CN207944174U - 一种单晶硅炉内外导流筒组合件 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种单晶硅炉内外导流筒组合件，包括内导流筒，内导流筒的顶端固定设有内导流筒法兰，内导流筒法兰的表面开设有若干第一销轴孔，内导流孔的底端均匀开设有三个卡槽，内导流筒的外部套设有外导流筒。该种单晶硅炉内外导流筒组合件，通过外导流筒设置的三个卡块和内导流筒设置的三个卡槽之间的卡合固定，使得外导流筒在使用时，由于被内导流筒设置的卡槽固定，使得外导流筒不会直接承受过高的温度，从而避免外导流筒脱落，污染硅料，而正常的导流筒在使用50炉时避免不了会需要更换导流筒，而通过的设置的卡槽结构，和设置的销轴将内外导流筒之间进行固定，在对内外导流筒进行更换时，也非常方便。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种半导体与太阳能生产技术领域，具体为一种单晶硅炉内外导流筒组合件。
背景技术
目前，单晶炉导流筒是单晶炉热场导流气体的一种主要热场石墨部件，在长晶环节起着至关重要的作用，但是石墨件在长期高温状态下会疲乏和脱落，正常的导流筒使用到50炉左右就会有脱落直接掉入硅溶液内，污染硅料损失巨大。因此我们对此做出改进，提出一种单晶硅炉内外导流筒组合件。
实用新型内容
为解决现有技术存在石墨件在长期高温状态下会疲乏脱落，正常的导流筒使用到50炉左右就会有脱落直接掉入硅溶液内，造成硅料损失巨大的缺陷，本实用新型提供一种单晶硅炉内外导流筒组合件。
为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：
本实用新型一种单晶硅炉内外导流筒组合件，包括内导流筒，所述内导流筒的顶端固定设有内导流筒法兰，所述内导流筒法兰的表面开设有若干第一销轴孔，所述内导流筒的底端均匀开设有三个卡槽，所述内导流筒的外部套设有外导流筒，所述外导流筒的顶端固定设有外导流筒法兰，所述外导流筒法兰的表面开设有若干第二销轴孔，若干所述第二销轴孔的内部均与销轴贯穿，若干销轴穿过第二销轴孔的一端与第一销轴孔穿插连接，所述外导流筒的底端均匀固定设有三个卡块，且三个卡块分别与三个卡槽卡合连接。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述外导流筒法兰与内导流筒法兰的连接处设有密封垫。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述内导流筒和外导流筒均为石墨材料制成。
作为本实用新型的一种优选技术方案，三个所述卡块的长度小于相连卡槽之间的间距。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述第二销轴孔为沉头孔。
本实用新型的有益效果是：该种单晶硅炉内外导流筒组合件，通过外导流筒设置的三个卡块和内导流筒设置的三个卡槽之间的卡合固定，使得外导流筒在使用时，由于被内导流筒设置的卡槽固定，使得外导流筒不会直接承受过高的温度，从而避免外导流筒脱落，污染硅料，而正常的导流筒在使用50炉时避免不了会需要更换导流筒，而通过的设置的卡槽结构，和设置的销轴将内外导流筒之间进行固定，在对内外导流筒进行更换时，也非常方便。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
图1是本实用新型一种单晶硅炉内外导流筒组合件的结构示意图；
图2是本实用新型一种单晶硅炉内外导流筒组合件的内部结构示意图；
图3是本实用新型一种单晶硅炉内外导流筒组合件的俯视结构示意图。
图中：1、外导流筒；2、内导流筒；3、外导流筒法兰；4、内导流筒法兰；5、卡块；6、卡槽；7、销轴。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
实施例：如图1-3所示，本实用新型一种单晶硅炉内外导流筒组合件，包括内导流筒2，内导流筒2的顶端固定设有内导流筒法兰4，内导流筒法兰4的表面开设有若干第一销轴孔，内导流筒2的底端均匀开设有三个卡槽6，内导流筒2的外部套设有外导流筒1，外导流筒1的顶端固定设有外导流筒法兰3，外导流筒法兰3的表面开设有若干第二销轴孔，若干第二销轴孔的内部均与销轴7贯穿，若干销轴7穿过第二销轴孔的一端与第一销轴孔穿插连接，外导流筒1的底端均匀固定设有三个卡块5，且三个卡块5分别与三个卡槽6卡合连接。
外导流筒法兰3与内导流筒法兰4的连接处设有密封垫，有利于外导流筒法兰3与内导流筒法兰4的连接更加紧密。
内导流筒1和外导流筒2均为石墨材料制成，有利于内导流筒1和外导流筒2的导流。
三个卡块5的长度小于相连卡槽6之间的间距，确保卡块5可以错过卡槽6之间的间距与卡槽6卡合连接。
第二销轴孔为沉头孔，有利于将销轴7沉到外导流筒法兰3内部，在固定外导流筒法兰3时更加稳定。
具体工作时，该种单晶硅炉内外导流筒组合件在使用时，首先将内导流筒2与外导流筒1进行卡合连接，再将外导流筒1与内导流筒2顶端设置的外导流筒法兰3和内导流筒法兰4之间通过销轴7固定，然后外导流筒法兰3和内导流筒法兰4固定嵌合在单晶硅炉的散热口处，在使用提拉法制取单晶硅时，通过导流筒组合件将单晶炉内的热流导出，由于外导流筒1的底端承受较高的热量，但是由于内导流筒2底端设置的卡槽6将外导流筒1底端进行固定住，这样就可以在使用时，避免外导流筒1的底端受热过高疲乏脱落，从而影响单晶硅的提取，而由于设置的导流筒在使用到50炉左右时，就会自然脱落，从而落入到熔融的单晶硅中，但是可以通过将导流筒取出更换掉，这时可以将内外导流筒组合件取出，通过拆卸掉外导流筒1设置的销轴7，将内导流筒2旋转错位就可以将内导流筒2和外导流筒1分离，进而就可以更换新的外导流筒1从新安装，改变了传统通过打开装置外盖，单独取出外导流筒1的问题。
该种单晶硅炉内外导流筒组合件，通过外导流筒1设置的三个卡块5和内导流筒2设置的三个卡槽6之间的卡合固定，使得外导流筒1在使用时，由于被内导流筒3设置的卡槽6固定，使得外导流筒1不会直接承受过高的温度，从而避免外导流筒1脱落，污染硅料，而正常的导流筒在使用50炉时避免不了会需要更换导流筒，而通过的设置的卡槽6结构，和设置的销轴7将内外导流筒之间进行固定，在对内外导流筒进行更换时，也非常方便。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种单晶硅炉内外导流筒组合件，包括内导流筒(2)，其特征在于：所述内导流筒(2)的顶端固定设有内导流筒法兰(4)，所述内导流筒法兰(4)的表面开设有若干第一销轴孔，所述内导流筒(2)的底端均匀开设有三个卡槽(6)，所述内导流筒(2)的外部套设有外导流筒(1)，所述外导流筒(1)的顶端固定设有外导流筒法兰(3)，所述外导流筒法兰(3)的表面开设有若干第二销轴孔，若干所述第二销轴孔的内部均与销轴(7)贯穿，若干销轴(7)穿过第二销轴孔的一端与第一销轴孔穿插连接，所述外导流筒(1)的底端均匀固定设有三个卡块(5)，且三个卡块(5)分别与三个卡槽(6)卡合连接。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅炉内外导流筒组合件，其特征在于，所述外导流筒法兰(3)与内导流筒法兰(4)的连接处设有密封垫。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅炉内外导流筒组合件，其特征在于，所述内导流筒(2)和外导流筒(1)均为石墨材料制成。
4.根据权利要求1所述的一种单晶硅炉内外导流筒组合件，其特征在于，三个所述卡块(5)的长度小于相连卡槽(6)之间的间距。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅炉内外导流筒组合件，其特征在于，所述第二销轴孔为沉头孔。
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