CN207632916U - 镀覆装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及相对于被从卷成卷状的工件拉出的板状的工件连续地进行镀覆处理的镀覆装置。镀覆装置(10)具备前处理部(13)、镀覆处理部(14)、后处理部(15)。前处理部(13)具有将印刷基板(11)保持成垂直状态的前处理部辊(18),镀覆处理部(14)具有夹紧件移动机构(多个夹紧件、马达、一对轮(22、23)及链),后处理部(15)具有将印刷基板(11)保持成垂直状态的后处理部辊(42)。夹紧件移动机构将印刷基板(11)保持成垂直状态来使其移动,所以能够良好地进行镀覆液的搅拌、气泡的除去等处理,且能够抑制印刷基板(11)的伸展。
Description
技术领域
本实用新型涉及相对于从卷成卷状的工件拉出的板状的工件连续地进行镀覆处理的镀覆装置。
背景技术
作为相对于从卷成卷状的工件拉出的板状的工件连续地进行镀覆处理的镀覆装置,存在如下镀覆装置:将工件以水平状态或垂直状态用辊夹入,用被设置于下游侧的卷绕机拉伸的同时搬运来进行镀覆处理。
实用新型内容
如上述镀覆装置那样,在将工件用辊夹入的状态下用下游侧的卷绕机拉伸的同时进行镀覆处理的情况下,若卷绕机的拉伸力变大,则有在工件上产生较大的伸展的可能性。此外,若将工件在水平状态下搬运,则在进行处理的工序中工件的上下表面的镀覆液的均匀搅拌、在下表面滞留的气泡的除去等较难,有不能良好地进行镀覆处理的可能性。因此,本实用新型的目的在于提供一种镀覆装置,前述镀覆装置能够良好地进行镀覆液的搅拌、气泡的除去等处理,且能够抑制工件的伸展。
为了解决上述问题,本实用新型的第1方案是一种镀覆装置,前述镀覆装置使板状的工件从上游侧向下游侧移动来相对于工件实施镀覆,具备前处理部、镀覆处理部、后处理部。前处理部具有将工件保持成垂直状态的第1保持机构,包括脱脂、水洗或酸洗的至少1个工序,使工件的表面清洁化。镀覆处理部具有夹紧件和夹紧件移动机构,使工件在垂直状态下向下游侧移动,对工件进行镀覆处理,前述夹紧件能够把持从前处理部移动来的工件的上端部,前述夹紧件移动机构使把持有工件的上端部的状态的夹紧件向下游侧移动。后处理部具有将工件保持成垂直状态的第2保持机构,包括水洗、防锈或干燥的至少1个工序,使从镀覆处理部移动来的工件的表面清洁化。
在上述方案中,在镀覆处理部,夹紧件移动机构使把持有工件的上端部的状态的夹紧件向下游侧移动,所以与在用辊夹入的状态搬运的情况相比能够抑制施加于工件的负荷,能够抑制工件的伸展。此外,在把将工件向下游侧拉伸的卷绕机设置于后处理部侧的情况下,与在镀覆处理部使工件向下游侧移动相应地,能够抑制作为卷绕机的整体的拉伸力,所以能够抑制工件的伸展。
此外,使工件在垂直状态下向下游侧移动,所以与以水平状态移动的情况相比,工件的两面的镀覆液的搅拌、气泡的除去等较容易,进而,不会导致在铜氧化固体物、铜块置于工件上表面的状态下被搬运而被辊压溃的工件面的打痕,能够良好地进行镀覆处理。此外,在电镀的情况下,能够将电极设置于夹紧件的末端。因此,设置多个夹紧件来将各夹紧件彼此以狭窄的间隔配置,由此不仅能够使施加于工件整体的通电量增大,还能够使在工件把持部产生的皱纹较少。本实用新型的第2方案为,在上述第1方案的镀覆装置中,镀覆处理部具有将进行镀覆处理的空间划分来将镀覆液存积于空间内的镀覆处理槽,镀覆处理槽具有前处理部侧的工件入口部和后处理部侧的工件出口部,工件入口部及工件出口部分别具有抑制镀覆液向镀覆处理槽的外部的流出的流出抑制机构。
本实用新型的第3方案为,在上述第2方案的镀覆装置中,流出抑制机构具有一对遮挡辊,前述一对遮挡辊在工件的两面侧在上下方向上延伸,接触于工件的表面,将镀覆处理槽和工件的两面之间遮挡。
在上述方案中,镀覆处理槽的工件入口部及工件出口部的流出抑制机构将镀覆处理槽和工件的两面之间遮挡,抑制镀覆液向镀覆处理槽的外部的流出。因此,能够防止镀覆处理槽的空间内的镀覆液的量相对于必要量不足。
本实用新型的第4方案为,在上述第3方案的镀覆装置中,流出抑制机构具有将一对遮挡辊的至少一方向另一方侧施力的施力机构。
在上述方案中,施力机构将一对遮挡辊的至少一方向另一方侧施力,所以能够抑制遮挡辊和工件的表面的间隙的产生,进而能够抑制镀覆液向镀覆处理槽的外部流出。
本实用新型的第5方案为,在上述第1~4方案的镀覆装置中,镀覆处理部具有存储槽、一对溢流坝、一对工件引导板。存储槽被配置于镀覆处理槽的下方。一对溢流坝被配置于工件搬运位置的上部两侧。一对工件引导板被配置于工件的两侧。镀覆处理部从存储槽汲取镀覆液来供给至溢流坝,在一对工件引导板和工件之间产生从溢流坝溢出的镀覆液的下降流。
在上述方案中,镀覆处理部使在一对工件引导板和工件之间产生镀覆液的下降流。即,在工件的表面两侧产生从上方向下方由于重力落下的液流,所以将从一对溢流坝溢出的镀覆液的流量等适当地设定,由此,能够使被一对工件引导板夹持的工件的左右两侧的压力在物理上均衡,能够将工件配置于一对工件引导板之间的大致中央。此外,借助在一对工件引导板和工件之间产生的镀覆液的下降流,在工件表面的附近能够将镀覆液充分搅拌。因此,在电镀的情况下,借助工件的冷却效果,能够进行高电流下的镀覆,提高生产率。
根据本实用新型,能够防止极薄的工件的振动、揺晃而位于搬运线的中心,能够良好地进行左右均等的镀覆处理,能够抑制工件的伸展。
附图说明
图1是本实用新型的一实施方式的镀覆装置的概念图,图1(a)是外部的概念图,图1(b)是内部的概念图。
图2是本实用新型的一实施方式的镀覆装置的前处理部及后处理部的内部的概念图。
图3是本实用新型的一实施方式的镀覆装置的镀覆处理部的要部的概念图。
图4是本实用新型的一实施方式的镀覆装置的下降流发生装置的概略图。
图5是本实用新型的一实施方式的镀覆装置的基板出口部的概略图,图5(a)表示从上方观察的状态,图5(b)表示从箭头Vb观察的状态。
图6是本实用新型的其他实施方式的镀覆装置的基板出口部的概略图,图6(a)表示从上方观察的状态,图6(b)表示从箭头VIb观察的状态。
具体实施方式
以下,基于附图,对本实用新型的一实施方式进行说明。另外,在各图中,留白的箭头表示搬运印刷基板的方向。
如图1(a)及图1(b)所示,本实施方式的镀覆装置10具有将被卷成卷状的印刷基板(工件)11送出的上游侧的退卷机12、前处理部13、镀覆处理部14、后处理部15、及将镀覆的印刷基板11卷绕来容纳地下游侧的卷绕机16。印刷基板11被卷绕机16从退卷机12拉出,被从上游侧向下游侧搬运。退卷机12、前处理部13、镀覆处理部14、后处理部15、及卷绕机16的每一个被固定于支承框17。
退卷机12支承将在上下方向上延伸的轴作为中心卷成卷状的印刷基板11。被从退卷机12拉出的印刷基板11以垂直状态被向前处理部13搬运。
如图1(a)、图1(b)及图2所示,前处理部13使进行镀覆处理前的印刷基板11的表面11b清洁化,是以能够对印刷基板11的表面11b进行良好的镀覆处理的方式进行前处理的部分,包括脱脂、水洗、及酸洗的工序。在脱脂工序中,除去印刷基板11的表面11b的油分等。在酸洗工序中,除去印刷基板11的表面11b的氧化物层。在水洗工序中,将印刷基板11的表面11b水洗。前处理部13具有将来自退卷机12的印刷基板11从两面侧夹着来保持垂直状态的多对前处理部辊(第1保持机构)18。多对前处理部辊18是树脂制(例如橡胶制) 的辊,被沿印刷基板11的搬运方向以既定间隔离开的方式配置,相对于支承框17固定地立起。前处理部辊18被配置于印刷基板11的两面侧,在上下方向上延伸,将印刷基板11夹持。前处理后的印刷基板11以垂直状态被向镀覆处理部14搬运。另外,在前处理部13中,进行脱脂、水洗、及酸洗的各工序的次数不被限定,可以是1次,或者也可以是多次。此外,在本实施方式中,前处理部13包括脱脂、水洗、及酸洗的工序,但不限于此,前处理部13包括脱脂、水洗、或酸洗的至少1个工序即可。
如图3及图4所示,镀覆处理部14具有镀覆处理槽19、多个夹紧件20、马达21、一对轮22、23(参照图1(b))、链24、一对镀覆液溢流坝(一对溢流坝)25、一对工件引导板32、阳极电极部(省略图示)、镀覆液管理槽(存储槽)33。另外,多个夹紧件20具有大致相同的结构,所以以下对一个夹紧件20进行说明,省略其他夹紧件20的说明。
一对轮22、23被配置于镀覆处理部14的上游侧和下游侧,挂有链24。一对轮22、23与马达21的旋转从动地旋转。多个夹紧件20被相对于链24固定。若一对轮22、23与马达21的旋转从动地旋转,则链24旋转,下侧的链24的多个夹紧件20沿印刷基板11的搬运方向移动。即,马达21、一对轮22、23和链24作为夹紧件移动机构发挥功能。
夹紧件20具有一对臂27a、27b、被在一对臂27a、27b的末端互向相向地设置的电极部28a、28b。一对臂27a、27b的中间部彼此经由旋转轴(省略图示)被连结。夹紧件20被开闭自如地支承于链24,借助被配置于与电极部28a、28b相反的一侧的端部(以下称作基端部)间的弹簧(省略图示)向关闭方向施力。在比一对轮22、23靠下方的夹紧件20的两侧,配置一对开闭轨道29(在图3中仅图示了1个开闭轨道29),被相对于支承框17固定。若夹紧件20旋转移动,基端部抵接于一对开闭轨道29,则一对开闭轨道29将基端部向内侧(互相接近的方向)推压,夹紧件20对抗弹簧的作用力而呈打开状态。进而,若夹紧件20旋转移动,从一对开闭轨道29脱离,则夹紧件20被弹簧施力而呈关闭状态。夹紧件20在与上侧的链24一同向与搬运方向相反的方向移动的期间呈关闭状态,在沿上游侧(前处理部13侧)的轮22从上侧向下侧移动的途中,借助一对开闭轨道29而呈打开状态,若向轮22的下侧移动,则从一对开闭轨道29脱离而呈关闭状态,将印刷基板11的上端部11a夹持。夹持着印刷基板11的上端部11a的状态的夹紧件20的电极部28a、28b抵接于印刷基板11。夹紧件20以夹持着印刷基板11的上端部11a的状态与下侧的链24一同向搬运方向移动,若到达下游侧的轮23的下方,则借助一对开闭轨道29而呈打开状态,在沿轮23从下侧向上侧移动的途中从一对开闭轨道29脱离而呈关闭状态。被夹持于夹紧件20的印刷基板11从上游侧向下游侧,在后述的镀覆处理槽19内的镀覆液中移动。夹紧件20的电极部28a、28b构成阴极电极,在夹持有印刷基板11的状态下,被浸渍于镀覆处理槽19内的镀覆液中而向下游侧移动。夹紧件20的电极部28a、28b的周边借助绝缘膜等被绝缘处理。
镀覆处理槽19是将进行镀覆处理的空间划分来在空间内存积镀覆液的槽,被配置于多个夹紧件20、一对轮22、23、及链24的下方。镀覆处理槽19具有工件入口部34和工件出口部35,前述工件入口部34是从上游的前处理部13侧移动来的印刷基板11的入口,前述工件出口部35是向下游的后处理部15侧移动的印刷基板11的出口 (参照图1(a))。
在镀覆处理槽19的底面部的印刷基板11的下方,设置沿印刷基板11的搬运方向长条地延伸的长孔状的镀覆液排出部26。从镀覆液排出部26排出镀覆液。在镀覆液排出部26的下方配置镀覆液管理槽33,承接被从镀覆液排出部26排出的镀覆液。即,镀覆液排出部26借助落差被连接于镀覆液管理槽33。镀覆液管理槽33内的镀覆液被分析计(省略图示)分析,供给被镀覆处理消耗的金属离子等,维持在恒定的管理范围内。另外,镀覆液排出部26的形状不限于长孔状,例如,也可以是多个圆孔状,前述多个圆孔状被配置成在印刷基板11的下方,且被左右对称地配置于印刷基板11的两侧,被隔开既定的间隔设置。
一对镀覆液溢流坝25被配置于印刷基板11(工件搬运位置)的上方的左右两侧。即,一对镀覆液溢流坝25被配置于工件搬运位置的上部两侧。在一对镀覆液溢流坝25上,供给被循环泵38送来的来自镀覆液管理槽33的处理液(镀覆液)。一对镀覆液溢流坝25允许镀覆液向内侧(印刷基板11侧)的溢出。一对工件引导板32从一对镀覆液溢流坝25的内侧的边缘部连续地向下方延伸,被配置于印刷基板11的左右两侧的附近。一对工件引导板32将从一对镀覆液溢流坝25溢出的镀覆液向印刷基板11的表面11b侧引导。即,从一对镀覆液溢流坝25溢出的镀覆液向印刷基板11和一对工件引导板32之间落下。
阳极电极部(省略图示)在镀覆处理槽19内的空间的工件引导板32的两侧,即,在印刷基板11的两侧,沿印刷基板11的搬运方向隔开既定的间隔交替地配置多个。镀覆液溢流坝25及工件引导板32被连续地或隔开既定的间隔地在上下方向上被配置,在上下方向上延伸。
在工件入口部34及工件出口部35的每一个上,设置抑制镀覆液从镀覆处理槽19流出的堰部(流出抑制机构)36。另外,工件入口部34及工件出口部35的堰部36具有大致相同的结构,所以在以下的说明中,对工件出口部35的堰部36进行说明,省略工件入口部34侧的说明。
如图5(a)及图5(b)所示,堰部36具有一对遮挡辊39a、39b和上下一对的线圈弹簧(施力机构)40,前述一对遮挡辊39a、39b被设置于镀覆处理槽19的工件出口部35的外侧,被配置于印刷基板11的两侧,前述线圈弹簧(施力机构)40将一方的遮挡辊39a向另一方的遮挡辊39b侧施力。
一对遮挡辊39a、39b被配置于工件出口部35的外侧(下游侧)的两侧,在上下方向上延伸,经由托架41被支承于镀覆处理槽19。一方的遮挡辊39a以沿上下方向的轴为中心旋转自如、且在与印刷基板11的表面11b正交的方向上滑动移动自如的方式,被支承于托架41。另一方的遮挡辊39b以沿上下方向的轴为中心旋转自如地被支承于托架41。
线圈弹簧40被配置于,向比工件出口部35靠下游侧的方向延伸的镀覆处理槽19的侧面部和一方的遮挡辊39a之间,将一方的遮挡辊39a向另一方的遮挡辊39b侧施力。在印刷基板11被配置于一对遮挡辊39a、39b间的状态下,一对遮挡辊39a、39b借助线圈弹簧40的作用力与印刷基板11的表面11b接触,将镀覆处理槽19和印刷基板11的表面11b之间遮挡。
如图1(a)及图1(b)所示,后处理部15是进行使从镀覆处理部14移动来的镀覆处理后的印刷基板11的表面11b清洁化的后处理的部分,包括水洗、防锈及干燥的工序。在水洗工序中,将印刷基板11的表面11b水洗。在防锈工序中,对印刷基板11的表面11b进行防锈加工。在干燥工序中,将印刷基板11的表面11b干燥。后处理部15具有多对后处理部辊(第2保持机构)42,前述多对后处理部辊(第2保持机构)42从两面侧夹着从镀覆处理部14移动来的印刷基板11来保持成垂直状态。多对后处理部辊42是与图2所示的前处理部13的前处理部辊18大致结构相同的树脂制(例如橡胶制) 的辊,被配置成沿印刷基板11的搬运方向在既定间隔上离开,被相对于支承框17固定地立起。后处理部辊42被配置于印刷基板11的两面侧,沿上下方向延伸来夹持印刷基板11。从镀覆处理部14移动来的镀覆处理后的印刷基板11在垂直状态下使后处理部15从上游侧向下游侧的卷绕机16侧移动。另外,在后处理部15中,进行水洗、防锈及干燥的各工序的次数不被限定,可以是1次,或者也可以是多次。此外,在本实施方式中,后处理部15包括水洗、防锈及干燥的工序,但不限于此,后处理部15包括水洗、防锈或干燥的至少1个工序即可。
卷绕机16具有马达(省略图示),以沿上下方向的轴为中心,将印刷基板11卷绕成卷状。
在如上所述地构成的镀覆装置10中,在镀覆处理部14中,马达21、一对轮22、23及链24的夹紧件移动机构使把持有印刷基板11的上端部11a的状态的夹紧件20向下游侧移动,所以与借助辊夹入的状态下搬运的情况相比能够抑制施加于印刷基板11的负荷,能够抑制印刷基板11的伸展。
此外,借助镀覆处理部14使印刷基板11向下游侧移动,所以能够相应地抑制作为下游侧的卷绕机16的整体的拉伸力,能够抑制印刷基板11的伸展。
因此,根据本实施方式,能够抑制印刷基板11的伸展。
此外,镀覆处理部14使印刷基板11以垂直状态向下游侧移动,所以与以水平状态移动的情况相比,印刷基板11的两面的镀覆液的搅拌、气泡的除去等较为容易,能够良好地进行镀覆处理。
此外,将电极部28a、28b设置于夹紧件20的臂27a、27b的末端,所以将多个夹紧件20的各夹紧件20彼此以较窄的间隔配置,由此能够使施加于印刷基板11整体的通电量增大。
此外,镀覆处理槽19的工件入口部34及工件出口部35的堰部36将镀覆处理槽19和印刷基板11的两面之间遮挡,抑制镀覆液向镀覆处理槽19的外部流出,所以能够防止镀覆处理槽19的空间内的镀覆液的量相对于必要量不足的情况。
此外,堰部36的线圈弹簧40将一方的遮挡辊39a向另一方的遮挡辊39b侧施力,所以能够抑制遮挡辊39a、39b和印刷基板11的表面11b之间的间隙的产生,能够进一步抑制镀覆液向镀覆处理槽19的外部流出。
此外,借助镀覆液溢流坝25及工件引导板32,在印刷基板11的左右两侧产生大致均等的下降液流,所以在印刷基板11的表面11b的附近能够充分搅拌镀覆液。因此,能够进行高电流下的镀覆。此外,在印刷基板11的表面11b上产生从上方向下方的镀覆液的液流,所以能够借助该液流将印刷基板11向下方拉伸,能够防止印刷基板11的挠曲、翘曲。
此外,使对印刷基板11的表面11b进行镀覆处理后的低浓度镀覆液从镀覆液排出部26向镀覆液管理槽33返回,在镀覆液管理槽33内对镀覆液供给金属离子等,镀覆液被维持在恒定的管理范围内,镀覆液从镀覆液管理槽33经由镀覆液溢流坝25及工件引导板32被供给至印刷基板11的表面11b。这样,向印刷基板11的表面11b持续提供被维持在恒定的管理范围内的镀覆液,所以能够实现高电流密度。
此外,夹紧件20的电极部28a、28b在夹持有印刷基板11的状态下,被浸渍于镀覆处理槽19内的镀覆液中,所以能够防止印刷基板11和夹紧件20之间的接触火花。此外,夹紧件20的电极部28a、28b的周边被绝缘膜等绝缘处理,能够防止向夹紧件20的镀覆的附着。
另外,在本实施方式中,在前处理部13上设置前处理部辊(第1保持机构)18,在后处理部15上设置后处理部辊(第2保持机构)42,将印刷基板11保持成垂直状态,但第1保持机构及第2保持机构不限于此。例如,前处理部13或后处理部15也可以取代前处理部辊18或后处理部辊42而与镀覆处理部14同样地,具有第1保持机构或第2保持机构,前述第1保持机构或第2保持机构将印刷基板11的上端部11a用夹紧件20夹持,以将印刷基板11保持成垂直状态的状态从上游侧向下游侧搬运。
此外,在本实施方式中,在镀覆处理槽19的工件入口部34及工件出口部35的堰部36,作为将一方的遮挡辊39a向另一方的遮挡辊39b侧施力的施力机构设置有线圈弹簧40,但施力机构不限于此。例如,也可以设置板簧、橡胶等弹性部件的施力机构。或者,也可以是,不设置将一方的遮挡辊39a向另一方的遮挡辊39b侧施力的施力机构,将一对遮挡辊39a、39b间的间隙设定成抑制镀覆液从镀覆处理槽19流出,并且允许印刷基板11的移动的大小。
此外,在本实施方式中,将具有一对遮挡辊39a、39b和线圈弹簧40的堰部(流出抑制机构)36设置于镀覆处理槽19的工件入口部34及工件出口部35,但流出抑制机构不限于此。例如,如图6(a)及图6(b)所示,印刷基板11及夹紧件20的末端部(下端部)也可以将具有能够插通的切口52的板状的堰部(流出抑制机构)51设置于工件入口部34(参照图1(a))及工件出口部35。在切口52的两侧在上下方向上延伸的堰部51的内端边缘53被配置于印刷基板11的表面11b的附近,堰部51的内端边缘53和印刷基板11之间的间隙设定成抑制镀覆液从镀覆处理槽19流出并且允许印刷基板11的移动的大小。
以上,关于本实用新型,基于上述实施方式进行了说明,但本实用新型不限于上述实施方式的内容,当然能够在不脱离本实用新型的范围适当地改变。即,显然基于本实施方式,本领域技术人员能够作出的其他实施方式、实施例及应用技术等全部被包含于本实用新型的范围。
例如,在上述实施方式中,将本实用新型的镀覆装置应用于电镀,但也可以应用于无电解镀覆。该情况下,在前处理部13、镀覆处理部14、及后处理部15的全部的工序中,也可以借助夹紧件20夹持印刷基板11的上端部11a来从上游侧向下游侧搬运。
Claims (4)
1.一种镀覆装置,前述镀覆装置使板状的工件从上游侧向下游侧移动来相对于前述工件实施镀覆,其特征在于,
具备前处理部、镀覆处理部、后处理部,
前述前处理部具有将前述工件保持成垂直状态的第1保持机构,包括脱脂、水洗或酸洗的至少1个工序,使前述工件的表面清洁化,
前述镀覆处理部具有夹紧件和夹紧件移动机构,使前述工件在垂直状态下向下游侧移动,对前述工件进行镀覆处理,前述夹紧件能够把持从前述前处理部移动来的前述工件的上端部,前述夹紧件移动机构使把持有前述工件的上端部的状态的前述夹紧件向下游侧移动,
前述后处理部具有将前述工件保持成垂直状态的第2保持机构,包括水洗、防锈或干燥的至少1个工序,使从前述镀覆处理部移动来的前述工件的表面清洁化,
前述镀覆处理部具有将进行镀覆处理的空间划分来将镀覆液存积于前述空间内的镀覆处理槽,
前述镀覆处理槽具有前述前处理部侧的工件入口部和前述后处理部侧的工件出口部,
前述工件入口部及前述工件出口部分别具有抑制镀覆液向前述镀覆处理槽的外部流出的流出抑制机构。
2.如权利要求1所述的镀覆装置,其特征在于,
前述流出抑制机构具有一对遮挡辊,前述一对遮挡辊在前述工件的两面侧在上下方向上延伸,接触于前述工件的表面,将前述镀覆处理槽和前述工件的两面之间遮挡。
3.如权利要求2所述的镀覆装置,其特征在于,
前述流出抑制机构具有将前述一对遮挡辊的至少一方向另一方侧施力的施力机构。
4.如权利要求1~3中任一项所述的镀覆装置,其特征在于,
前述镀覆处理部具有存储槽、一对溢流坝、一对工件引导板,前述存储槽被配置于前述镀覆处理槽的下方,前述一对溢流坝被配置于工件搬运位置的上部两侧,前述一对工件引导板被配置于前述工件的两侧,前述镀覆处理部从前述存储槽汲取镀覆液来供给至前述溢流坝,在前述一对工件引导板和前述工件之间产生从前述溢流坝溢出的镀覆液的下降流。
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CN (1) | CN207632916U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN115119515A (zh) * | 2021-01-20 | 2022-09-27 | 株式会社荏原制作所 | 镀覆装置以及基板的膜厚测定方法 |
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2017
- 2017-10-09 CN CN201721291514.2U patent/CN207632916U/zh active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN115119515A (zh) * | 2021-01-20 | 2022-09-27 | 株式会社荏原制作所 | 镀覆装置以及基板的膜厚测定方法 |
CN115119515B (zh) * | 2021-01-20 | 2023-03-24 | 株式会社荏原制作所 | 镀覆装置以及基板的膜厚测定方法 |
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GR01 | Patent grant | ||
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