CN207608618U - 挂片送料装置以及光学镀膜设备 - Google Patents

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徐旻生
庄炳河
龚文志
张永胜
满小花
王应斌
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Ulvac Opto Electronics Thinfilm Technology Shenzhen Co Ltd
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Abstract

本实用新型属于光学镀膜技术领域,尤其涉及一种挂片送料装置以及光学镀膜设备,其中,挂片送料装置包括基片架、位于镀膜机左侧并与送片口连通的递送室、与递送室连通并位于递送室下方的中间室以及用于将基片架从中间室提起至递送室并从送片口递送至中间转盘以使基片架挂持于中间转盘的垂直递送机构,基片架包括基架座以及连接于基架座右侧的倒勾,垂直递送机构包括中间连接组件、与中间连接组件连接并用于拿取基片架的挂架、用于驱动中间连接组件上下运动的垂直驱动组件以及驱动中间连接组件左右运动的水平驱动组件。基于本实用新型的结构,简化了挂片作业,提高了挂片效率。

Description

挂片送料装置以及光学镀膜设备
技术领域
本实用新型属于光学镀膜技术领域,尤其涉及一种挂片送料装置以及光学镀膜设备。
背景技术
光学镀膜设备中,需要利用挂片送料装置将基片挂至镀膜机挂载,其中,目前,将基片挂至镀膜机挂载的过程较为复杂,导致挂片效率较低。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服上述现有技术的不足,提供了一种挂片送料装置,其旨在解决挂排片效率低的问题。
本实用新型是这样实现的:一种挂片送料装置,用于将基片送入镀膜机,所述镀膜机具有送片口以及中间转盘,所述挂片送料装置包括供所述基片粘附的基片架、位于所述镀膜机左侧并与所述送片口连通的递送室、与所述递送室连通并位于所述递送室下方的中间室以及用于将所述基片架从所述中间室提起至所述递送室并从所述送片口递送至所述中间转盘以使所述基片架挂持于所述中间转盘的垂直递送机构,所述基片架包括基架座以及连接于所述基架座右侧的倒钩,所述垂直递送机构包括中间连接组件、与所述中间连接组件连接并用于拿取所述基片架的挂架、用于驱动所述中间连接组件上下运动的垂直驱动组件以及驱动所述中间连接组件左右运动的水平驱动组件。
可选地,所述中间连接组件包括自锁机构、由所述垂直驱动组件驱动上下运动的支撑座以及与所述支撑座在左右方向滑动配合且与所述挂架连接并由所述水平驱动组件驱动左右运动的主架座,所述水平驱动组件随所述主架座一并上下运动,所述自锁机构包括第一卡止件、与所述主架座连接的第二卡止件以及在其弹性恢复力的作用下驱动所述第一卡止件向所述第二卡止件运动以使所述第一卡止件和所述第二卡止件卡接配合从而限制所述支撑座和所述主架座左右滑动的第一弹性件,所述第一弹性件在所述挂架与所述送片口处于同一水平位置时受到用于克服其弹性恢复力的外力。
可选地,所述支撑座开设上下方向贯通的导孔,所述第一卡止件设有朝上的卡齿,所述第二卡止件设有与所述卡齿卡接配合的卡槽;
所述自锁机构包括穿过所述导孔并与所述导孔滑接配合的导杆以及连接于所述导杆上杆端的限位件,所述第一弹性件一端与所述限位件弹性抵触,另一端与所述支撑座弹性抵触,所述限位件在所述挂架与所述送片口处于同一水平位置时抵触所述递送室上顶面。
可选地,所述挂架包括挂架本体以及与所述挂架本体连接并朝右延伸形成的挂持杆,所述基片架开设有左右方向贯通设置并供所述挂持杆置入的挂孔。
可选地,所述挂架包括连接与所述挂持杆自由端并向上延伸形成且用于限制所述基片架脱离所述挂持杆的限位钩。
可选地,所述中间连接组件包括与所述挂架连接并与所述主架座在左右方向滑动连接的连接座、一端与所述主架座连接而另一端与所述连接座并在其弹性恢复力的作用下驱动所述挂架具有向右运动的趋势的第二弹性件以及用于驱动所述连接座向左运动的挂架辅助机构。
可选地,所述挂架辅助机构包括与所述连接座连接的辅助连接件以及用于驱动所述辅助连接件左右运动的辅助驱动器。
可选地,所述挂片送料装置包括置于所述中间室前侧的进片室、位于所述中间室后侧的出片室、用于将所述基片架从所述进片室运载至所述中间室并从所述中间室运载至所述出片室的运载小车,所述运载小车至少设有一个。
可选地,所述挂片送料装置包括用于隔断所述进片室和所述中间室的第一隔断件、用于将所述进片室抽真空的第一真空泵、用于隔断所述出片室和所述中间室的第二隔断件以及用于将所述出片室抽真空的第二真空泵。
本实用新型还提供一种光学镀膜设备,包括上述的挂片送料装置。
基于本实用新型的结构设计,在挂片的过程中,首先,利用垂直驱动组件驱动中间连接组件向下运动,其中,挂架随中间连接组件一并向下运动,直至挂架到达中间室,其次,与中间室内,挂架拿取将粘附有基片的基片架,然后,再利用垂直递送机构将基片架从中间室提起至递送室并从送片口递送至中间转盘。由此可知,只需将粘附有基片的基片架防止在中间室内供挂架拿取即可实现挂片作业,简化了挂片作业,提高了挂片效率。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型实施例提供的挂片送料装置的一种状态下的整体结构示意图,其中,基片架处于中间室中;
图2是图1另一种状态下的结构示意图,其中,基片架处于递送室中;
图3是图1再一种状态下的结构示意图,其中,基片架吊挂于中间转盘;
图4是图1的放大结构示意图;
图5是本实用新型实施例提供的基片架的放大结构示意图;
图6是本实用新型实施例提供的挂架的放大结构示意图;
图7是本实用新型实施例提供的挂片送料装置的部分结构示意图。
附图标号说明:
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
请参阅图1至图3,本实用新型实施例提供一种挂片送料装置100,用于将基片送入镀膜机200,镀膜机200具有送片口201以及中间转盘210,其中,基片可以是由玻璃制成的片材,可用作手机的屏幕或平板电脑的屏幕等。
请参阅图1至图5,该挂片送料装置100包括基片架110、递送室120、中间室130以及垂直递送机构140。基片架110供基片粘附,这样,避免后续作业工件直接夹持或抓持基片而导致基片出现损坏的情况;基片架110包括基架座以及连接于基架座右侧的倒钩,其中,倒钩用于搭挂于中间转盘210。递送室120位于镀膜机200左侧并与送片口201连通,中间室130与递送室120连通并位于递送室120下方,其中,递送室120和中间室130可以由不锈钢板材围合形成。垂直递送机构140用于将基片架110从中间室130提起至递送室120 并从送片口201递送至中间转盘210以使基片架110挂持于中间转盘210,并包括中间连接组件141、与中间连接组件141连接并用于拿取基片架110的挂架142、用于驱动中间连接组件141上下运动的垂直驱动组件143以及驱动中间连接组件141左右运动的水平驱动组件144。
基于上述结构设计,在挂片的过程中,首先,利用垂直驱动组件143驱动中间连接组件141向下运动,其中,挂架142随中间连接组件141一并向下运动,直至挂架142到达中间室130,其次,与中间室130内,挂架142拿取将粘附有基片的基片架110,然后,再利用垂直递送机构140将基片架110从中间室130提起至递送室120并从送片口201递送至中间转盘210。由此可知,只需将粘附有基片的基片架110防止在中间室130内供挂架142拿取即可实现挂片作业,简化了挂片作业,提高了挂片效率。
此外,在取片的过程中,反向操作挂片作业过程即可。
请参阅图4,中间连接组件141包括自锁机构1411、由垂直驱动组件143 驱动上下运动的支撑座1412以及与支撑座1412在左右方向滑动配合且与挂架 142连接并由水平驱动组件144驱动左右运动的主架座1413,水平驱动组件144 随主架座1413一并上下运动,自锁机构1411包括第一卡止件14111、与主架座1413连接的第二卡止件14112以及在其弹性恢复力的作用下驱动第一卡止件 14111向第二卡止件14112运动以使第一卡止件14111和第二卡止件14112卡接配合从而限制支撑座1412和主架座1413左右滑动的第一弹性件14113,第一弹性件14113在挂架142与送片口201处于同一水平位置时受到用于克服其弹性恢复力的外力。基于此结构设计,在挂架142尚未与送片口201处于同一水平位置时,能够避免支撑座1412和主架座1413在左右方向发生滑动。具体地,当垂直驱动组件143驱动支撑座1412向下运动或者挂架142尚与送片口 201处于同一水平位置时,第一弹性件14113在其弹性恢复力的作用下驱动第一卡止件14111向第二卡止件14112运动以使第一卡止件14111和第二卡止件 14112卡接配合从而限制支撑座1412和主架座1413左右滑动,此时,自锁机构1411锁定支撑座1412和主架座1413之间左右方向的位移,而当挂架142 与送片口201处于同一水平位置时,第一弹性件14113受到用于克服其弹性恢复力的外力,此时,解除了自锁机构1411的锁定。
上述中,支撑座1412和主架座1413之间通过导轨结构滑动配合。在本实用新型实施例中,支撑座1412设有左右布置的第一直线导轨,主架座1413设有与第一直线导轨滑接配合的第一滑块。
请参阅图4,支撑座1412开设上下方向贯通的导孔,第一卡止件14111设有朝上的卡齿,第二卡止件14112设有与卡齿卡接配合的卡槽;自锁机构1411 还包括穿过导孔并与导孔滑接配合的导杆14114以及连接于导杆14114上杆端的限位件14115,第一弹性件14113一端与限位件14115弹性抵触,另一端与支撑座1412弹性抵触,限位件14115在挂架142与送片口201处于同一水平位置时抵触递送室120上顶面。这样,无需设置其他结构件来产生克服第一弹性件14113的弹性恢复力的外力。
请参阅图6,挂架142包括挂架本体1421以及与挂架本体1421连接并朝右延伸形成的挂持杆1422,基片架110开设有左右方向贯通设置并供挂持杆 1422置入的挂孔。这样,挂架142可采用钩取的方式拿取基片架110,有利于简化了挂架142的结构。基于此结构,在挂片的过程中,在挂架142拿取到基片架110之前,当挂架142进入中间室130后,先让位于挂架142位于基片架 110的左侧,然后再由挂架辅助机构147驱动挂架142向右运动,使挂持杆1422 置入挂孔。
进一步地,请参阅图6,挂架142包括连接与挂持杆1422自由端并向上延伸形成且用于限制基片架110脱离挂持杆1422的限位钩1423。这样,通过限位钩1423的设置,有利于避免在移动基片架110的过程中因晃动而从挂持杆 1422上脱落。
请参阅图4,中间连接组件141包括与挂架142连接并与主架座1413在左右方向滑动连接的连接座145、一端与主架座1413连接而另一端与连接座145 并在其弹性恢复力的作用下驱动挂架142具有向右运动的趋势的第二弹性件 146以及用于驱动连接座145向左运动的挂架辅助机构147。基于此结构设计,当需要驱动挂架142向右运动,使挂持杆1422置入挂孔时,可以挂架辅助机构 147来驱动完成,而不需要水平驱动组件144来驱动。
具体地,挂架辅助机构147包括与连接座145连接的辅助连接件以及用于驱动辅助连接件左右运动的辅助驱动器。
请参阅图7,挂片送料装置100包括置于中间室130前侧的进片室150、位于中间室130后侧的出片室160、用于将基片架110从进片室150运载至中间室130并从中间室130运载至出片室160的运载小车170,运载小车170至少设有一个。
进一步地,挂片送料装置100包括用于隔断进片室150和中间室130的第一隔断件、用于将进片室150抽真空的第一真空泵、用于隔断出片室160和中间室130的第二隔断件以及用于将出片室160抽真空的第二真空泵。由于中间室130与递送室120需要真空环境,因此,在挂片过程中,第一隔断件先是隔断进片室150和中间室130,其次再将粘附有基片的基片架110放入进片室150,然后再利用第一真空泵将进片室150抽真空,最后取消第一隔断件对进片室150 和中间室130之间的隔断,而在下片过程中,第二隔断件先是隔断出片室160和中间室130,其次利用第二真空泵将出片室160抽真空,然后取消第二隔断件对出片室160和中间室130之间的隔断。再将粘附有基片的基片架110放入出片室160,最后第二隔断件对出片室160和中间室130之间进行隔断,出片室160暴露大气取出基片架110,完成基片架110从进片到真空镀膜、再到取片的全过程。
本实用新型还提出一种光学镀膜设备,该光学镀膜设备包括挂片送料装置100,该挂片送料装置100的具体结构参照上述实施例,由于本光学镀膜设备采用了上述所有实施例的全部技术方案,因此同样具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果,在此不再一一赘述。
以上仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换或改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种挂片送料装置,用于将基片送入镀膜机,所述镀膜机具有送片口以及中间转盘,其特征在于,所述挂片送料装置包括供所述基片粘附的基片架、位于所述镀膜机左侧并与所述送片口连通的递送室、与所述递送室连通并位于所述递送室下方的中间室以及用于将所述基片架从所述中间室提起至所述递送室并从所述送片口递送至所述中间转盘以使所述基片架挂持于所述中间转盘的垂直递送机构,所述基片架包括基架座以及连接于所述基架座右侧的倒钩,所述垂直递送机构包括中间连接组件、与所述中间连接组件连接并用于拿取所述基片架的挂架、用于驱动所述中间连接组件上下运动的垂直驱动组件以及驱动所述中间连接组件左右运动的水平驱动组件。
2.如权利要求1所述的挂片送料装置,其特征在于,所述中间连接组件包括自锁机构、由所述垂直驱动组件驱动上下运动的支撑座以及与所述支撑座在左右方向滑动配合且与所述挂架连接并由所述水平驱动组件驱动左右运动的主架座,所述水平驱动组件随所述主架座一并上下运动,所述自锁机构包括第一卡止件、与所述主架座连接的第二卡止件以及在其弹性恢复力的作用下驱动所述第一卡止件向所述第二卡止件运动以使所述第一卡止件和所述第二卡止件卡接配合从而限制所述支撑座和所述主架座左右滑动的第一弹性件,所述第一弹性件在所述挂架与所述送片口处于同一水平位置时受到用于克服其弹性恢复力的外力。
3.如权利要求2所述的挂片送料装置,其特征在于,所述支撑座开设上下方向贯通的导孔,所述第一卡止件设有朝上的卡齿,所述第二卡止件设有与所述卡齿卡接配合的卡槽;
所述自锁机构包括穿过所述导孔并与所述导孔滑接配合的导杆以及连接于所述导杆上杆端的限位件,所述第一弹性件一端与所述限位件弹性抵触,另一端与所述支撑座弹性抵触,所述限位件在所述挂架与所述送片口处于同一水平位置时抵触所述递送室上顶面。
4.如权利要求2所述的挂片送料装置,其特征在于,所述挂架包括挂架本体以及与所述挂架本体连接并朝右延伸形成的挂持杆,所述基片架开设有左右方向贯通设置并供所述挂持杆置入的挂孔。
5.如权利要求4所述的挂片送料装置,其特征在于,所述挂架包括连接与所述挂持杆自由端并向上延伸形成且用于限制所述基片架脱离所述挂持杆的限位钩。
6.如权利要求4所述的挂片送料装置,其特征在于,所述中间连接组件包括与所述挂架连接并与所述主架座在左右方向滑动连接的连接座、一端与所述主架座连接而另一端与所述连接座并在其弹性恢复力的作用下驱动所述挂架具有向右运动的趋势的第二弹性件以及用于驱动所述连接座向左运动的挂架辅助机构。
7.如权利要求6所述的挂片送料装置,其特征在于,所述挂架辅助机构包括与所述连接座连接的辅助连接件以及用于驱动所述辅助连接件左右运动的辅助驱动器。
8.如权利要求1至7中任一项所述的挂片送料装置,其特征在于,所述挂片送料装置包括置于所述中间室前侧的进片室、位于所述中间室后侧的出片室、用于将所述基片架从所述进片室运载至所述中间室并从所述中间室运载至所述出片室的运载小车,所述运载小车至少设有一个。
9.如权利要求8所述的挂片送料装置,其特征在于,所述挂片送料装置包括用于隔断所述进片室和所述中间室的第一隔断件、用于将所述进片室抽真空的第一真空泵、用于隔断所述出片室和所述中间室的第二隔断件以及用于将所述出片室抽真空的第二真空泵。
10.一种光学镀膜设备,其特征在于,包括如权利要求1至9中任一项所述的挂片送料装置。
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