CN208385386U - 一种旋转定位平台机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种旋转定位平台机构,包括调平座、用于定位芯片的定位块,以及竖直设置的伺服电机,所述定位块顶面设有芯片座;所述伺服电机和所述调平座在水平方向上并列设置;所述伺服电机的驱动轴竖直向下并套接主动轮;所述定位块位于所述调平座顶面的定位座中,所述定位块的底部为一根竖直向下贯穿所述调平座的中空轴,所述中空轴的径向外侧套接从动轮;所述主动轮和所述从动轮等高,并通过同步带连接。其技术效果是:实现芯片更高精度的角度定位,实现芯片任意角度贴装,相对于传统的芯片定位机构,功能更多,精度更高,适应行业内多变的需求。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体生产领域的一种旋转定位平台机构。
背景技术
半导体生产过程中,固晶机的要求对芯片高精度角度贴装,现有固晶机行业一台机器只能实现一种角度贴装,无法满足一台机器对芯片任意角度的贴装的需求,这已经无法满足固晶机行业的要求了。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了克服现有技术的不足,提供一种旋转定位平台机构,其能实现实现芯片更高精度的角度定位,实现芯片任意角度贴装。
实现上述目的的一种技术方案是:一种旋转定位平台机构,包括用于定位芯片的定位块,所述定位块顶面设有芯片座;
其还包括调平座和竖直设置的伺服电机,所述伺服电机和所述调平座在水平方向上并列设置;
所述伺服电机的驱动轴竖直向下并套接主动轮;
所述定位块位于所述调平座顶面的定位座中,所述定位块的底部为一根竖直向下贯穿所述调平座的中空轴,所述中空轴的径向外侧套接从动轮;
所述主动轮和所述从动轮等高,并通过同步带连接。
进一步的,所述中空轴的一端连通所述芯片座,另外一端连通位于所述从动轮下方的气管接头。
再进一步的,所述气管接头连通抽真空装置。
进一步的,所述旋转定位平台还包括固定座;所述固定座和所述调平座分别位于所述伺服电机的两侧。
进一步的,所述定位块和所述定位座之间通过轴承配合。
采用了本实用新型的一种旋转定位平台机构的技术方案,包括调平座、用于定位芯片的定位块,以及竖直设置的伺服电机,所述定位块顶面设有芯片座;所述伺服电机和所述调平座在水平方向上并列设置;所述伺服电机的驱动轴竖直向下并套接主动轮;所述定位块位于所述调平座顶面的定位座中,所述定位块的底部为一根竖直向下贯穿所述调平座的中空轴,所述中空轴的径向外侧套接从动轮;所述主动轮和所述从动轮等高,并通过同步带连接。其技术效果是:实现芯片更高精度的角度定位,实现芯片任意角度贴装,相对于传统的芯片定位机构,功能更多,精度更高,适应行业内多变的需求。
附图说明
图1为本实用新型的一种旋转定位平台机构的主视图。
图2为本实用新型的一种旋转定位平台机构的立体图。
具体实施方式
请参阅图1,本实用新型的发明人为了能更好地对本实用新型的技术方案进行理解,下面通过具体地实施例,并结合附图进行详细地说明:
请参阅图1,本实用新型的一种旋转定位平台机构,包括:定位块1、调平座2、伺服电机3、从动轮4、气管接头5、同步带6、主动轮7、固定座8和轴承9。
伺服电机3竖直设置,固定座8和调平座2分别固定在伺服电机3的两侧。固定座8、调平座2和伺服电机3在水平方向上并列设置。调平座2顶面的中心设有一个用于放置定位块1的定位座,所述定位座与定位块1之间通过轴承9配合。定位块1的顶面均布三个用于放置芯片的芯片座。
定位块1的底部为一根竖直向下贯穿调平座2且连通三个芯片座的中空轴,所述中空轴连通气管接头5,气管接头5的作用在于通过抽真空使芯片座吸住芯片。调平座2的作用在于实现定位块1、调平座2,以及定位块1上芯片的水平调整,消除累计误差。
伺服电机3的驱动轴竖直向下,并套接主动轮7,定位块1的中空轴的径向外侧套接位于气管接头5上方的从动轮4。主动轮7和从动轮4等高。主动轮7和从动轮4之间通过同步带6连接。
由于伺服电机3的高精度传动,伺服电机3通过主动轮7、同步带6、从动轮4,带动定位块1水平高精度旋转任意角度,满足定位块1上的芯片按任意角度的贴装的需求。
当芯片被放置在定位块1上时,由于定位块1的底部通过气管接头5连通抽真空装置,可使定位块1真空吸住芯片防止定位块1旋转时晃动,伺服电机3、主动轮7、同步带6和从动轮4的传动对芯片实现高精度角度定位,固定座8与调平座9可调节水平,消除累积误差。
综上所述,本实用新型的一种旋转定位平台机构,通过伺服电机3、主动轮7、同步带6和从动轮4和定位块1的配合,实现定位块1上芯片更高精度的角度定位,实现任意角度贴装,相对于传统的芯片定位机构,功能更多,精度更高,适应行业内多变的需求。
本技术领域中的普通技术人员应当认识到,以上的实施例仅是用来说明本实用新型,而并非用作为对本实用新型的限定,只要在本实用新型的实质精神范围内,对以上所述实施例的变化、变型都将落在本实用新型的权利要求书范围内。
Claims (5)
1.一种旋转定位平台机构,包括用于定位芯片的定位块,所述定位块顶面设有芯片座;其特征在于:
其还包括调平座和竖直设置的伺服电机,所述伺服电机和所述调平座在水平方向上并列设置;
所述伺服电机的驱动轴竖直向下并套接主动轮;
所述定位块位于所述调平座顶面的定位座中,所述定位块的底部为一根竖直向下贯穿所述调平座的中空轴,所述中空轴的径向外侧套接从动轮;
所述主动轮和所述从动轮等高,并通过同步带连接。
2.根据权利要求1所述的一种旋转定位平台机构,其特征在于:所述中空轴的一端连通所述芯片座,另外一端连通位于所述从动轮下方的气管接头。
3.根据权利要求2所述的一种旋转定位平台机构,其特征在于:所述气管接头连通抽真空装置。
4.根据权利要求1所述的一种旋转定位平台机构,其特征在于:其还包括固定座;所述固定座和所述调平座分别位于所述伺服电机的两侧。
5.根据权利要求1所述的一种旋转定位平台机构,其特征在于:所述定位块和所述定位座之间通过轴承配合。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201821084659.XU CN208385386U (zh) | 2018-07-10 | 2018-07-10 | 一种旋转定位平台机构 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN201821084659.XU CN208385386U (zh) | 2018-07-10 | 2018-07-10 | 一种旋转定位平台机构 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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CN208385386U true CN208385386U (zh) | 2019-01-15 |
Family
ID=64963555
Family Applications (1)
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CN201821084659.XU Active CN208385386U (zh) | 2018-07-10 | 2018-07-10 | 一种旋转定位平台机构 |
Country Status (1)
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CN (1) | CN208385386U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110076711A (zh) * | 2019-06-05 | 2019-08-02 | 上海赢朔电子科技股份有限公司 | 一种双马达直驱定位旋转机构 |
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2018
- 2018-07-10 CN CN201821084659.XU patent/CN208385386U/zh active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110076711A (zh) * | 2019-06-05 | 2019-08-02 | 上海赢朔电子科技股份有限公司 | 一种双马达直驱定位旋转机构 |
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