CN207602529U - 一种分选机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于半导体设备领域，尤其涉及一种分选机，其至少包括放置待分选晶粒的载盘、水平可伸缩的固晶平台，设置于载盘和固晶平台之间的分选摆臂，其特征在于：还包括粘附分选后晶粒的粘合膜组件，所述粘合膜组件包括一对相互间隔一定距离的第一滚轮和第二滚轮，以及缠绕于第一滚轮和第二滚轮上的粘合膜，粘合膜在第一滚轮和第二滚轮之间呈平面状，缠绕于第一滚轮上的粘合膜未粘附晶粒，缠绕于第二滚轮上的粘合膜粘附有分选后的晶粒，分选摆臂从载盘抓取所需规格的晶粒，并转移至粘合膜组件的平面状粘合膜上完成分选。本实用新型节省耗材，降低LED分选成本。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体设备领域，尤其涉及一种分选晶粒的分选机。
背景技术
在LED芯粒制造过程中后道需通过分选机将同种等级芯粒自动抓取至同一Bin上，在分选过程中首先需要贴膜机对整卷蓝膜进行裁剪并粘贴于铁环上，再将贴好蓝膜放至料盒内，最后通过分选机的夹爪将蓝膜抓取至Bin平台上进行固晶，目前作业需使用贴膜机、料盒及铁环等辅助设备及治具，同时需人工手动将铁环塞至料盒，再载入自动贴膜机内进行贴膜，最后再将贴好的蓝膜移至分选机使用。
当前模式存在以下缺陷：
1、贴膜过程中，需要使用贴膜机，铁环，料盒等辅助设备，价格昂贵，且贴膜机、铁环和料盒在使用过程中容易损坏，导致耗费大量的维修费用；
2、贴膜前，需要人工塞环，浪费人力，时效低，人工塞环过程中无法避免塞错铁环或漏塞铁环情况，导致在贴膜时出现机台异常报警；
3、贴膜过程中，蓝膜耗损较大；
4、铁环在分选机夹爪移动至工作台过程中，铁环变形、料盒位置偏移或夹爪损坏等容易造成分选机报警，浪费分选机产能；
5、需要在满bin蓝膜表面覆盖离型纸，浪费离型纸等物料；
6、整体作业模式繁琐，搬运量巨大，容易造成料盒及片源掉落，进而造成LED芯粒刮伤、污染、料盒损坏等品质异常、人身安全隐患及物料损耗等。
发明内容
为解决以上问题，本实用新型提供一种分选机，至少包括放置待分选晶粒的载盘、水平可伸缩的固晶平台，设置于载盘和固晶平台之间的分选摆臂，其特征在于：还包括复数个粘附分选后晶粒的粘合膜组件，所述粘合膜组件包括一对相互间隔一定距离的第一滚轮和第二滚轮，以及缠绕于第一滚轮和第二滚轮上的粘合膜，粘合膜在第一滚轮和第二滚轮之间呈平面状，缠绕于第一滚轮上的粘合膜未粘附晶粒，缠绕于第二滚轮上的粘合膜粘附有分选后的晶粒，分选摆臂从载盘抓取所需规格的晶粒，并转移至粘合膜组件的平面状粘合膜上完成分选。
优选的，所述粘合膜组件还包括与第一滚轮和第二滚轮两侧固定连接的支架以及位于支架下端便于支架沿滑轨移动的的滑轮。
优选的，所述粘合膜组件还包括位于第一滚轮和第二滚轮之间的一对传动滚轮。
优选的，还包括放置粘合膜组件的复数个储存区以及连接储存区和固晶平台的滑轨，粘合膜组件从储存区移动至固晶平台与分选摆臂相对的一侧进行分选固晶。
优选的，所述储存区位于固晶平台的一侧或者多侧。
优选的，所述滑轨包括一条或多条，所述多条轨道包括主轨道和多条分支轨道，分支轨道位于主轨道的一侧或者两侧。
优选的，所述粘合膜组件与储存区的数量对应，每一储存区具有对应的编号。
优选的，所述多个储存区和固晶平台处均设置有感应粘合膜组件位置的感应器。
优选的，载盘包括具有一腔体的晶粒放置台，顶针模组置于腔体内，粘附于粘合膜上的复数个晶粒放置于晶粒放置台上，顶针模组刺破粘合膜并将晶粒顶出粘合膜表面。
优选的，所述分选机还包括位于分选摆臂和固晶平台之间的清洁粘合膜组件的清洁装置。
本实用新型通过设计复数个粘合膜组件，每一粘合膜组件对应一种电性规格的晶粒，并通过粘合膜组件的滚轮将粘附有晶粒的粘合膜（蓝膜）直接缠绕于滚轮上，实现整卷蓝膜直接固晶；同时可以：
1. 取消塞环，贴膜，搬运等分选机抓取前准备，节省了贴膜机、铁环、料盒等辅助设备及治具的购买和维修费用；
2.节省了分选过程的人力浪费、杜绝了质量隐患、安全隐患；
3.减少了蓝膜使用不充分等造成浪费，以及减少覆盖离型纸造成的浪费；
4. 取消铁环及料盒，杜绝其由于变形或错位而造成的分选机产能损失。
附图说明
图1为本实用新型之分选机俯视结构示意图。
图2为本实用新型之分选机主视结构示意图。
图3为本实用新型之粘合膜组件之主视结构示意图。
图4为本实用新型之粘合膜组件之侧视结构示意图。
在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
具体实施方式
参看附图1和2，本实用新型提供的一种分选机，至少包括放置待分选晶粒的载盘10、水平可伸缩的固晶平台30，设置于载盘10和固晶平台30之间的分选摆臂20，还包括复数个粘附分选后晶粒的粘合膜组件40，分选摆臂20从载盘10抓取所需规格的晶粒，并转移至粘合膜组件40上完成分选。
分选机还包括放置粘合膜组件40的复数个储存区50以及连接储存区50和固晶平台30的滑轨60，粘合膜组件40从储存区50移动至固晶平台30与分选摆臂20相对的一侧进行分选固晶。储存区50位于固晶平台30的一侧或者多侧，本实施例中在固晶平台的两侧设置复数个储存粘合膜组件40的储存区50。滑轨60包括一条或多条，多条轨道包括主轨道61和多条分支轨道62，分支轨道62位于主轨道61的一侧或者两侧，本实施例中多条轨道60包括连接储存区50和主轨道61使粘合膜组件40从储存区50移动至主轨道61的分支轨道62，以及连接主轨道61和固晶平台30使粘合膜组件40从主轨道61移动至固晶平台30的分支轨道62。粘合膜组件40与储存区50的数量对应，每一储存区50分别具有对应的编号，例如B1、B2、B3等，每一个粘合膜组件40对应一种电性规格的晶粒，本实施例设置约150个储存区50，当然并不限于此。并且在每一个储存区50以及固晶平台30位置均设置有感应器70，以感应粘合膜组件40的位置，粘合膜组件40在固晶平台30处固晶后再返回原储存区50。分选机还包括位于分选摆臂20和固晶平台30之间的清洁粘合膜组件40的清洁装置80，防止粘合膜（本实施例中为蓝膜）在晶粒分选过程中受到脏污。
参看图3和图4，粘合膜组件40包括一对相互间隔一定距离的第一滚轮41和第二滚轮42，以及缠绕于第一滚轮41和第二滚轮42上的粘合膜43（蓝膜），粘合膜43在第一滚轮41和第二滚轮42之间呈平面状，缠绕于第一滚轮41上的粘合膜43未粘附晶粒，缠绕于第二滚轮42上的粘合膜43粘附有分选后的晶粒。当粘合膜组件40移动至固晶平台30上时，清洁装置80的高度与第二滚轮42的高度一致，可以方便清洁。粘合膜组件40还包括与第一滚轮41和第二滚轮42两侧固定连接的支架44以及位于支架44下端便于支架44沿滑轨60移动的的滑轮45。在第一滚轮41和第二滚轮42之间还设置有一对传动滚轮46，第一滚轮41和第二滚轮42滚动方向一致，并通过传动滚轮46进行粘合膜43的缠绕和展开成平面状。与传统分选使用的蓝膜卷直径相比，本实施例中缠绕于第一滚轮41或者第二滚轮42上的蓝膜卷直径缩小了3倍左右，本实施例中的蓝膜卷直径约30mm。粘合膜43可以为一侧具有粘性或者两侧均具有粘性的膜，如果卷状晶粒需进一步撕开进行处理，则优选一侧具有粘性的膜，便于撕开，如果卷状晶粒无需进一步处理，则可以选择两侧均具有粘性的膜，增强其粘附性，但是该粘附性相对较弱，不能粘附固晶平台40。
继续参看附图1和2，载盘10包括具有一腔体的晶粒放置台11，顶针模组12置于腔体内，粘附于粘合膜上的复数个晶粒13放置于晶粒放置台11上，顶针模组12刺破粘合膜并将晶粒13顶出粘合膜表面。载盘10可以为水平放置或者竖直放置，本实施例中优选竖直放置的载盘10，减小其占用的空间，方便后续的分选操作。载盘10和固晶平台40相对设置，分选摆臂20位于载盘10和固晶平台40之间，用于将载盘10上的不同规格的晶粒13转移至粘合膜组件40，以实现对不同规格的晶粒的分选作业。
固晶平台30可以水平放置或者竖直放置，本实施例中采用与载盘10平行的竖直放置的固晶平台30。固晶平台30为可伸缩结构，当粘合膜组件40移动至固晶平台30与载盘10相对的一侧时，固晶平台30伸出顶住粘合膜组件40背面，并通过真空吸附粘合膜，此时固晶平台30起支撑作用，便于分选摆臂20将从载盘10拾取的晶粒放置于粘合膜组件40的平面状粘合膜43上。
分选机作业过程中，粘合膜组件40组通过滑轨60移动至固晶平台30处，期间可以通过感应器70对其进行定位。第一滚轮41、第二滚轮42、传动滚轮46会将粘合膜撑起，以便于分选摆臂20分选晶粒，然后第一滚轮41、第二滚轮42、传动滚轮46旋转，确保粘合膜（蓝膜）达到固晶要求张力后第一滚轮41、第二滚轮42、传动滚轮46停止。固晶平台30真空吸附平面状粘合膜43，分选摆臂20旋转进行固晶。固晶达到设定数量后，第一滚轮41、第二滚轮42、传动滚轮46旋转，将已粘附有晶粒的粘合膜卷起缠绕在第二滚轮42上，并通过清洁装置80对粘合膜背面进行清洁，防止蓝膜膜背面污染造成晶粒污染。当前等级分选完毕时，当前粘合膜组件40沿轨道60组退回原储存区50，下一个欲抓取LED晶粒等级对应的粘合膜组件40移动至固晶平台30处。蓝膜固晶达到设定数量后，机台软体报警，人为更换粘合膜组件40并重置数据。
本实用新型通过设计复数个粘合膜组件，每一粘合膜组件对应一种电性规格的晶粒，并通过粘合膜组件的滚轮将粘附有晶粒的粘合膜（蓝膜）直接缠绕于滚轮上，实现整卷蓝膜直接固晶；同时可以：
1. 取消塞环，贴膜，搬运等分选机抓取前准备，节省了贴膜机、铁环、料盒等辅助设备及治具的购买和维修费用；
2.节省了分选过程的人力浪费、杜绝了质量隐患、安全隐患；
3.减少了蓝膜使用不充分等造成浪费，以及减少覆盖离型纸造成的浪费；
4. 取消铁环及料盒，杜绝其由于变形或错位而造成的分选机产能损失。
以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种分选机，至少包括放置待分选晶粒的载盘、水平可伸缩的固晶平台，设置于载盘和固晶平台之间的分选摆臂，其特征在于：还包括复数个粘附分选后晶粒的粘合膜组件，所述粘合膜组件包括一对相互间隔一定距离的第一滚轮和第二滚轮，以及缠绕于第一滚轮和第二滚轮上的粘合膜，粘合膜在第一滚轮和第二滚轮之间呈平面状，缠绕于第一滚轮上的粘合膜未粘附晶粒，缠绕于第二滚轮上的粘合膜粘附有分选后的晶粒，分选摆臂从载盘抓取所需规格的晶粒，并转移至粘合膜组件的平面状粘合膜上完成分选。
2.根据权利要求1所述的一种分选机，其特征在于：所述粘合膜组件还包括与第一滚轮和第二滚轮两侧固定连接的支架以及位于支架下端便于支架沿滑轨移动的滑轮。
3.根据权利要求2所述的一种分选机，其特征在于：所述粘合膜组件还包括位于第一滚轮和第二滚轮之间的一对传动滚轮。
4.根据权利要求1所述的一种分选机，其特征在于：还包括放置粘合膜组件的复数个储存区以及连接储存区和固晶平台的滑轨，粘合膜组件从储存区移动至固晶平台与分选摆臂相对的一侧进行分选晶粒。
5.根据权利要求4所述的一种分选机，其特征在于：所述储存区位于固晶平台的一侧或者多侧。
6.根据权利要求4所述的一种分选机，其特征在于：所述滑轨包括一条或多条，所述多条轨道包括主轨道和多条分支轨道，分支轨道位于主轨道的一侧或者两侧。
7.根据权利要求4所述的一种分选机，其特征在于：所述粘合膜组件与储存区的数量对应，每一储存区具有对应的编号。
8.根据权利要求4所述的一种分选机，其特征在于：所述多个储存区和固晶平台处均设置有感应粘合膜组件位置的感应器。
9.根据权利要求1所述的一种分选机，其特征在于：载盘包括具有一腔体的晶粒放置台，顶针模组置于腔体内，粘附于粘合膜上的复数个晶粒放置于晶粒放置台上，顶针模组刺破粘合膜并将晶粒顶出粘合膜表面。
10.根据权利要求1所述的一种分选机，其特征在于：所述分选机还包括位于分选摆臂和固晶平台之间的用于清洁粘合膜组件的清洁装置。
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| CN112110192A (zh) * | 2019-06-20 | 2020-12-22 | 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 | 一种led芯粒分选方法 |
| CN112317339A (zh) * | 2020-09-10 | 2021-02-05 | 中国石油大学(华东) | 一种led晶片分选系统及其分选方法 |
| CN113649297A (zh) * | 2021-08-23 | 2021-11-16 | 深圳市优界科技有限公司 | 一种高精度晶圆分选机 |
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2017
- 2017-12-20 CN CN201721789788.4U patent/CN207602529U/zh active Active
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