一角度视图。

具体实施方式

参阅图1至图4，本实用新型晶圆盒的一实施例，包含一盒体1、一门体2、一机器提把3及多个动态定位销4。

该盒体1具有一底座11、两个分别由该底座11的左右两侧向上延伸且彼此间隔相对的侧壁12、一连接该底座11和该两侧壁12后端的后壁13，及一连接该两侧壁12和该后壁13顶端并与该底座11间隔相对的顶壁14。

该底座11、该两侧壁12、该后壁13及该顶壁14共同界定一容置空间15，且该底座11、该两侧壁12及该顶壁14共同形成一门框16并界定一与该容置空间15连通的开口161。该门框16具有一前端面162，该盒体1还具有一由该前端面162的下缘往前凸伸的支撑凸缘17，及一由该前端面162的上缘往前凸伸的限位凸缘18。

另配合参阅图5，该门体2可拆离地与该盒体1组合以封闭该开口161，且具有相连接的一内门板21及一外门板22。该外门板22的四周较该内门板21凸出而形成一在该门体2与该盒体1组合时能与该前端面162密合地相接的内接面221。

在本实施例中，该门体2还包括两个设置在该外门板22与该内门板21之间的闩锁机构23，该门框16内侧的上、下两面分别设有两个卡槽163以供所述闩锁机构23卡置。该外门板22上还设有两个锁孔222以各自供一钥匙(未图示)插入转动对应的该闩锁机构23，藉由所述闩锁机构23控制将该门体2与该盒体1锁固及释锁。

此外，在本实施例中，该外门板22上还设有两个定位孔223，以分别供制程机台用来吸取该门体2以进行开关门动作的两个吸盘(未图示)对位。

当操作人员欲采取人工作业的方式将该门体2与该盒体1组合在一起时，可以使该外门板22的底缘抵靠于该支撑凸缘17，以由该支撑凸缘17辅助将该门体2进行对位，使向着该容置空间15凸出的该内门板21与该开口161对准。

然后操作人员就可以很简单而正确地将该内门板21的部分伸入该开口161内，并使该外门板22嵌合于该支撑凸缘17与该限位凸缘18之间以将该盒体1的该开口161封闭。因为有该支撑凸缘17的支撑，所以除了可使组合过程简单而正确之外，还可避免该门体2在组合过程中掉落。

而当该门体2与该盒体1组合在一起后，藉由该外门板22的内接面221与该门框16的前端面162密合地相接，而能将该容置空间15密封。如此可以省去若使用弹性密封件所需额外增加容置及固定弹性密封件的结构，而能简化晶圆盒的结构，并缩小晶圆盒的纵向尺寸及占用空间。

参阅图5与图6，各该侧壁12形成多个沿一上下方向D1间隔排列且各自沿一前后方向D2延伸的支撑肋121，以在该两侧壁12对应的每两个该支撑肋121的上方形成一与该容置空间15相连通的容置槽123。

每一容置槽123可容置一片晶圆或晶圆框架(未图示)，而该容置槽123两端下方的该两支撑肋121则共同支撑该容置槽123内所容置的该晶圆或晶圆框架。由于所述支撑肋121与侧壁12为一体成型，不仅可省去组装步骤，且能省去了结合、固定机构，因此能减轻晶圆盒整体的重量，同时也能提升结构强度。

该内门板21形成有多个沿该上下方向D1间隔排列的固定肋211，每两相邻的固定肋211共同夹持固定一片晶圆或晶圆框架的前侧缘，以避免晶圆或晶圆框架在传送的过程中因跳动或滑动而造成损伤。

该顶壁14或至少一该侧壁12顶端邻近该开口161处还形成至少一个朝向该容置空间15突出的防呆挡部122，以将最上方的该容置槽123上方的该开口161处封闭，或使任一该侧壁12与该防呆挡部122边缘的距离小于该晶圆盒内所欲容置的该至少一晶圆或晶圆框架的外径。藉此可以避免在进行人工作业时操作人员误将晶圆或晶圆框架置入所述容置槽123上方的区域。

同理，该底座11或一该侧壁12底端邻近该开口161处也形成有至少一个朝向该容置空间15突出的防呆挡部122。藉此避免操作人员误将晶圆或晶圆框架置入最下方的该容置槽123下方的区域。

参阅图6至图8，该底座11顶端具有一平行于该顶壁14延伸的内底面114，且该底座11形成有至少一贯穿该内底面114并与该容置空间15相连通且邻近该后壁13的进气孔111。在本实施例有两个进气孔111，用以供一进气装置(未图示)对该容置空间15内充气。

该晶圆盒还包含至少一设置于该容置空间15内并且结合于该底座11及该后壁13的导流件5。在本实施例中，共设置两个导流件5，各该导流件5与该内底面114及该后壁13共同界定出一与该进气孔111相连通的气体流道51，各该导流件5形成有多个沿着该上下方向D1彼此相间隔排列的出气口52，所述出气口52连通该气体流道51与该容置空间15。

进气装置所供应的气体可经由进气孔111向上流通至气体流道51内，然后再由下而上地依序经由各出气口52形成多道沿着上下方向D1均匀分布的气流F流入容置空间15中，以均匀地对容置空间15内所容置的晶圆表面进行清洗。藉此，能提升清洗晶圆的效果。在本实施例中，该底座11还形成有两个用以泄压的出气孔112。

参阅图8至图10，该盒体1还具有两个连接于该顶壁14外侧面的提取部19，在本实施例中，有两个提取部19彼此相间隔地与该顶壁14连接，用以供操作者可以双手施力握持及提取。

再者，在本实施例中，所述提取部19与该顶壁14一体成型地连接，不仅可以省去组装的工序，且能具有较佳的结构强度。在变化的实施例，所述提取部19也能可拆地与该顶壁14连接，也就是说，可以采用组装的方式设置于顶壁14上，甚至可以能收折等的方式可活动地组装于顶壁14上。

该机器提把3连接于该盒体1的顶壁14的外侧面，用以供自动化设备所使用的机械手臂抓取。所述动态定位销4连接于该盒体1的底座11的外侧面，用以使该晶圆盒能被定位在一制程机台(未图示)上，而使一机器手臂能够正确对位、取放容置在该晶圆盒内的晶圆。

在本实施例中，盒体1共设有三个动态定位销4以符合「国际半导体设备与材料产业协会」(Semiconductor Equipment and Materials International，SEMI)的规范，而且在本实施中，所述动态定位销4是独立成型后再组装于该底座11。但在变化的实施例，动态定位销4也可以采用一体成型的方式与该底座11连接。

在本实施例中，该机器提把3的中心点C1、该晶圆盒中所欲容置的晶圆或晶圆框架的圆心(未图示)与所述动态定位销4分布位置的中心点C2在该上下方向D1相对齐。另外本实施例还包含多个布设于该底座11的配重件6，藉以使该晶圆盒于容置该至少一晶圆或晶圆框架后的整体的重心位于该机器提把3的中心点C1与所述动态定位销4分布位置的中心点C2的连线上。

这样的配置可在机械手臂抓取机器提把3以移动晶圆盒时，较能使该晶圆盒保持水平以避免倾斜或晃动。在本实施例中，所述配重件6是设置在底座11后端的左右两侧，但是在变化的实施例，配重件6也可以设置在底座11前后纵长的中段或前段，也就是说，配重件6可视需求地布设在底座11的任意位置，只要能使晶圆盒维持平衡即可，不以本实施例为限。

参阅图9，该后壁13具有一后侧透光部131，该顶壁14具有一与该后侧透光部131相连的顶侧透光部141，且该后侧透光部131与该顶侧透光部141共同形成一能透光的视窗，以供操作者检视盒体1内部的状况。在本实施例中，该后侧透光部131及该顶侧透光部141与该后壁13及该顶壁14一体连接，也就是说为一体成型的结构，同样可以提高整体的结构强度。

参阅图8与图10，该底座11具有多个凸出于底侧以适用于共同靠抵于一承载面(未图示)的支撑部113。由于晶圆盒的整体高度有规格的要求，藉由所述支撑部113可以符合规格高度的要求，且使得底座11的部分区域呈镂空状以减轻重量，也可藉由所述支撑部113搭配配重件6来调整重心位置。

综上所述，藉由位于该盒体1的门框16的前端面162下缘的支撑凸缘17，能够在组合该门体2时供该门体2抵靠以辅助对位，方便组合门体2的作业。此外，该盒体1为一体成型的结构，可以减轻重量并增加结构强度。进一步地，藉由配重件6调整重心位置，能在机器手臂提取晶圆盒时避免晶圆盒摇晃。

以上所述者，仅为本实用新型的实施例而已，但不能以此限定本实用新型实施的范围，即凡依本实用新型权利要求书及说明书内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本实用新型的范围。

Claims (15)

1.一种晶圆盒，用以容置至少一晶圆或晶圆框架，其特征在于：该晶圆盒包含：

盒体，具有底座、两个分别由该底座的左右两侧向上延伸且彼此间隔相对的侧壁、连接该底座和该两侧壁后端的后壁，及连接该两侧壁和该后壁顶端并与该底座间隔相对的顶壁，该底座、该两侧壁、该后壁及该顶壁共同界定容置空间，且该底座、该两侧壁及该顶壁共同形成门框并界定与该容置空间连通的开口，该门框具有前端面，该盒体还具有由该前端面的下缘往前凸伸的支撑凸缘；及

门体，可拆离地与该盒体组合以封闭该开口，且具有相连接的内门板及外门板，该外门板的四周较该内门板凸出而形成在该门体与该盒体组合时与该前端面密合地相接的内接面；且当该门体与该盒体组合时，该外门板的底缘抵靠于该支撑凸缘。

2.根据权利要求1所述晶圆盒，其特征在于：该盒体还具有由该前端面的上缘往前凸伸的限位凸缘，且当该门体与该盒体组合时，该外门板嵌合于该支撑凸缘与该限位凸缘之间。

3.根据权利要求1所述晶圆盒，其特征在于：该后壁具有后侧透光部，该顶壁具有与该后侧透光部相连的顶侧透光部。

4.根据权利要求1所述晶圆盒，其特征在于：该底座顶端具有平行于该顶壁延伸的内底面，且该底座形成有至少一贯穿该内底面并与该容置空间相连通且邻近该后壁的进气孔，该晶圆盒还包含至少一设置于该容置空间内并且结合于该底座及该后壁的导流件，该导流件与该内底面及该后壁共同界定出与该进气孔相连通的气体流道，该导流件形成有多个沿着上下方向彼此相间隔排列的出气口，所述出气口连通该气体流道与该容置空间。

5.根据权利要求1所述晶圆盒，其特征在于：该底座具有多个凸出于底侧以适用于共同靠抵于承载面的支撑部。

6.根据权利要求1所述晶圆盒，其特征在于：各该侧壁形成多个沿上下方向间隔排列且各自沿前后方向延伸的支撑肋，以在该两侧壁对应的每两该支撑肋上方形成与该容置空间相连通的容置槽。

7.根据权利要求6所述晶圆盒，其特征在于：该顶壁或至少一该侧壁顶端邻近该开口处还形成至少一个朝向该容置空间突出的防呆挡部，以将最上方的该容置槽上方的该开口处封闭，或使任一该侧壁与该防呆挡部边缘的距离小于该晶圆盒内所欲容置的该至少一晶圆或晶圆框架的外径。

8.根据权利要求6所述晶圆盒，其特征在于：该底座或至少一该侧壁底端邻近该开口处还形成至少一个朝向该容置空间突出的防呆挡部，以将最下方的该容置槽下方的该开口处封闭，或使任一该侧壁与该防呆挡部边缘的距离小于该晶圆盒内所欲容置的该至少一晶圆或晶圆框架的外径。

9.根据权利要求1至3及5至8中的任一权利要求所述晶圆盒，其特征在于：该盒体系一体成型的结构。

10.根据权利要求1所述晶圆盒，其特征在于：该盒体还具有多个连接于该顶壁的外侧面的提取部。

11.根据权利要求10所述晶圆盒，其特征在于：所述提取部为一体成型地与该顶壁连接。

12.根据权利要求10所述晶圆盒，其特征在于：所述提取部可拆地与该顶壁连接。

13.根据权利要求1所述晶圆盒，其特征在于：该晶圆盒还包含连接于该盒体的顶壁的外侧面的机器提把及多个连接于该盒体的底座的外侧面的动态定位销，该机器提把的中心点、该晶圆盒中所欲容置的晶圆或晶圆框架的圆心与所述动态定位销分布位置的中心点在上下方向相对齐。

14.根据权利要求13所述晶圆盒，其特征在于：该晶圆盒还包含至少一布设于该底座的配重件，且该晶圆盒于容置该至少一晶圆或晶圆框架后的整体的重心位于该机器提把的中心点与所述动态定位销分布位置的中心点的连线上。

15.根据权利要求14所述晶圆盒，其特征在于：该至少一配重件系可拆卸地设于该底座。