CN207874600U - 一种g8金刚线开方机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种G8金刚线开方机，包括双立柱龙门单元、切割头和线管理单元；所述双立柱龙门单元包括底座、左立柱、右立柱和横梁，所述左立柱和所述右立柱下端分别固定于所述底座两端，所述左立柱和所述右立柱上端分别与所述横梁两端固定连接；所述切割头左右两端分别与所述左立柱和所述右立柱相连接，所述切割头下部设置切割组；所述底座一侧固定连接底托，所述底托上设置线管理固定板。本实用新型通过设置左立柱、右立柱、和横梁，设置的由底座、左立柱、右立柱、和横梁构成双立柱龙门结构，且均为铸铁件，有利于加强本实用新型的刚性，增加切割的精度和稳定性，防止切割头切割硅锭时变形。

Description

一种G8金刚线开方机

技术领域

本实用新型涉及多线切割设备领域，特别涉及一种G8金刚线开方机。

背景技术

多线切割技术是目前世界上比较先进的晶体硅加工技术，它的原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢丝上的切割刃料对半导体等硬脆材料进行摩擦而达到切割效果。多线切割技术与传统的刀锯片、砂轮片及内圆切割相比有具有效率高，产能高，精度高等优点，多线切割技术是目前采用最广泛的半导体等硬脆材料切割技。

因此，发明一种G8金刚线开方机来解决上述问题很有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种G8金刚线开方机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种G8金刚线开方机，包括双立柱龙门单元、切割头和线管理单元；

所述双立柱龙门单元包括底座、左立柱、右立柱和横梁，所述左立柱和所述右立柱下端分别固定于所述底座两端，所述左立柱和所述右立柱上端分别与所述横梁两端固定连接；

所述切割头左右两端分别与所述左立柱和所述右立柱相连接，所述切割头下部设置切割组；

所述底座一侧固定连接底托，所述底托上设置线管理固定板；

所述线管理单元包括收放线机构和张紧机构，所述收放线机构包括收放线伺服电机和固定于所述收放线伺服电机的电机轴上的收放线辊，所述收放线伺服电机固定于所述线管理固定板上，所述张紧机构包括张力伺服电机和固定于所述张力伺服电机上的张力轮，所述张力伺服电机固定于所述线管理固定板上。

进一步的，上述技术方案中，还包括工作台、晶托和硅锭，所述底座顶部连接工作台，所述工作台顶部连接晶托，所述晶托顶部放置硅锭。

进一步的，上述技术方案中，所述硅锭通过密集钢球组件放置于所述晶托顶部。

进一步的，上述技术方案中，所述密集钢球组件包括上保持架、下保持架、连接螺钉和钢球，所述上保持架和下保持架通过连接螺钉相连接，所述上保持架上设置若干凹槽，所述凹槽内设置钢球。

进一步的，上述技术方案中，还包括用于上料的上料车，所述上料车设置于所述底座一侧。

本实用新型的技术效果和优点：本实用新型通过设置左立柱、右立柱、和横梁，设置的由底座、左立柱、右立柱、和横梁构成双立柱龙门结构，且均为铸铁件，有利于加强本实用新型的刚性，增加切割的精度和稳定性，防止切割头切割硅锭时变形，通过右立柱与切割头浮动连接，有利于确保切割头上下运动精度稳定、不变形，不产生结构变形带来的切割误差，这样既能保证切割头随着左立柱和右立柱滑台同步升降，又可以避免左立柱和右立柱平行度误差造成的移动干涉，同时也降低了立柱的加工装配精度要求，通过设置移动装置，在晶托与工作台之间放置的移动装置，通过密集的钢球、上保持架和下保持架，使晶托与工作台之间的平动由滑动改为滚动，使得硅锭移动时更加的快速，不仅减少了对硅锭的损坏，而且提高了上料和卸料的效率，使得调整方便。

附图说明

图1为本实用新型的所述G8金刚线开方机结构示意图；

图2为本实用新型的所述G8金刚线开方机结构示意图；

图3为本实用新型的所述密集钢球组件结构示意图；

图中：1底托、2切割组、3收放线机构、4左立柱、5切割头、6横梁、 7右立柱、8张紧机构、9密集钢球组件、10上保持架、11下保持架、12连接螺钉、13钢球、14硅锭、15晶托、16工作台、17底座、18上料车。

具体实施方式

本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或者暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

本实用新型所述G8的含义为在硅锭上横纵切割出8*8＝64块相同的 158mm*158mm的硅块。

本实用新型提供了如图1-3所示的一种G8金刚线开方机，包括双立柱龙门单元、切割头5和线管理单元；

所述双立柱龙门单元包括底座17、左立柱4、右立柱7和横梁6，所述左立柱4和所述右立柱7下端分别固定于所述底座17两端，所述左立柱4和所述右立柱7上端分别与所述横梁6两端固定连接；

所述切割头5左右两端分别与所述左立柱4和所述右立柱7相连接，所述切割头5下部设置切割组2；

所述底座17一侧固定连接底托1，所述底托1上设置线管理固定板；

所述线管理单元包括收放线机构3和张紧机构8，所述收放线机构3包括收放线伺服电机和固定于所述收放线伺服电机的电机轴上的收放线辊，所述收放线伺服电机固定于所述线管理固定板上，所述张紧机构8包括张力伺服电机和固定于所述张力伺服电机上的张力轮，所述张力伺服电机固定于所述线管理固定板上。

进一步的，上述技术方案中，还包括工作台16、晶托15和硅锭14，所述底座17顶部连接工作台16，所述工作台16顶部连接晶托15，所述晶托15 顶部放置硅锭14。

进一步的，上述技术方案中，所述硅锭14通过密集钢球组件9放置于所述晶托15顶部。

进一步的，上述技术方案中，所述密集钢球组件9包括上保持架10、下保持架11、连接螺钉12和钢球13，所述上保持架10和下保持架11通过连接螺钉12相连接，所述上保持架10上设置若干凹槽，所述凹槽内设置钢球 13。

进一步的，上述技术方案中，还包括用于上料的上料车18，所述上料车 18设置于所述底座17一侧。

优选的，所述切割头5左端与所述左立柱4通过导轨和丝杠连接，所述切割头5的右端与浮动连接件相连接，所述浮动连接件与所述右立柱7通过导轨和丝杠连接。

所述浮动连接件为便于与配对连接器对准连接而具有活动安装件的固定连接件，作为可替代的连接方式，本实用新型中还可以使用浮动安装连接器及其他相同功能的连接部件。

本实用工作原理：实用新型工作时，设置的由底座17、左立柱4、右立柱7和横梁6构成双立柱龙门结构，且均为铸铁件，其刚性好、精度稳定、不变形,左立柱4与切割头5连接，右立柱7与切割头5浮动连接，此结构确保切割头5上下运动精度稳定、不变形，不产生结构变形带来的切割误差，因为切割头5与左立柱4和右立柱7的移动滑台8的连接不同，与左立柱4 的移动滑台8为固定连接，与右立柱7滑台为浮动式支撑连接，这样既能保证切割头5随着左立柱4和右立柱7滑台同步升降，又可以避免左立柱4和右立柱7平行度误差造成的移动干涉，同时也降低了立柱的加工装配精度要求，由底座17、左立柱4、右立柱7、和横梁6构成双立柱龙门结构，且均为铸铁件，其刚性好、精度稳定、不变形,从而使切割尺寸精度更好，在晶托15 与工作台16之间放置的密集钢球组件9，使晶托15与工作台16之间的平动由滑动改为滚动，调整方便。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种G8金刚线开方机，其特征在于：包括双立柱龙门单元、切割头和线管理单元；

所述双立柱龙门单元包括底座、左立柱、右立柱和横梁，所述左立柱和所述右立柱下端分别固定于所述底座两端，所述左立柱和所述右立柱上端分别与所述横梁两端固定连接；

所述切割头左右两端分别与所述左立柱和所述右立柱相连接，所述切割头下部设置切割组；

所述底座一侧固定连接底托，所述底托上设置线管理固定板；

所述线管理单元包括收放线机构和张紧机构，所述收放线机构包括收放线伺服电机和固定于所述收放线伺服电机的电机轴上的收放线辊，所述收放线伺服电机固定于所述线管理固定板上，所述张紧机构包括张力伺服电机和固定于所述张力伺服电机上的张力轮，所述张力伺服电机固定于所述线管理固定板上。

2.根据权利要求1所述的G8金刚线开方机，其特征在于：还包括工作台、晶托和硅锭，所述底座顶部连接工作台，所述工作台顶部连接晶托，所述晶托顶部放置硅锭。

3.根据权利要求2所述的G8金刚线开方机，其特征在于：所述硅锭通过密集钢球组件放置于所述晶托顶部。

4.根据权利要求3所述的G8金刚线开方机，其特征在于：所述密集钢球组件包括上保持架、下保持架、连接螺钉和钢球，所述上保持架和下保持架通过连接螺钉相连接，所述上保持架上设置若干凹槽，所述凹槽内设置钢球。

5.根据权利要求3所述的G8金刚线开方机，其特征在于：还包括用于上料的上料车，所述上料车设置于所述底座一侧。