CN207409491U - 一种柔性显示面板及柔性显示装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开一种柔性显示面板及柔性显示装置，涉及显示技术领域，防止因无机材料绝缘层受到应力时产生裂痕甚至断裂而造成柔性显示装置的品质下降甚至失效。所述柔性显示面板包括无机材料绝缘层，无机材料绝缘层包括非绝缘功能区，非绝缘功能区内设置有去除该非绝缘功能区内的无机材料绝缘层的去除过孔，去除过孔内填充有机材料；其中，非绝缘功能区的两侧均未设置与无机材料绝缘层接触的导电膜层。在不影响无机材料绝缘层的绝缘功能下，减小无机材料绝缘层的覆盖面积，利用有机材料将去除过孔填充，减小无机材料绝缘层产生裂痕甚至断裂的几率，防止柔性显示装置的品质下降甚至失效。

Description

一种柔性显示面板及柔性显示装置

技术领域

本申请涉及显示技术领域，尤其涉及一种柔性显示面板及柔性显示装置。

背景技术

由于柔性显示装置具有可变形、可弯曲等特点，柔性显示装置得到越来越广泛的应用。目前，柔性显示装置通常包括柔性显示面板，柔性显示面板内通常形成有无机材料绝缘层，用于隔离无机材料绝缘层两侧的导电膜层，使无机材料绝缘层两侧的导电膜层之间绝缘，例如，在有源驱动有机发光二极管(Active Matrix Organic Light EmittingDiode，AMOLED)柔性显示面板中，薄膜晶体管的栅极绝缘层通常为无机材料绝缘层(例如氧化硅SiO₂、氮化硅SiN_x、氮氧化硅SiON等)，用于隔离薄膜晶体管的栅极和有源层，实现栅极和有源层之间的绝缘。然而，柔性显示装置在被反复弯折时，即柔性显示面板在被反复弯折时，无机材料绝缘层因受到应力而容易产生裂痕甚至断裂，造成无机材料绝缘层两侧的导电膜层发生短路等现象，从而导致柔性显示装置的品质下降甚至失效。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种柔性显示面板，用于防止因无机材料绝缘层受到应力时产生裂痕甚至断裂而造成柔性显示装置的品质下降甚至失效。

为了实现上述目的，本申请提供如下技术方案：

一种柔性显示面板，包括无机材料绝缘层，所述无机材料绝缘层包括非绝缘功能区，所述非绝缘功能区内设置有去除该非绝缘功能区内的所述无机材料绝缘层的去除过孔，所述去除过孔内填充有机材料；其中，所述非绝缘功能区的两侧均未设置与所述无机材料绝缘层接触的导电膜层。

优选地，所述柔性显示面板包括薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括栅极绝缘层，所述栅极绝缘层位于栅极和有源层之间，所述栅极绝缘层为所述无机材料绝缘层，所述栅极绝缘层在像素显示区设置有去除过孔，所述栅极绝缘层的去除过孔内填充有机材料。

优选地，所述薄膜晶体管为低温多晶硅薄膜晶体管，所述薄膜晶体管还包括设置在所述栅极与源漏极层之间的层间绝缘层，其中，所述层间绝缘层为无机材料绝缘层，所述层间绝缘层在所述像素显示区设置有去除过孔，所述层间绝缘层的去除过孔内填充有机材料。

优选地，所述栅极绝缘层的去除过孔与所述层间绝缘层的去除过孔相对应且相互连通。

优选地，所述柔性显示面板还包括OLED器件，所述薄膜晶体管与所述OLED器件之间设置有有机平坦化层，所述有机平坦化层包括平坦部、填充所述栅极绝缘层的去除过孔和所述层间绝缘层的去除过孔的填充部。

优选地，所述有机平坦化层由聚酰亚胺制成。

优选地，所述柔性显示面板包括柔性衬底基板，所述柔性衬底基板与所述薄膜晶体管之间还设置有无机材料缓冲层。

在本申请提供的柔性显示面板中，在无机材料绝缘层的非绝缘功能区设置去除过孔，以将非绝缘功能区内至少部分无机材料绝缘层去除，并在去除过孔中填充有机材料，因此，在不影响无机材料绝缘层的绝缘功能的情况下，同时减小无机材料绝缘层的覆盖面积，并利用有机材料将无机材料绝缘层的去除过孔填充，而由于有机材料的抗弯折性能较好，当柔性显示面板被反复弯折时，可以减小无机材料绝缘层产生裂痕甚至断裂的几率，防止无机材料绝缘层两侧的导电膜层发生短路等现象，从而防止柔性显示装置的品质下降甚至失效。

本申请的目的在于提供一种柔性显示装置，用于防止因无机材料绝缘层受到应力时产生裂痕甚至断裂而造成柔性显示装置的品质下降甚至失效。

为了实现上述目的，本申请提供如下技术方案：

一种柔性显示装置，所述柔性显示装置包括如上述技术方案所述的柔性显示面板。

所述柔性显示装置与上述柔性显示面板相对于现有技术所具有的优势相同，在此不再赘述。

本申请的目的在于提供一种柔性显示面板的制造方法，用于防止因无机材料绝缘层受到应力时产生裂痕甚至断裂而造成柔性显示装置的品质下降甚至失效。

为了实现上述目的，本申请提供如下技术方案：

一种如上述技术方案所述的柔性显示面板的制造方法，包括：

形成无机材料绝缘层；

在所述无机材料绝缘层的非绝缘功能区形成去除过孔，其中，所述非绝缘功能区的两侧均未设置与所述无机材料绝缘层接触的导电膜层；

在所述去除过孔内填充有机材料。

优选地，包括：

形成低温多晶硅薄膜晶体管，所述低温多晶硅薄膜晶体管包括栅极绝缘层、及位于栅极与源漏极层之间的层间绝缘层，所述栅极绝缘层与所述层间绝缘层在像素显示区层叠设置；

在像素显示区形成贯通所述栅极绝缘层和所述层间绝缘层的去除过孔；

在所述栅极绝缘层和所述层间绝缘层的去除过孔内填充有机材料。

优选地，包括：

形成有机平坦化层，所述有机平坦化层包括平坦部、填充所述栅极绝缘层的去除过孔和所述层间绝缘层的去除过孔的填充部。

所述柔性显示面板的制造方法与上述柔性显示面板相对于现有技术所具有的优势相同，在此不再赘述。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1为本申请实施例提供的柔性显示面板的平面示意图；

图2为图1中A-A向剖视图；

图3为本申请实施例提供的柔性显示面板的制造方法的流程图一；

图4为本申请实施例提供的柔性显示面板的制造方法的流程图二。

附图标记：

1-栅线， 2-数据线，

3-像素区， 4-像素显示区，

10-柔性衬底基板， 11-无机材料缓冲层，

12-薄膜晶体管， 121-有源层，

122-栅极绝缘层， 123-栅极，

124-层间绝缘层， 125-源极，

126-漏极， 13-有机平坦化层，

131-平坦部， 132-填充部，

14-OLED器件， 141-阳极，

142-发光层， 143-阴极，

15-像素界定层， 16-隔离柱，

17-薄膜封装层， 20-去除过孔。

具体实施方式

为了进一步说明本申请实施例提供的柔性显示面板及柔性显示装置，下面结合说明书附图进行详细描述。

请参阅图1和图2，本申请实施例提供的柔性显示面板包括无机材料绝缘层，无机材料绝缘层包括非绝缘功能区，非绝缘功能区内设置有去除该非绝缘层功能区内的无机材料绝缘层的去除过孔，去除过孔内填充有机材料；其中，非绝缘功能区的两侧均未设置与无机材料绝缘层接触的导电膜层。

举例来说，请继续参阅图1和图2，本申请实施例提供的柔性显示面板包括多条栅线1、多条数据线2以及由多条栅线1和多条数据线2交叉限定的多个像素区3，多个像素区3呈阵列排布，每个像素区3包括像素显示区4和非像素显示区，每个像素区3内设置有薄膜晶体管12和显示器件，薄膜晶体管12位于非像素显示区，显示器件位于像素显示区4内，在薄膜晶体管12中，显示器件中，或/和，薄膜晶体管12与显示器件之间，通常在两层导电膜层之间形成无机材料绝缘层，用于隔离两层导电膜层，使得两层导电膜层之间绝缘，例如，在薄膜晶体管12的栅极123与有源层121之间形成栅极绝缘层(Gate Insulator，GI)122，该栅极绝缘层122为无机材料绝缘层，用于隔离栅极123和有源层121，以使栅极123与有源层121之间绝缘；无机材料绝缘层包括绝缘功能区和非绝缘功能区，其中，绝缘功能区为需要无机材料绝缘层起到绝缘功能的区域，绝缘功能区两侧或其中一侧设置有与无机材料绝缘层接触的导电膜层，而非绝缘功能区则为无需无机材料绝缘层起到绝缘功能的区域，非绝缘功能区的两侧均未设置与无机材料绝缘层的导电膜层，例如，对于薄膜晶体管12的栅极绝缘层122来说，栅极绝缘层122与有源层121、栅极123、栅线1、数据线2等可能设置在栅极绝缘层122一侧并与栅极绝缘层122接触的导电膜层对应的区域为栅极绝缘层122的绝缘功能区，而栅极绝缘层122与像素显示区4对应的区域的两侧均未设置与该栅极绝缘层122接触的导电膜层，可以认定栅极绝缘层122与像素显示区4对应的区域为栅极绝缘层122的非绝缘功能区，该区域内的栅极绝缘层122无需起到绝缘功能，例如，栅极绝缘层122与像素显示区4对应的部位两侧均未设置与该栅极绝缘层122接触的导电膜层，因而可以认为栅极绝缘层122与像素显示区4对应的区域为栅极绝缘层122的非绝缘功能区；在无机材料绝缘层的非绝缘功能区内设置有去除过孔，该去除过孔用于去除对应区域的无机材料绝缘层，同时，该去除过孔内填充有有机材料，在不影响无机材料绝缘层的绝缘功能的情况下，同时减小无机材料绝缘层的覆盖面积，并利用有机材料填充去除过孔，增加柔性显示面板的抗弯折能力。

由上述可知，在本申请实施例提供的柔性显示面板中，在无机材料绝缘层的非绝缘功能区设置去除过孔，以将非绝缘功能区内至少部分无机材料绝缘层去除，并在去除过孔中填充有机材料，因此，在不影响无机材料绝缘层的绝缘功能的情况下，同时减小无机材料绝缘层的覆盖面积，并利用有机材料将无机材料绝缘层的去除过孔填充，而由于有机材料的抗弯折性能较好，例如，如表1所示，当绝缘层分别采用氧化硅(SiO₂)和聚酰亚胺时，无论是在垂直于绝缘层的方向(即表1中垂直方向)上，还是在平行于绝缘层的方向(即表1中水平方向)上，聚酰亚胺绝缘层的应力均远小于氧化硅绝缘层的应力，聚酰亚胺的抗弯折性能比氧化硅的抗弯折性能好，当柔性显示面板被反复弯折时，可以减小无机材料绝缘层产生裂痕甚至断裂的几率，防止无机材料绝缘层两侧的导电膜层发生短路等现象，从而防止柔性显示装置的品质下降甚至失效。

表1

在上述实施例中，去除过孔可以不贯穿无机材料绝缘层，也可以贯穿无机材料绝缘层，在本申请实施例中，去除过孔优选为贯穿无机材料绝缘层，以将与去除过孔对应的区域内的所有无机材料绝缘层均去除，并在去除过孔内填充有机材料，以减小无机材料绝缘层产生裂痕甚至断裂的几率，防止无机材料绝缘层两侧的导电膜层发生短路等现象，从而防止柔性显示装置的品质下降甚至失效。

在上述实施例中，无机材料绝缘层的非绝缘功能区内设置有去除该非绝缘功能区域内的无机材料绝缘层的去除过孔，去除过孔的数量和截面形状可以根据实际需要进行设定，例如，去除过孔的数量可以为一个、两个、三个或三个以上，在此不做限定；去除过孔的截面形状也可以为多种，例如，去除过孔的截面形状可以为圆形、椭圆形、多边形(如三角形、四边形)、环形等。

请继续参阅图1和图2，本申请实施例提供的柔性显示面板包括薄膜晶体管12，薄膜晶体管12包括栅极绝缘层122，栅极绝缘层122位于栅极123和有源层121之间，栅极绝缘层122为无机材料绝缘层，栅极绝缘层122在像素显示区4设置有去除过孔20，栅极绝缘层122的去除过孔20内填充有机材料。

在上述实施例中，薄膜晶体管12可以为非晶硅薄膜晶体管、单晶硅薄膜晶体管、多晶硅薄膜晶体管、金属氧化物薄膜晶体管等，以薄膜晶体管12为低温多晶硅(LowTemperature Poly-Silicon，LTPS)薄膜晶体管为例进行说明，请继续参阅图1和图2，本申请实施例提供的柔性显示面板包括薄膜晶体管12，薄膜晶体管12为低温多晶硅薄膜晶体管，薄膜晶体管12还包括设置在栅极123与源漏极层之间的层间绝缘层(Inter LayerDielectric，ILD)124，其中，层间绝缘层124为无机材料绝缘层，层间绝缘层124在像素显示区4设置有去除过孔20，层间绝缘层124的去除过孔20内填充有机材料。

具体地，请参阅图1和图2，薄膜晶体管12为低温多晶硅薄膜晶体管，薄膜晶体管12包括有源层121、栅极绝缘层122、栅极123、层间绝缘层124、源漏极层，其中，栅极绝缘层122覆盖有源层121、像素区3，栅极绝缘层122的材料可以为氧化硅、氮化硅、氮氧化硅等，即栅极绝缘层122为无机材料绝缘层，栅极绝缘层122包括绝缘功能区和非绝缘功能区，栅极绝缘层122的绝缘功能区的其中至少一侧设置有与该栅极绝缘层122接触的导电膜层，导电膜层可以包括已形成的有源层121以及待形成的栅极123、栅线1等，栅极绝缘层122的非绝缘功能区内设置有去除过孔20，例如，栅极绝缘层122与像素显示区4对应的区域可以认定为栅极绝缘层122的非绝缘层功能区，栅极绝缘层122在像素显示区4设置有去除过孔20，栅极绝缘层122的去除过孔20内填充有有机材料；栅极123位于栅极绝缘层122上，栅极123与有源层121相对，柔性显示面板还包括限定像素区3的栅线1，栅线1也形成在栅极绝缘层122上，薄膜晶体管12的栅极123与对应的栅线1连接；层间绝缘层124覆盖栅线1、栅极123和栅极绝缘层122，层间绝缘层124的材料也可以为氧化硅、氮化硅、氮氧化硅等，即层间绝缘层124为无机材料绝缘层，层间绝缘层124也包括绝缘功能区和非绝缘功能区，层间绝缘层124的绝缘层功能区的其中至少一侧设置有与该层间绝缘层124接触的导电膜层，导电膜层可以包括已形成的栅极123、栅线1以及待形成的源极125、漏极126、数据线2等，层间绝缘层124的非绝缘功能区内设置有去除过孔20，例如，层间绝缘层124与像素显示区4对应的区域可以认定为层间绝缘层124的非绝缘层功能区，层间绝缘层124在像素显示区4设置有去除过孔20，层间绝缘层124的去除过孔20内填充有有机材料；源漏极层位于层间绝缘层124上，源漏极层包括源极125和漏极126，源极125通过贯穿层间绝缘层124、栅极绝缘层122的第一连接过孔与有源层121连接，漏极126通过贯穿层间绝缘层124、栅极绝缘层122的第二连接过孔与有源层121连接，柔性显示面板还包括限定像素区3的数据线2，数据线2也形成在层间绝缘层124上，薄膜晶体管12的源极125与对应的数据线2连接。

上述实施例中，栅极绝缘层122的去除过孔20位于栅极绝缘层122的非绝缘功能区，层间绝缘层124的去除过孔20位于层间绝缘层124的非绝缘层功能区，在实际应用中，栅极绝缘层122的非绝缘功能区20与层间绝缘层124的非绝缘功能区20可能不是完全对应，因而，栅极绝缘层122的去除过孔20与层间绝缘层124的去除过孔20可以不相对也不连通，此时，栅极绝缘层122的去除过孔20和层间绝缘层124的去除过孔20分别形成；而在本申请实施例中，设定栅极绝缘层122的去除过孔20与层间绝缘层124的去除过孔20相对应且相互连通，例如，请参阅图1和图2，栅极绝缘层122的去除过孔20位于栅极绝缘层122与像素区3的像素显示区4对应的区域内，层间绝缘层124的去除过孔20位于层间绝缘层124与像素区3的像素显示区4对应的区域内，此时，可以将栅极绝缘层122的去除过孔20与层间绝缘层124的去除过孔20相对应且相互连通，在形成层间绝缘层124的去除过孔20和栅极绝缘层122的去除过孔20时，可以在形成层间绝缘层124后，通过一次构图工艺形成位于像素显示区4内且贯穿层间绝缘层124和栅极绝缘层122的过孔，该过孔包括层间绝缘层124的去除过孔20和栅极绝缘层122的去除过孔20，从而减少了制造柔性显示面板的工艺步骤，并减少了制造柔性显示面板时掩膜版的使用数量。

当栅极绝缘层122的去除过孔20与层间绝缘层124的去除过孔20相对应且相互连通时，填充栅极绝缘层122的去除过孔20的有机材料和填充层间绝缘层124的去除过孔20的有机材料可以分别形成，也可以统一形成。在本申请实施例中，请继续参阅图2，所述柔性显示面板还包括OLED器件14，显示器件可以为OLED器件14，此时，柔性显示面板为有源驱动有机发光二极管(Active Matrix Organic Light Emitting Diode，AMOLED)柔性显示面板，薄膜晶体管12与OLED器件14之间设置有有机平坦化层(Planarization，PLN)13，有机平坦化层13包括平坦部131、填充栅极绝缘层122的去除过孔20和填充层间绝缘层124的去除过孔20的填充部132。当制造本申请实施例提供的柔性显示面板时，当完成层间绝缘层124的去除过孔20和栅极绝缘层122的去除过孔20的形成后，则形成有机平坦化层13，有机平坦化层13包括平坦部131、填充栅极绝缘层122的去除过孔20和填充层间绝缘层124的去除过孔20的填充部132，填充部132同时作为填充栅极绝缘层122的去除过孔20和填充层间绝缘层124的去除过孔20的有机材料，也就是说，在形成有机平坦化层13时，同时形成起到平坦化功能的平坦部131、填充栅极绝缘层122的去除过孔20和填充层间绝缘层124的去除过孔20的填充部132，而无需分别形成填充栅极绝缘层122的去除过孔20的有机材料、填充层间绝缘层124的去除过孔20的有机材料以及起到平坦化功能的平坦部131，从而减少了制造柔性显示面板的工艺步骤。

在上述实施例中，有机平坦化层13的材料和柔性衬底基板10的材料可以均选择为聚酰亚胺，即有机平坦化层13为聚酰亚胺树脂平坦化层，柔性衬底基板10为聚酰亚胺柔性衬底基板。聚酰亚胺具有较好的抗弯折性能，将有机平坦化层13的材料选择为聚酰亚胺，此时，填充栅极绝缘层122的去除过孔的有机材料以及填充层间绝缘层124的去除过孔的有机材料的材料也为聚酰亚胺，从而可以改善柔性显示面板的抗弯折性能。柔性衬底基板10的材料选择为聚酰亚胺，可以提高柔性衬底基板10的抗弯折性能。

请继续参阅图2，在本申请实施例提供的柔性显示面板中，所述柔性显示面板包括柔性衬底基板10，柔性衬底基板10与薄膜晶体管12之间还设置有无机材料缓冲层11，此时，薄膜晶体管12形成在无机材料缓冲层11上。无机材料缓冲层11的设置，可以防止柔性衬底基板10的材料选择为聚酰亚胺时对有源层121产生不良影响，同时可以保证后续形成的薄膜晶体管12的特性稳定。

请继续参阅图2，本申请实施例提供的柔性显示面板还包括像素界定层(PixelDefine Layer，PDL)15和隔离柱(Photo Spacer，PS)16，OLED器件14包括阳极141、发光层142和阴极143，像素界定层15和隔离柱16均环绕发光层142，且隔离柱16覆盖在像素界定层15上。像素界定层15的设置，将OLED器件14的发光层142的形成位置限定出来，以方便OLED器件14的发光层142的形成，尤其是采用喷墨打印的方式形成发光层142时；隔离柱16的设置，可以防止进行发光层142蒸镀时柔性衬底基板10和掩膜版之间的互相挤压而造成的图形污染或异常。

上述实施例中，柔性显示面板包括呈阵列排布的多个像素区3，每个像素区3包括OLED器件14，每个OLED器件14可以包括独立的阴极143，即每个OLED器件14对应设置有一个阴极143，在实际应用中，请继续参阅图2，柔性显示面板中可以只设置一个阴极143，该阴极143覆盖所有的OLED器件14的发光层142，此时，所有OLED器件14共用一个阴极143。

请继续参阅图2，本申请实施例提供的柔性显示面板还包括封装OLED器件14的薄膜封装层17。薄膜封装层17可以包括多个层叠设置的封装膜层，多个封装膜层的材料可以均为无机材料，或者，多个封装膜层的材料也可以均为有机材料，或者，多个封装膜层中，其中部分封装膜层为无机材料，其余部分封装膜层则为有机材料，此时，无机材料封装膜层和有机材料封装膜层可以交替层叠设置，以增加薄膜封装层17对OLED器件14的封装效果。

本申请实施例还提供一种柔性显示装置，所述柔性显示装置包括如上述实施例所述的柔性显示面板。

所述柔性显示装置与上述柔性显示面板相对于现有技术所具有的优势相同，在此不再赘述。

请参阅图3，本申请实施例还提供一种柔性显示面板的制造方法，用于制造如上述实施例所述的柔性显示面板，所述柔性显示面板的制造方法包括：

步骤S10、形成无机材料绝缘层。

步骤S20、在无机材料绝缘层的非绝缘功能区形成去除过孔，其中，非绝缘功能区的两侧均未设置与无机材料绝缘层接触的导电膜层。

步骤S30、在去除过孔内填充有机材料。

所述柔性显示面板的制造方法与上述柔性显示面板相对于现有技术所具有的优势相同，在此不再赘述。

具体地，当柔性显示面板包括薄膜晶体管和OLED器件，且薄膜晶体管为低温多晶硅薄膜晶体管时，请参阅图4，所述柔性显示面板的制造方法具体可以包括：

步骤S101、在刚性基板上形成柔性衬底基板。

步骤S102、在柔性衬底基板上形成无机材料缓冲层，无机材料缓冲层覆盖柔性衬底基板。

步骤S103、在无机材料缓冲层上形成薄膜晶体管的有源层。

步骤S104、形成薄膜晶体管的栅极绝缘层，栅极绝缘层覆盖有源层以及无机材料缓冲层，栅极绝缘层为无机材料绝缘层。

步骤S105、在栅极绝缘层上形成薄膜晶体管的栅极，栅极与有源层相对。具体地，在形成薄膜晶体管的栅极的同时，还形成栅线，栅极与对应的栅线连接。

步骤S106、形成薄膜晶体管的层间绝缘层，层间绝缘层覆盖栅极以及栅极绝缘层，层间绝缘层为无机材料绝缘层。层间绝缘层同时还覆盖栅线。

步骤S107、形成第一连接过孔、第二连接过孔、层间绝缘层的去除过孔以及栅极绝缘层的去除过孔，其中，第一连接过孔和第二连接过孔均贯穿层间绝缘层和栅极绝缘层，且第一连接过孔和第二连接过孔分别暴露出有源层；层间绝缘层的去除过孔和栅极绝缘层的去除过孔相对应且相互连通。

步骤S108、形成薄膜晶体管的源极和漏极，源极通过第一连接过孔与有源层连接，漏极通过第二连接过孔与有源层连接。在形成源极和漏极的同时，还形成数据线，源极与对应的数据线连接。

步骤S109、形成有机平坦化层，有机平坦化层包括平坦部和填充部，填充部填充栅极绝缘层的去除过孔和层间绝缘层的去除过孔，平坦部覆盖源极、漏极和层间绝缘层。平坦部同时还覆盖数据线。

步骤S110、形成贯穿有机平坦化层的第三连接过孔，第三连接过孔暴露出漏极。

步骤S111、在有机平坦化层上形成OLED器件的阳极，阳极通过第三连接过孔与漏极连接。

步骤S112、形成像素界定层。

步骤S113、形成隔离柱，隔离柱覆盖在像素界定层上。

步骤S114、形成OLED器件的发光层，像素界定层和隔离柱均围绕发光层。

步骤S115、形成OLED器件的阴极。

步骤S116、形成封装OLED器件的薄膜封装层。

在上述实施方式的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (8)

1.一种柔性显示面板，其特征在于，包括无机材料绝缘层，所述无机材料绝缘层包括非绝缘功能区，所述非绝缘功能区内设置有去除该非绝缘功能区内的所述无机材料绝缘层的去除过孔，所述去除过孔内填充有机材料；其中，所述非绝缘功能区的两侧均未设置与所述无机材料绝缘层接触的导电膜层。

2.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板包括薄膜晶体管；所述薄膜晶体管包括栅极绝缘层，所述栅极绝缘层位于栅极和有源层之间，所述栅极绝缘层为无机材料绝缘层，所述栅极绝缘层在像素显示区设置有去除过孔，所述栅极绝缘层的去除过孔内填充有机材料。

3.根据权利要求2所述的柔性显示面板，其特征在于，所述薄膜晶体管为低温多晶硅薄膜晶体管，所述薄膜晶体管还包括设置在所述栅极与源漏极层之间的层间绝缘层，其中，所述层间绝缘层为无机材料绝缘层，所述层间绝缘层在所述像素显示区设置有去除过孔，所述层间绝缘层的去除过孔内填充有机材料。

4.根据权利要求3所述的柔性显示面板，其特征在于，所述栅极绝缘层的去除过孔与所述层间绝缘层的去除过孔相对应且相互连通。

5.根据权利要求4所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板还包括OLED器件，所述薄膜晶体管与所述OLED器件之间设置有有机平坦化层，所述有机平坦化层包括平坦部、填充所述栅极绝缘层的去除过孔和所述层间绝缘层的去除过孔的填充部。

6.根据权利要求5所述的柔性显示面板，其特征在于，所述有机平坦化层由聚酰亚胺制成。

7.根据权利要求2所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板包括柔性衬底基板，所述柔性衬底基板与所述薄膜晶体管之间还设置有无机材料缓冲层。

8.一种柔性显示装置，其特征在于，所述柔性显示装置包括如权利要求1～7任一所述的柔性显示面板。