CN202226153U - 掩模板运输盒 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种掩模板运输盒，涉及薄膜场效应晶体管TFT阵列制造领域，为解决现有技术中从掩模盒中取放掩模板需要竖直取放的技术问题而而设计，所述掩模板运输盒，包括：盒体和盒盖，所述盒体和盒盖之间为可分离连接；所述盒体具有相对的第一内壁和第二内壁；在所述盒体的底面上沿着所述第一内壁和所述第二内壁分别设置有长条型的第一台阶结构；所述第一台阶结构包括第一上台阶和第一下台阶，所述第一上台阶位于所述第一下台阶的外侧，所述第一下台阶形成掩模板的支撑面，所述支撑面和所述盒体的开口平行。本实用新型使得从掩模盒中取放掩模板时，能够水平抬放，方便了人工操作。

Description

掩模板运输盒

技术领域

本实用新型涉及薄膜场效应晶体管TFT阵列制造领域，特别是指一种掩模板运输盒。

背景技术

TFT(Thin Film Transistor，薄膜场效应晶体管)阵列制造技术中的光刻工艺是通过光学成像的方法把掩模板(Mask)上的图案转移到玻璃基板或者半导体晶片表面的光刻胶上的过程，然后再通过显影、刻蚀、剥离等工艺步骤，最终在玻璃基板上形成所需的TFT阵列图型。掩模板是影响光刻性能的关键物品，如果掩模板出现问题，例如被损坏、有灰尘等情况，将直接影响到光刻工艺的质量，使生产过程不能正常进行，因此，光刻工艺对掩模板的洁净度要求很高，必须严格控制光刻工艺环境的洁净度。

通常，光刻工艺的掩模板都有专门的掩模板盒子来存放和运输。掩模盒的特征直接关系到掩模板的洁净程度。现有的掩模板盒子如图1所示，在使用状态下，掩模板必须竖立着放置在该掩模盒中。其中下盒体为主要的承载部件，下盒体的两侧壁中间有固定掩模板的凹槽1。由于掩模板上有光刻图案，从而使人可以拿捏的部分非常有限，并且掩模板的重量也很重。该结构在取放掩模板的时候非常不方便，需要两个人，一人一只手同时捏住掩模板的两个角，自上而下竖直取放掩模板。因此，当用现有掩模板来竖直取放掩模板的时候，或者因提捏的部分太大而磨损光刻图案，或者因提捏的部分太小而使掩模板掉落摔坏，人工操作比较费力。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种掩模板运输盒，能够方便地对掩模板进行取放。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的技术方案如下：

一种掩模板运输盒，包括：盒体和盒盖，所述盒体和盒盖之间为可分离连接；

所述盒体具有相对的第一内壁和第二内壁；

在所述盒体的底面上沿着所述第一内壁和所述第二内壁分别设置有长条型的第一台阶结构；

所述第一台阶结构包括第一上台阶和第一下台阶，所述第一上台阶位于所述第一下台阶的外侧，所述第一下台阶形成掩模板的支撑面，所述支撑面和所述盒体的开口平行。

所述第一台阶结构的高度小于所述盒体的高度。

所述盒体和盒盖之间为活动连接。

所述盒体和所述盒盖通过连接阀连接，当所述盒盖展开时与所述盒体成一直线。

所述盒体为立方体，所述盒盖为立方体，所述第一台阶结构与所述第一内壁平行。

所述盒体还具有相对的第三内壁和第四内壁；在所述盒体内沿着所述第三内壁和所述第四内壁分别设置有长条型的第二台阶结构，所述第二台阶结构包括第二上台阶和第二下台阶，所述第二上台阶位于所述第二下台阶的外侧，所述第一台阶结构和所述第二台阶结构的高度一致；

所述第二台阶结构的两端与所述第一内壁和所述第二壁之间有预定宽度的缝隙；所述第一台阶结构的两端与所述第三内壁和所述第四内壁之间有预定宽度的缝隙；所述第一台阶结构和所述第二台阶结构之间有预定宽度的缝隙。

所述盒盖内设置有以所述连接阀为对称点、与所述第一台阶结构对称的第三台阶结构和与所述第二台阶结构对称的第四台阶结构。

所述盒盖上设置有至少一层隔层架，所述盒体和所述隔层架通过第一连接阀连接，所述隔层架和所述盒盖通过第二连接阀连接。

当所述隔层架为多层时，所述隔层架之间通过第三连接阀连接，所述盒体和所述隔层架中的最下一层隔层架通过第一连接阀连接，所述盒盖和所述隔层架中的最上一层隔层架通过第二连接阀连接。

所述隔层架包括：平板；所述平板上表面的四周上设置有上挡板；所述平板下表面的四周上设置有下挡板；所述上挡板形成的支撑面与所述盒盖的开口相适应；所述下挡板形成的支撑面与所述盒体的开口相适应；

所述平板具有相对的第一侧和第二侧以及相对的第三侧和第四侧；

所述平板的上表面沿着所述第一侧和第二侧分别设置有第五台阶结构；所述第五台阶结构包括第五上台阶和第五下台阶，所述第五上台阶位于所述第五下台阶的外侧；

所述平板的下表面沿着所述第一侧和第二侧分别设置有第六台阶结构；所述第六台阶结构包括第六上台阶和第六下台阶，所述第六上台阶位于所述第五下台阶的外侧；

所述平板的上表面沿着所述第三侧和第四侧分别设置有第七台阶结构；所述第七台阶结构包括第七上台阶和第七下台阶，所述第七上台阶位于所述第七下台阶的外侧；所述第五台阶结构和所述第七台阶的高度一致；

所述平板的下表面沿着所述第三侧和第四侧分别设置有第八台阶结构；所述第八台阶结构包括第八上台阶和第八下台阶，所述第八上台阶位于所述第八下台阶的外侧，所述第六台阶结构和所述第八台阶的高度一致。

本实用新型的实施例具有以下有益效果：

上述方案中，在所述盒体的底面上沿着所述第一内壁和所述第二内壁分别设置有长条型的第一台阶结构；所述第一台阶结构包括第一上台阶和第一下台阶，所述上台阶位于所述下台阶的外侧。由于两个第一台阶结构形成掩模板的支撑面，所述支撑面和所述盒体的开口平行，在生产过程中，打开盒盖，然后通过盒体的开口将掩模板存放到所述支撑面上，由于所述支撑面和所述盒体的开口平行，因此，工人可以抬着将掩模板放到所述支撑面上，同样的，也可以抬着将掩模板从支撑面取走，方便了工人的操作。

附图说明

图1为现有技术中掩模盒的结构图；

图2为本实用新型所述的掩模板运输盒的结构示意图；

图3为本实用新型所述的掩模板运输盒的盒体的局部放大示意图；

图4为本实用新型所述的掩模板运输盒的第一台阶结构11的立体示意图；

图5为本实用新型所述的掩模板运输盒放置掩模板后的局部截面图；

图6为本实用新型所述的掩模板运输盒的隔层架的截面示意图；

图7为本实用新型所述的掩模板运输盒的隔层架的立体示意图；

图8为本实用新型所述的掩模板运输盒(带有隔层架)的截面图。

具体实施方式

为使本实用新型的实施例要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。

图2为本实用新型所述的掩模板运输盒的结构示意图；图3为本实用新型所述的掩模板运输盒的盒体的局部放大示意图；以下结合图2和图3进行描述。如图所示，本实用新型所述的掩模板运输盒，包括：盒体10和盒盖20，所述盒体10和盒盖20之间为可分离连接；

所述盒体10具有相对的第一内壁和第二内壁；

在所述盒体10的底面上沿着所述第一内壁和所述第二内壁分别设置有长条型的第一台阶结构11，也就是说，底面上设置有两个第一台阶结构11(图中示意出一个)；

所述第一台阶结构11包括第一上台阶111和第一下台阶112，所述上台阶111位于所述下台阶112的外侧，两个第一台阶结构11的两个第一下台阶112形成掩模板的支撑面，所述支撑面和所述盒体的开口平行。

图4是长条型台阶状结构的立体图，其中，上台阶的宽度可以为1-3cm，下台阶的宽度可以为5-8cm。图5是掩模盒装好掩模板后的局部截面图，由图可见，掩模板80水平放在掩模盒中，由长条型的台阶状结构支撑和固定，并且台阶与掩模板保留有一定的距离，从而可以避免掩模板在搬运的过程中的损坏与污染。由于掩模板是水平放置在掩模盒中，因此在取放掩模板的时候，可以采用双手抬的方式。

为了将掩模板容置在掩模板运输盒内，并且不对掩模板上的图案90有影响，所述第一台阶结构的高度小于所述盒体的高度。

所述盒体和盒盖之间为活动连接。可选的，所述盒体10和所述盒盖20通过连接阀40连接，当所述盒盖20展开时与所述盒体成一直线。可选的，所述盒体10为立方体，所述盒盖20为立方体，所述第一台阶结构11与所述盒体10的第一内壁平行。

所述盒体10具有相对的第一内壁和第二内壁以及相对的第三内壁和第四内壁；在所述盒体10内沿着所述第三内壁和所述第四内壁分别设置有长条型的第二台阶结构12(图中示意出一个)，也就是说，底面上设置有两个第二台阶结构12，所述第二台阶结构12包括第二上台阶121和第二下台阶122，所述第二上台阶121位于所述第二下台阶122的外侧。所述第一台阶结构和所述第二台阶结构的高度一致，具体为：所述第一上台阶和所述第二上台阶的高度一致，所述第一下台阶和所述第二下台阶的高度一致，所述第一下台阶112和所述第二下台阶112形成掩模板的支撑面。所述第二台阶结构12的两端与所述第一内壁和所述第二壁之间有预定宽度的缝隙；所述第一台阶结构11的两端与所述第三内壁和所述第四内壁之间有预定宽度的缝隙；所述第一台阶结构11和所述第二台阶结构12之间有预定宽度的缝隙，使得在人工对掩模板取放时，可以将手放置在缝隙中，方便对掩模板的操作。

所述盒盖20内设置有以所述连接阀40为对称点、与所述第一台阶结构11对称的第三台阶结构21和与所述第二台阶结构12对称的第四台阶结构22，也就是说，盒盖20的顶面上设置有两个第三台阶结构21和两个第四台阶结构22(图中示意出一个)，第一台阶结构11、第二台阶结构12、第三台阶结构21、第四台阶结构22形成可以容置掩模板的空腔。

图6为本实用新型所述的掩模板运输盒的隔层架的截面示意图；图7为本实用新型所述的掩模板运输盒的隔层架的立体示意图；图8为本实用新型所述的掩模板运输盒(带有隔层架)的截面图。可选的，所述盒盖20上设置有至少一层隔层架50，所述盒体10和所述隔层架50通过第一连接阀41连接，所述隔层架50和所述盒盖20通过第二连接阀42连接。

当所述隔层架为多层时，所述隔层架50之间通过第三连接阀(图中未示出)连接，所述盒体和所述隔层架中的最下一层隔层架通过第一连接阀41连接，所述盒盖和所述隔层架中的最上一层隔层架通过第二连接阀42连接。

所述隔层架50包括：平板60；所述平板上表面的四周上设置有上挡板65；所述平板下表面的四周上设置有下挡板66；所述上挡板65形成的支撑面与所述盒盖的开口相适应；所述下挡板66形成的支撑面与所述盒体的开口相适应；因此，隔层架可以与盒盖、盒体很好的配合，避免灰尘进入掩模板运输盒。也就是说，当盒体为上面开口的立方体时，相应的，隔层架的平板和上挡板组成上面开口的立方体，隔层架的平板和下挡板组成下面开口的立方体。

所述平板60具有相对的第一侧和第二侧以及相对的第三侧和第四侧；

所述隔层架60的上表面沿着所述第一侧和第二侧分别设置有第五台阶结构61；所述第五台阶结构61包括第五上台阶和第五下台阶，所述第五上台阶位于所述第五下台阶的外侧；

所述平板60的下表面沿着所述第一侧和第二侧分别设置有第六台阶结构62；所述第六台阶结构包括第六上台阶和第六下台阶，所述第六上台阶位于所述第五下台阶的外侧；

所述平板60的上表面沿着所述第三侧和第四侧分别设置有第七台阶结构(图中未示出)；所述第七台阶结构包括第七上台阶和第七下台阶，所述第七上台阶位于所述第七下台阶的外侧；所述第五台阶结构和所述第七台阶的高度一致，具体为：所述第五下台阶和第七下台阶的高度一致，所述第五上台阶和第七上台阶的高度一致。

所述平板60的下表面沿着所述第三侧和第四侧分别设置有第八台阶结构(图中未示出)；所述第八台阶结构包括第八上台阶和第八下台阶，所述第八上台阶位于所述第八下台阶的外侧。所述第六台阶结构和所述第八台阶的高度一致，具体为：所述第六下台阶和第八下台阶的高度一致，所述第六上台阶和第八上台阶的高度一致。

本实用新型中，为了一次能够放置多块掩模板，在掩模盒中放置隔层架，该隔层架可以同时连接盒盖与盒体或者其他隔层架，从而可以一次性放置多块掩模板。隔层架上的长条形台阶状结构与掩模盒体内的长条型台阶状结构一样。盒体内的台阶结构的位置与所述合盖的台阶结构的位置以及所述隔层架上面的台阶结构的位置以及所述隔层架下面的台阶结构位置相互之间适应，从而盒体、隔层架、盒盖依次叠加，使得掩膜板可以放置在台阶结构形成的空腔内，而不会影响掩模板上的光刻图案。

本实用新型公开了一种放置掩模板的盒子，用于存放及运输掩模板。该掩模盒包括上下两部分，分别为盒体与盒盖，由连接阀连接在一起，掩模板可以水平放置在盒体中。盒盖可以自由的打开与闭合，盒盖的内部结构与盒体的内部结构对称，也就是说，在盒盖与盒体的内部的四个侧壁上，都包含有相同的长条型的台阶状结构，用于掩模板的支撑与固定。长条台阶状结构的位置可以位于每个侧壁的中间，长度比侧壁短(例如短30cm左右)，高度略低于侧壁的高度。用该掩模板盒子取放掩模板的时候，两个人可以用双手采用抬的方式代替单手拿捏的方式，能够方便、省力地取放掩模板，避免了对掩模板的磨损，减少取放掩模板时对掩模板上的光刻图案的破坏。

以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种掩模板运输盒，其特征在于，包括：盒体和盒盖，所述盒体和盒盖之间为可分离连接；

所述盒体具有相对的第一内壁和第二内壁；

在所述盒体的底面上沿着所述第一内壁和所述第二内壁分别设置有长条型的第一台阶结构；

所述第一台阶结构包括第一上台阶和第一下台阶，所述第一上台阶位于所述第一下台阶的外侧，所述第一下台阶形成掩模板的支撑面，所述支撑面和所述盒体的开口平行。

2.根据权利要求1所述的掩模板运输盒，其特征在于，所述第一台阶结构的高度小于所述盒体的高度。

3.根据权利要求1所述的掩模板运输盒，其特征在于，所述盒体和盒盖之间为活动连接。

4.根据权利要求3所述的掩模板运输盒，其特征在于，所述盒体和所述盒盖通过连接阀连接，当所述盒盖展开时与所述盒体成一直线。

5.根据权利要求4所述的掩模板运输盒，其特征在于，所述盒体还具有相对的第三内壁和第四内壁；在所述盒体内沿着所述第三内壁和所述第四内壁分别设置有长条型的第二台阶结构，

所述第二台阶结构包括第二上台阶和第二下台阶，所述第二上台阶位于所述第二下台阶的外侧，所述第一台阶结构和所述第二台阶结构的高度一致；

所述第二台阶结构的两端与所述第一内壁和所述第二壁之间有预定宽度的缝隙；

所述第一台阶结构的两端与所述第三内壁和所述第四内壁之间有预定宽度的缝隙；

所述第一台阶结构和所述第二台阶结构之间有预定宽度的缝隙。

6.根据权利要求5所述的掩模板运输盒，其特征在于，所述盒盖内设置有以所述连接阀为对称点、与所述第一台阶结构对称的第三台阶结构和与所述第二台阶结构对称的第四台阶结构。

7.根据权利要求6所述的掩模板运输盒，其特征在于，所述盒盖上设置有至少一层隔层架，所述盒体和所述隔层架通过第一连接阀连接，所述隔层架和所述盒盖通过第二连接阀连接。

8.根据权利要求7所述的掩模板运输盒，其特征在于，当所述隔层架为多层时，所述隔层架之间通过第三连接阀连接，所述盒体和所述隔层架中的最下一层隔层架通过第一连接阀连接，所述盒盖和所述隔层架中的最上一层隔层架通过第二连接阀连接。

9.根据权利要求7或8所述的掩模板运输盒，其特征在于，所述隔层架包括：平板，所述平板上表面的四周上设置有上挡板；所述平板下表面的四周上设置有下挡板；所述上挡板形成的支撑面与所述盒盖的开口相适应；所述下挡板形成的支撑面与所述盒体的开口相适应；

所述平板具有相对的第一侧和第二侧以及相对的第三侧和第四侧；

所述平板的上表面沿着所述第一侧和第二侧分别设置有第五台阶结构；所述第五台阶结构包括第五上台阶和第五下台阶，所述第五上台阶位于所述第五下台阶的外侧；

所述平板的下表面沿着所述第一侧和第二侧分别设置有第六台阶结构；所述第六台阶结构包括第六上台阶和第六下台阶，所述第六上台阶位于所述第五下台阶的外侧。

10.根据权利要求9所述的掩模板运输盒，其特征在于

所述平板的上表面沿着所述第三侧和第四侧分别设置有第七台阶结构；所述第七台阶结构包括第七上台阶和第七下台阶，所述第七上台阶位于所述第七下台阶的外侧；所述第五台阶结构和所述第七台阶的高度一致；

所述平板的下表面沿着所述第三侧和第四侧分别设置有第八台阶结构；所述第八台阶结构包括第八上台阶和第八下台阶，所述第八上台阶位于所述第八下台阶的外侧，所述第六台阶结构和所述第八台阶的高度一致。

Images