CN208093527U - 一种气压驱动式硅片烘箱用花篮输送装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种气压驱动式硅片烘箱用花篮输送装置。皮带输送方式长时间工作出现皮带易松动变形，特别是中长距离的输送机构更加突出明显，导致无法准确定位，这对后续机构（机械手）正常抓取位置的精度要求比较高，给调试人员带来很大程度的困扰。本实用新型涉及一种气压驱动式硅片烘箱用花篮输送装置，其中：固定架底部安装有六个固定架安装板，四根转轴、六个直线轴承座、八个直线轴承，并用螺栓将转轴的两端卡紧，将八个轴承座固定板与直线轴承对接。本装置采用一个气缸作为动力部分，利用气缸的行程作为输送距离，气缸的伸出与缩回分别可完成输送及复位的功能，同时通过安装的止回机构，可有效完成产品的输送、移动、定位功能。

Description

一种气压驱动式硅片烘箱用花篮输送装置

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域，尤其是一种气压驱动式硅片烘箱用花篮输送装置。

背景技术

皮带输送是自动化行业中一种较常用的输送机构方式。皮带输送采用电机为动力源，通过主动轮拉动皮带运转，从而使产品移动以达到输送的功能。但是皮带输送方式长时间工作出现皮带易松动变形，特别是中长距离的输送机构更加突出明显，导致无法准确定位，这对后续机构(机械手) 正常抓取位置的精度要求比较高，给调试人员带来很大程度的困扰。特别是高温工作环境中，此现象更加明显，每隔段时间需重新矫正皮带紧度及皮带跑偏现象，因此，运用皮带输送时刻存在皮带变形、位置误差的隐患，对自动化的稳定性带来很大的影响。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种气压驱动式硅片烘箱用花篮输送装置，为克服上述的不足，采用一个气缸作为动力部分，利用气缸的行程作为输送距离，气缸的伸出与缩回分别可完成输送及复位的功能，同时通过安装的止回机构，可有效完成产品的输送、移动、定位功能，此输送机构结构简单，成本较低，装配及维护成本较低，定位效果较好，大大地降低了对后端机械手的抓取位置的精度要求，整体机构的稳定性大大提高。对设备的整体效率提高具有重要的意义。

为了解决上述问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种气压驱动式硅片烘箱用花篮输送装置，其中：输送架、固定架、卡式摩擦板、气缸、护栏、转轴、直线轴承座、固定架安装板；其中：固定架底部安装有六个固定架安装板，四根转轴、六个直线轴承座、八个直线轴承，并用螺栓将转轴的两端卡紧，将八个轴承座固定板与直线轴承对接，再将轴承座固定板与输送架连接固定，将护栏分别安装输送架的两侧，用右固定支座、止回挡板、开口销、垫片、扭簧、外六角螺丝组装成右止回机构装置，用左固定支座、止回挡板、开口销、垫片、扭簧、外六角螺丝组装成右止回机构装置，用螺栓型滚轮、螺栓型滚轮、第一滚轮支架组装成滚轮模组-1，用螺栓型滚轮、螺栓型滚轮、第二滚轮支架组装成滚轮模组-2，将滚轮模组-1和滚轮模组-2安装到固定架上的相应位置，对输送架起到支撑及防外侧变形作用，将气缸安装板、气缸、气缸加固板依次固定到固定架上，用浮动调整接头将连接气缸与输送架连接固定，将接近开关支架与接近传感器安装到固定架上，同样将反射镜支架、反射镜、光电传感器、传感器支架依次安装到固定架上，将卡式摩擦板可由任一端部顺槽卡嵌到输送架槽内，把斜板安装到固定架的底部，用来承接碎片，最后将端盖安装到输送架两端部。

一种气压驱动式硅片烘箱用花篮输送装置，其中：右止回装置机构，是运用右固定支座、止回挡板、开口销、垫片、扭簧、外六角螺丝组装成左止回机构装置左止回装置机构，是运用左固定支座、止回挡板、开口销、垫片、扭簧、外六角螺丝组装成左止回机构装置此两种机构均利用止回挡板自重来自动完成复位功能。

本实用新型的优点在于：本装置一个气缸作为动力部分，利用气缸的行程作为输送距离，气缸的伸出与缩回分别可完成输送及复位的功能，同时通过安装的止回机构，可有效完成产品的输送、移动、定位功能，此输送机构结构简单，成本较低，装配及维护成本较低，定位效果较好，大大地降低了对后端机械手的抓取位置的精度要求，整体机构的稳定性大大提高。对设备的整体效率提高具有重要的意义。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图。

图2为本实用新型中的止回机构结构示意图。

图3为本实用新型中的滚轮模组结构示意图。

附图标记：输送架1、固定架2、卡式摩擦板3、右止回机构装置4、气缸5、检篮装置6、外侧支撑防变形装置7、轴承座固定板8、浮动调整接头9、右固定支座10、止回挡板11、开口销12、垫片13、扭簧14、外六角螺丝15、螺栓型滚轮16、螺栓型滚轮17、第一滚轮支架18、护栏19、转轴20、直线轴承座21、斜板22、固定架安装板23、左止回机构装置24、第二滚轮支架25、反射镜支架26、直线轴承27、左固定支座28、气缸安装板30、接近开关支架31、气缸加固板32、接近传感器33、传感器支架 34、反射镜35、光电传感器36、端盖37。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1、请参阅图1-3，一种气压驱动式硅片烘箱用花篮输送装置，包括输送架1、固定架2、卡式摩擦板3、气缸5、护栏19、转轴20、直线轴承座21、固定架安装板23；其中：固定架2底部安装有六个固定架安装板23，四根转轴20、六个直线轴承座21、八个直线轴承27，并用螺栓将转轴的两端卡紧，将八个轴承座固定板8与直线轴承27对接，再将轴承座固定板8与输送架1连接固定，将护栏19分别安装输送架1的两侧，用右固定支座10、止回挡板11、开口销12、垫片13、扭簧14、外六角螺丝15 组装成右止回机构装置4，用左固定支座28、止回挡板11、开口销12、垫片13、扭簧14、外六角螺丝15组装成右止回机构装置24，用螺栓型滚轮16、螺栓型滚轮17、第一滚轮支架18组装成滚轮模组-1，用螺栓型滚轮 16、螺栓型滚轮17、第二滚轮支架25组装成滚轮模组-2，将滚轮模组-1 和滚轮模组-2安装到固定架2上的相应位置，对输送架1起到支撑及防外侧变形作用，将气缸安装板30、气缸5、气缸加固板32依次固定到固定架 2上，用浮动调整接头9将连接气缸5与输送架1连接固定，将接近开关支架31与接近传感器33安装到固定架上，同样将反射镜支架26、反射镜 35、光电传感器36、传感器支架34依次安装到固定架上，将卡式摩擦板3 可由任一端部顺槽卡嵌到输送架1槽内，把斜板22安装到固定架的底部，用来承接碎片，最后将端盖37安装到输送架1两端部。

实施例2、一种气压驱动式硅片烘箱用花篮输送装置，其中：右止回装置机构，是运用右固定支座10、止回挡板11、开口销12、垫片13、扭簧14、外六角螺丝15组装成左止回机构装置左止回装置机构，是运用左固定支座10、止回挡板11、开口销12、垫片13、扭簧14、外六角螺丝15 组装成左止回机构装置此两种机构均利用止回挡板11自重来自动完成复位功能。其余同实施例1。

工作原理：

首先气缸初始状态为伸缩状态，现将花篮每组4个，在入料口位置按照田字格样式放置，光电传感器36会发出有篮信号，传输到PLC,由PLC 发出指令进行下部工序的运作，此时打开电磁阀，气缸伸出，输送架1受力前移，位于在输送架1上的花篮会受卡式摩擦板3摩擦力随之前移，各止回机构装置在接触到花篮时会自然旋转，让花篮顺利通过，然后自动复位到原始状态，直到气缸走完一行程后，电磁阀转换信号，气缸开始缩回，位于在输送架1及花篮会随之后移，当花篮到达指定位置时，会被止回机构阻挡，限制花篮后移动，此时输送架1继续随气缸后移，直到气缸回到初始状态。依次循环，直到花篮到达抓取的指定位置，此时端部的光电传感器36会发出有篮信号，另外，我运用四个接近开关，具体对四个花篮位置进行监测，并将其信号发到PLC，由PLC分析后发出抓篮指令，后端的取篮机械手会运行到相应的位置，进行对花篮的抓取，从而完成对花篮的输送和准确定位功能。

Claims (2)

1.一种气压驱动式硅片烘箱用花篮输送装置，包括输送架(1)、固定架(2)、卡式摩擦板(3)、气缸(5)、护栏(19)、转轴(20)、直线轴承座(21)、固定架安装板(23)，其特征在于：固定架(2)底部安装有六个固定架安装板(23)，四根转轴(20)、六个直线轴承座(21)、八个直线轴承(27)，并用螺栓将转轴的两端卡紧，将八个轴承座固定板(8)与直线轴承(27)对接，再将轴承座固定板(8)与输送架(1)连接固定，将护栏(19)分别安装输送架(1)的两侧，用右固定支座(10)、止回挡板(11)、开口销(12)、垫片(13)、扭簧(14)、外六角螺丝(15)组装成右止回机构装置(4)，用左固定支座(28)、止回挡板(11)、开口销(12)、垫片(13)、扭簧(14)、外六角螺丝(15)组装成右止回机构装置(24)，用螺栓型滚轮(16)、螺栓型滚轮(17)、第一滚轮支架(18)组装成滚轮模组-1；用螺栓型滚轮(16)、螺栓型滚轮(17)、第二滚轮支架(25)组装成滚轮模组-2，将滚轮模组-1和滚轮模组-2安装到固定架(2)上的相应位置，对输送架(1)起到支撑及防外侧变形作用，将气缸安装板(30)、气缸(5)、气缸加固板(32)依次固定到固定架(2)上，用浮动调整接头(9)将连接气缸(5)与输送架(1)连接固定，将接近开关支架(31)与接近传感器(33)安装到固定架上，同样将反射镜支架(26)、反射镜(35)、光电传感器(36)、传感器支架(34)依次安装到固定架上，将卡式摩擦板(3)可由任一端部顺槽卡嵌到输送架(1)槽内，把斜板(22)安装到固定架的底部，用来承接碎片，最后将端盖(37)安装到输送架(1)两端部。

2.根据权利要求1所述的一种气压驱动式硅片烘箱用花篮输送装置，其特征在于：右止回装置机构，是运用右固定支座(10)、止回挡板(11)、开口销(12)、垫片(13)、扭簧(14)、外六角螺丝(15)组装成左止回机构装置，左止回装置机构，是运用左固定支座(10)、止回挡板(11)、开口销(12)、垫片(13)、扭簧(14)、外六角螺丝(15)组装成左止回机构装置，此两种机构均利用止回挡板(11)自重来自动完成复位功能。