CN207002584U - 一种石英坩埚喷涂装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种石英坩埚喷涂装置，包括移动底座，移动底座上端的一侧固定有导轨，导轨上滑动连接有活动立板，另一侧焊接有固定立杆，活动立板两侧分别设有转动电机、U型夹持板，夹持板设有固定柱和耐热橡胶板，固定柱通过联轴器与转动电机的输出轴固定连接，两耐热橡胶板之间的夹持力通过螺栓组件来调节；固定立杆上滑动有两个支撑组件，下方支撑组件固定有喷管，喷管通过管路与供料箱连接，上方支撑组件固定有加热烘干板，加热烘干板通过线路与蓄电池连接上。本实用新型结构设计合理，通过将坩埚工件侧向放置，使得内表面侧壁喷涂涂层液时，涂层液只会沿周向流动，成型后厚度均一，利用提高致密层整体的性能。

Description

一种石英坩埚喷涂装置

技术领域

本实用新型涉石英坩埚生产技术领域，具体涉及一种石英坩埚喷涂装置。

背景技术

目前坩埚生产涂层技术已被大多数厂家使用，就是在普通石英砂溶制的坩埚表面涂上一层高纯度石英砂，使其形成致密层。其致密层能阻止单晶硅高温拉制过程中硅与石英坩埚反应，提高成晶率。传统喷涂采用人工进行喷涂：喷涂前需把坩埚整体加热到300℃左右，坩埚口子朝上放置，操作人员戴上防高温手套，手拿喷枪进行内表面的喷涂作业，喷涂持续一分钟，操作繁琐。

为此，专利号为201220323536.3的中国实用新型专利公开了一种石英坩埚内表面喷涂装置，包括驱动装置、回转平台、支撑平台和喷枪，所述支撑平台设在所述回转平台上且可随所述回转平台旋转，所述喷枪包括喷嘴和连接杆，所述连接杆一端设在一可往复上下运动的导轨支架上，另一端螺纹连接所述喷嘴，所述导轨支架和所述回转平台分别与所述驱动装置相连。

这种喷涂装置能够克服传统方式的问题，但是仍存在不足之处，坩埚为水平转动，喷涂至内表面侧壁的涂层液容易在重力作用下下延，导致涂层厚度不均匀，影响致密层整体的作用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的上述问题，提供一种石英坩埚喷涂装置。

为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型是通过以下技术方案实现：

一种石英坩埚喷涂装置，包括移动底座，所述移动底座上端的一侧固定有导轨，所述导轨上滑动连接有活动立板，移动底座上端的另一侧焊接有固定立杆，所述活动立板的一侧通过支架固定有转动电机，另一侧设有U型夹持板，所述夹持板的连接部外侧设有固定柱，所述固定柱通过联轴器与转动电机贯穿活动立板的输出轴固定连接，所述夹持板的两自由端分别固定有耐热橡胶板，所述夹持板通过贯穿两侧板体的螺栓组件来调节两耐热橡胶板之间的夹持力，所述耐热橡胶板的内侧面为与坩埚工件外壁形状配合的弧形面；所述固定立杆上滑动有两个能够伸入坩埚工件内腔的支撑组件，位于下方的所述支撑组件的下端固定有喷管，所述喷管通过管路与供料箱连接，位于上方的所述支撑组件的上端固定有加热烘干板，所述加热烘干板通过线路与蓄电池连接，所述蓄电池和供料箱放置在移动底座上。

进一步地，所述移动底座由平板和设于其下端四角的移动滚轮构成。

进一步地，所述支撑组件包括滑套和框架，所述滑套的下端设有为其提供支撑力的锁紧环，所述锁紧环通过螺接方式与固定立杆外侧的螺纹部连接。

进一步地，所述喷管为狭缝式结构，管体中狭缝长度等于坩埚工件的侧壁宽度。

进一步地，所述供料箱中的泵体由蓄电池提供工作功力。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型结构设计合理，通过将坩埚工件侧向放置，使得内表面侧壁喷涂涂层液时，涂层液只会沿周向流动，成型后厚度均一，利用提高致密层整体的性能。

当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型中支撑组件的结构示意图；

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1-移动底座，2-导轨，3-活动立板，4-固定立杆，5-支架，6-转动电机，7-夹持板，8-固定柱，9-耐热橡胶板，10-螺栓组件，11-坩埚工件，12-支撑组件，121-滑套，122-框架，123-锁紧环，13-喷管，14-管路，15-供料箱，16-加热烘干板，17-线路，18-蓄电池。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2所示，本实施例为一种石英坩埚喷涂装置，包括移动底座1，移动底座1由平板和设于其下端四角的移动滚轮构成。移动底座1上端的一侧固定有导轨2，导轨2上滑动连接有活动立板3，移动底座1上端的另一侧焊接有固定立杆4。活动立板3的一侧通过支架5固定有转动电机6，另一侧设有U型夹持板7，夹持板7的连接部外侧设有固定柱8，固定柱8通过联轴器与转动电机6贯穿活动立板3的输出轴固定连接。夹持板7的两自由端分别固定有耐热橡胶板9，夹持板7通过贯穿两侧板体的螺栓组件10来调节两耐热橡胶板9之间的夹持力，耐热橡胶板9的内侧面为与坩埚工件11外壁形状配合的弧形面。

固定立杆4上滑动有两个能够伸入坩埚工件内腔的支撑组件12，支撑组件12包括滑套121和框架122，滑套121的下端设有为其提供支撑力的锁紧环123，锁紧环123通过螺接方式与固定立杆4外侧的螺纹部连接。位于下方的支撑组件12的下端固定有喷管13，喷管13通过管路14与供料箱15连接，位于上方的支撑组件12的上端固定有加热烘干板16，加热烘干板16通过线路17与蓄电池18连接，框架122通过捆绑等方式将喷管13、加热烘干板16固定。蓄电池18和供料箱15放置在移动底座1上，供料箱15中的泵体由蓄电池18提供工作功力。

喷管13为狭缝式结构，管体中狭缝长度等于坩埚工件11的侧壁宽度。

本实施例的一个具体应用为：使用时，将坩埚工件11侧向卡入夹持板7，而后旋紧螺栓组件10使得耐热橡胶板9能够将坩埚工件11夹紧，再调整活动立板3的位置，使得喷管13的狭缝位于坩埚工件11侧壁的正下方，启动转动电机6使得坩埚工件11缓慢旋转，供料箱15随着供料，加热烘干板16开始加热，通过这种方式使得涂层液均匀分布在坩埚工件11的侧壁。至于坩埚工件11底面，通过常规工序进行涂覆。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (5)

1.一种石英坩埚喷涂装置，其特征在于：包括移动底座，所述移动底座上端的一侧固定有导轨，所述导轨上滑动连接有活动立板，移动底座上端的另一侧焊接有固定立杆，所述活动立板的一侧通过支架固定有转动电机，另一侧设有U型夹持板，所述夹持板的连接部外侧设有固定柱，所述固定柱通过联轴器与转动电机贯穿活动立板的输出轴固定连接，所述夹持板的两自由端分别固定有耐热橡胶板，所述夹持板通过贯穿两侧板体的螺栓组件来调节两耐热橡胶板之间的夹持力，所述耐热橡胶板的内侧面为与坩埚工件外壁形状配合的弧形面；所述固定立杆上滑动有两个能够伸入坩埚工件内腔的支撑组件，位于下方的所述支撑组件的下端固定有喷管，所述喷管通过管路与供料箱连接，位于上方的所述支撑组件的上端固定有加热烘干板，所述加热烘干板通过线路与蓄电池连接，所述蓄电池和供料箱放置在移动底座上。

2.根据权利要求1所述的石英坩埚喷涂装置，其特征在于：所述移动底座由平板和设于其下端四角的移动滚轮构成。

3.根据权利要求1所述的石英坩埚喷涂装置，其特征在于：所述支撑组件包括滑套和框架，所述滑套的下端设有为其提供支撑力的锁紧环，所述锁紧环通过螺接方式与固定立杆外侧的螺纹部连接。

4.根据权利要求1所述的石英坩埚喷涂装置，其特征在于：所述喷管为狭缝式结构，管体中狭缝长度等于坩埚工件的侧壁宽度。

5.根据权利要求1所述的石英坩埚喷涂装置，其特征在于：所述供料箱中的泵体由蓄电池提供工作功力。