CN208496760U - 一种晶片吹砂机摆动装置 - Google Patents

Abstract

一种晶片吹砂机摆动装置，包括驱动装置，连接销，齿条，导轨，定位挡块，伞形齿轮，连接轴，摆动杆，喷嘴，轴承座，所述伞形齿轮与齿条啮合；所述伞形齿轮与连接轴配合连接；所述摆动杆与连接轴配合连接；所述喷嘴固定于摆动杆下端。通过齿条与伞形齿轮之间的相对运动，将直线运动转变为往复摆动，从而实现连续不间断的往复摆动吹砂动作；本装置结构简单，加工和安装快捷，省时省力，摆幅控制容易，并降低了成本。

Description

一种晶片吹砂机摆动装置

技术领域

本实用新型涉及半导体晶片加工技术领域，具体地说是一种晶片吹砂机摆动装置。

背景技术

半导体晶片的生产工艺中，前期工序有一步需要将晶片减薄到需要的厚度，目前大多数生产厂家是采用吹砂机对晶片表面高速喷射细小颗粒的金刚砂来进行减薄，由于晶片具有一定的宽度，同时喷射嘴只有一排的情况下对晶片进行喷射就需要喷嘴在喷射金刚砂时在一定幅度内进行摆动喷射。专利号CN203536395U介绍了一种晶片吹砂传送装置，这种装置的摆动机构是利用偏心轮和连杆机构进行摆幅的控制和动作，这种设计很好地完成对金刚砂喷射时要求的在一定幅度内的摆动喷射，但是这种结构复杂，加工和安装比较困难，再加上动力控制系统等，成本较高，而且由于是连杆机构，喷砂摆幅计算麻烦。

实用新型内容

针对以上结构，本实用新型提供一种晶片吹砂机摆动装置，结构简单，加工和安装快捷，摆幅控制容易，降低了成本，很好地实现了对晶片的摆动喷砂。

本实用新型解决其技术问题所采取的技术方案是：一种晶片吹砂机摆动装置，其特征在于：包括驱动装置，连接销，齿条，导轨，定位挡块，伞形齿轮，连接轴，摆动杆，喷嘴，轴承座，所述的驱动装置与齿条通过连接销连接；所述齿条安装于导轨中，可在导轨内滑动；所述定位挡块固定于导轨两端；所述伞形齿轮与齿条啮合；所述伞形齿轮与连接轴配合连接；所述摆动杆与连接轴配合连接；所述连接轴两端固定于轴承座中；所述喷嘴固定于摆动杆下端。

作为优化，所述的导轨为燕尾槽结构。

作为优化，所述的齿条根部为T形结构，与导轨的燕尾槽互相配合。

作为优化，所述的伞形齿轮与连接轴之间通过键传动连接。

作为优化，所述的摆动杆与连接轴之间通过键传动连接。

本实用新型的有益效果是：与现有技术相比，本实用新型的一种晶片吹砂机摆动装置，通过齿条与伞形齿轮之间的相对运动，将直线运动转变为往复摆动，从而实现连续不间断的往复摆动吹砂动作；本装置结构简单，加工和安装快捷，省时省力，摆幅控制容易，并降低了成本。

附图说明

图1为本实用新型主视图；

图2位本实用新型右视图；

其中，1驱动装置，2连接销，3齿条，4导轨，5伞形齿轮，6连接轴，7摆动杆，8喷嘴，9轴承座，10定位挡块。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的。技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-2所示，一种晶片吹砂机摆动装置，包括驱动装置1，连接销2，齿条3，导轨4，定位挡块10，伞形齿轮5，连接轴6，摆动杆7，喷嘴8，轴承座9，所述的驱动装置1与齿条3通过连接销2连接；所述齿条3安装于导轨4中，可在导轨4内滑动；所述定位挡块10固定于导轨4两端；所述伞形齿轮5与齿条4啮合；所述伞形齿轮5与连接轴6配合连接；所述摆动杆7与连接轴6配合连接；所述连接轴6两端固定于轴承座9中；所述喷嘴8固定于摆动杆7下端。

作为本实施例的进一步优化，所述的导轨4为燕尾槽结构，所述的齿条3根部为T形结构，齿条根部的T形结构与导轨4的燕尾槽互相配合，使得齿条3不但可在导轨4内滑动，也由于燕尾槽导轨起到定位固定作用，两端的定位挡块10防止齿条在异常情况下超出行程时起到限位作用。

作为本实施例的进一步优化，所述的伞形齿轮5与连接轴6之间通过键传动连接；所述的摆动杆7与连接轴6之间通过键传动连接，键传动连接可以是平键，也可以是花键或其它形式的键传动。

驱动装置1控制齿条2的直线往复运动，驱动装置可以是气缸、液压缸或电动推杆等能实现直线往复运动的执行元件。

摆动装置的摆动幅度通过驱动装置的行程来实现，即通过控制气缸或液压缸的的活塞运动行程来控制，具体是有电磁阀来调节活塞的往复运动行程，并且这种行程需要在驱动装置的极限行程之内，以直线运动的行程数值计算成伞齿轮转动的角度即是摆动杆的摆动幅度。

以气缸或液压缸为具体实施例时，电磁阀控制缸体一端介质进实现活塞前进，进而带动齿条向前运动一定行程，齿条前行带动伞形齿轮向一端转动一定的角度，伞齿轮转动带动连接轴转动，连接轴转动带动摆动连杆摆动，并最终使得固定在摆动杆上的金刚砂喷嘴摆动一定角度；介质从缸体另一端口进时，缸体活塞后退，带动齿条后退，伞齿轮向相反方向转动，带动连接轴反方向转动，带动摆动杆向另一方向摆动，最终使得金刚砂喷嘴向相反方向摆动；电磁阀控制的缸体介质一端进，另一端出，喷嘴向一个方向摆动，介质另一端进，一端出，控制喷嘴向相反方向摆动，从而实现不间断的往复摆动，使得吹砂机在一定幅度内实现对传动带上一定宽度内的晶片进行喷砂减薄工序。

本实施例中，驱动装置、齿条和伞齿轮是两套，共同与摆动杆连接转动，动作时同步，二者的同步动作主要是由联动控制器控制。

上述具体实施方式仅是本实用新型的具体个案，本实用新型的专利保护范围包括但不限于上述具体实施方式的产品形态和式样，任何符合本实用新型权利要求书且任何所属技术领域的普通技术人员对其所做的适当变化或修饰，皆应落入本实用新型的专利保护范围。

Claims (5)

1.一种晶片吹砂机摆动装置，其特征在于：包括驱动装置（1），连接销（2），齿条（3），导轨（4），定位挡块（10），伞形齿轮（5），连接轴（6），摆动杆（7），喷嘴（8），轴承座（9），所述的驱动装置（1）与齿条（3）通过连接销（2）连接；所述齿条（3）滑动安装于导轨（4）中；所述定位挡块（10）固定于导轨（4）两端；所述伞形齿轮（5）与齿条（3）啮合；所述伞形齿轮（5）与连接轴（6）配合连接；所述摆动杆（7）与连接轴（6）配合连接；所述连接轴（6）两端固定于轴承座（9）中；所述喷嘴（8）固定于摆动杆（7）下端。

2.根据权利要求1所述的一种晶片吹砂机摆动装置，其特征在于：所述的齿条（3）根部为T形结构，与导轨（4）互相配合。

3.根据权利要求2所述的一种晶片吹砂机摆动装置，其特征在于：所述的导轨（4）为燕尾槽形结构。

4.根据权利要求1所述的一种晶片吹砂机摆动装置，其特征在于：所述的伞形齿轮（5）与连接轴（6）之间通过键传动连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶片吹砂机摆动装置，其特征在于：所述的摆动杆（7）与连接轴（6）之间通过键传动连接。