CN207395913U - 一种配有柔性热电偶的高温烧结炉系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种铝粉氮化法制备氮化铝用精确控温烧结炉系统,具体公开一种配有柔性热电偶的高温烧结炉系统,主要由炉体部分(1)、多层坩埚(2)和柔性热电偶(3)组成,其中热电偶包括热电偶丝和热电偶保护管两部分,所述热电偶保护管分为刚性固定段(3‑1)和微柔性测温段(3‑2)。在铝粉与氮气在高温下制备氮化铝的实验中,可将热电偶的微柔性段(3‑2)深入到坩埚(2)的铝粉(2‑1)中,可精确检测样品中心的实时温度,可有效根据实时变化了解铝粉氮化的几个反应阶段,并准确调控铝粉氮化所需的反应温度,有效避免了强放热导致的局部高温对实验的不利影响,此外也避免了拿取样品时刚性热电偶操作不便的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及铝粉氮化制备氮化铝用精确控温烧结炉系统,具体公开一种配有柔性热电偶的高温烧结炉系统。
背景技术
大功率器件领域的集成度越来越高,趋于微型化、高性能化方向发展,同时散热问题成为影响器件质量的一个关键因素。传统的氧化铝已经不能满足大功率器件散热的需求。而氮化铝是一种无机非金属粉体,具有热导率高、室温强度高、热膨胀系数低、绝缘性能优良、耐高温、耐腐蚀、介电损耗小、无毒等诸多优异的性能,成为电路基板和高导热密封胶填料的首选材料。
铝粉直接氮化法是制备氮化铝粉体的一种常见方法,往往较高的合成温度有利于纯化粉体和优化粉体形貌。但采用铝粉氮化法高温下制备氮化铝的过程中,由于铝粉与氮气的反应属于强放热过程,导致样品局部温度高于热电偶实际检测温度。常规的真空高温烧结炉的热电偶测温点位于加热体边缘,主要检测的是加热体的温度,而铝粉氮化的实际温度往往能比加热体高几十摄氏度,这样不利于精确控制铝粉氮化的实时温度。
发明内容
为了避免上述技术中的不足,本实用新型才采用柔性热电偶来替代刚性热电偶,公开一种配有柔性热电偶的高温烧结炉系统。具体方案为:主要由炉体部分(1)、多层坩埚(2)和柔性热电偶(3)组成,其中热电偶包括热电偶丝和热电偶保护管两部分,所述热电偶保护管分为刚性固定段(3-1)和微柔性测温段(3-2);在铝粉与氮气在高温下制备氮化铝的实验中,可将热电偶的柔性段(3-2)深入到坩埚(2)的铝粉(2-1)中,可精确检测样品中心实时温度。
进一步的,所述热电偶丝采用钨铼材质,热电偶保护管材质可以为刚玉、氮化硅、氮化铝中的一种,优选氮化硅。
进一步的,所述柔性热电偶(3)的刚性固定段(3-1)和微柔性测温段(3-2)在炉壁处连接,所述微柔性测温段(3-2)中每小段热电偶保护管长度应不小于10mm,避免由于柔性导致钨铼热电偶丝的断裂。
进一步的,所述多层坩埚(2)侧壁的上边缘开槽,便于柔性热电偶(3)穿过和散热。
本实用新型的有益效果:在炉腔内采用微柔性的分段热电偶保护管,既能保护热电偶丝,又能深入到样品内部,精确检测并控制样品温度。避免了铝粉氮化强放热过程导致的局部温度不均匀带来的不利影响。
附图说明
图1是本实用新型所述烧结炉系统的示意图。
具体实施方式
实施例1,
一种配有柔性热电偶的高温烧结炉系统,主要由炉体部分(1)、多层坩埚(2)和柔性热电偶(3)组成,其中热电偶包括热电偶丝和热电偶保护管两部分,其中热电偶丝采用钨铼材质,热电偶保护管选用氮化硅材质。所述热电偶保护管分为刚性固定段(3-1)和微柔性测温段(3-2),两者在炉壁处连接,其中微柔性测温段(3-2)中每小段热电偶保护管长度为15mm,可有效保护钨铼热电偶丝。在铝粉与氮气在高温下制备氮化铝的实验中,可将热电偶的柔性段(3-2)深入到坩埚(2)的铝粉(2-1)中,可精确检测样品中心实时温度。所述多层坩埚(2)侧壁的上边缘开槽,便于柔性热电偶(3)穿过和散热。
实施例2,
一种配有柔性热电偶的高温烧结炉系统,主要由炉体部分(1)、多层坩埚(2)和柔性热电偶(3)组成,其中热电偶包括热电偶丝和热电偶保护管两部分,其中热电偶丝采用钨铼材质,热电偶保护管选用氮化铝材质。所述热电偶保护管分为刚性固定段(3-1)和微柔性测温段(3-2),两者在炉壁处连接,其中微柔性测温段(3-2)中每小段热电偶保护管长度为12mm,可有效保护钨铼热电偶丝。在铝粉与氮气在高温下制备氮化铝的实验中,可将热电偶的柔性段(3-2)深入到坩埚(2)的铝粉(2-1)中,可精确检测样品中心实时温度。所述多层坩埚(2)侧壁的上边缘开槽,便于柔性热电偶(3)穿过和散热。
Claims (5)
1.一种配有柔性热电偶的高温烧结炉系统,其特征在于,主要由炉体部分(1)、多层坩埚(2)和柔性热电偶(3)组成,其中热电偶包括热电偶丝和热电偶保护管两部分,所述热电偶保护管分为刚性固定段(3-1)和微柔性测温段(3-2);在铝粉与氮气在高温下制备氮化铝的实验中,可将微柔性测温段(3-2)深入到坩埚(2)的铝粉(2-1)中,可精确检测样品中心实时温度。
2.根据权利要求1所述的一种配有柔性热电偶的高温烧结炉系统,其特征在于,所述热电偶丝采用钨铼材质,热电偶保护管材质可以为刚玉、氮化硅、氮化铝中的一种。
3.根据权利要求1所述的一种配有柔性热电偶的高温烧结炉系统,其特征在于,所述柔性热电偶(3)的刚性固定段(3-1)和微柔性测温段(3-2)在炉壁处连接。
4.根据权利要求1所述的一种配有柔性热电偶的高温烧结炉系统,其特征在于,所述微柔性测温段(3-2)中每小段热电偶保护管长度应不小于10mm,避免由于柔性导致钨铼热电偶丝的断裂。
5.根据权利要求1所述的一种配有柔性热电偶的高温烧结炉系统,其特征在于,所述多层坩埚(2)侧壁的上边缘开槽,便于柔性热电偶(3)穿过和散热。
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CN201721182185.8U CN207395913U (zh) | 2017-09-15 | 2017-09-15 | 一种配有柔性热电偶的高温烧结炉系统 |
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CN201721182185.8U Active CN207395913U (zh) | 2017-09-15 | 2017-09-15 | 一种配有柔性热电偶的高温烧结炉系统 |
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CN (1) | CN207395913U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110553744A (zh) * | 2019-10-16 | 2019-12-10 | 江苏丰东热技术有限公司 | 一种移动测温装置 |
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- 2017-09-15 CN CN201721182185.8U patent/CN207395913U/zh active Active
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