CN206259328U - 锁眼钥匙用定位工具 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种锁眼钥匙用定位工具，底座，与装载台底座相连接；水平部分，固定于底座表面，且与底座的表面相平行；垂直部分，与水平部分垂直连接；支撑架，与垂直部分垂直连接，且可沿垂直部分的长度方向滑动；通孔，设于支撑架内，并与支撑架和垂直部分都垂直；定位组件，包括旋钮、定位块以及连杆，且依次连接；弹性组件，套置于连杆外围；套筒，与连杆远离定位块的一端连接，其中，其开口方向平行且背对于定位块。通过上述方案的实施，克服了在进行锁眼钥匙校准定位时，只能依靠目测和反复测试完成，从而导致的定位不准确，不能满足生产专业化和精细化的要求，并且会损伤晶圆盒以及影响生产效率的问题。

Description

锁眼钥匙用定位工具

技术领域

本实用新型属于半导体工艺设备技术领域，特别是涉及一种锁眼钥匙用定位工具。

背景技术

半导体行业中，在其制造工艺生产线上，每个机台的装载台上都有两个锁眼钥匙，其作用是开关晶圆盒盒盖上的锁眼。

目前，在机台生产的过程中，常常遇到锁眼钥匙卡在晶圆盒盒盖上的锁眼里的问题，从而导致晶圆盒开启失败。究其原因，是因为锁眼钥匙和晶圆盒盒盖上的锁眼没有校准定位好，锁眼钥匙没有顺利插入晶圆盒盒盖的锁眼而造成的。这样不仅会损坏晶圆盒，还会使机台停机，从而影响生产。

然而，由于没有专用工具，目前只能靠目测和反复测试来完成锁眼钥匙的校准定位，但这样难免会有误差，也不能满足生产专业化和精细化的要求，所以设计一种锁眼钥匙定位用的专用工具，就变得非常重要。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种锁眼钥匙用定位工具，用于解决现有技术中在进行锁眼钥匙校准定位时，只能依靠目测和反复测试完成，从而导致的定位不准确，不能满足生产专业化和精细化的要求，并且会损伤晶圆盒以及影响生产效率的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种锁眼钥匙用定位工具，所述锁眼钥匙用定位工具包括：

底座，所述底座与装载台底座相连接；

水平部分，固定于所述底座表面，且与所述底座的表面相平行；

垂直部分，所述垂直部分与所述水平部分垂直连接；

支撑架，所述支撑架与所述垂直部分垂直连接，且可沿所述垂直部分的长度方向滑动；

通孔，所述通孔设于所述支撑架内，并与所述支撑架和所述垂直部分都垂直；

定位组件，所述定位组件包括旋钮、定位块以及连杆，且所述旋钮、定位块、连杆依次连接，其中，至少所述连杆可穿过所述通孔；

弹性组件，所述弹性组件套置于所述连杆外围；

套筒，所述套筒与所述连杆远离所述定位块的一端连接，其中，所述套筒的开口方向平行且背对于所述定位块，且所述套筒的深度大于或者等于所述锁眼钥匙的长度。

作为本实用新型的一种优选方案，所述锁眼钥匙用定位工具还包括开设于所述支撑架上的基准槽，

其中，所述基准槽开口端面与所述垂直部分和所述水平部分形成的面相平行，并与所述通孔相连通，所述基准槽与所述定位块配合，且所述基准槽的深度大于或者等于所述锁眼钥匙的长度。

作为本实用新型的一种优选方案，所述定位块的最长尺寸大于所述基准槽的最短尺寸，且小于所述基准槽的最长尺寸。

作为本实用新型的一种优选方案，所述定位块的形状为长方体形。

作为本实用新型的一种优选方案，所述套筒开口的尺寸与所述锁眼钥匙的尺寸相同。

作为本实用新型的一种优选方案，所述水平部分为水平滑轨，所述垂直部分为垂直滑轨。

作为本实用新型的一种优选方案，所述底座的底面的形状为六边形。

作为本实用新型的一种优选方案，所述底座上具有定位孔，所述装载台底座上具有支撑键，其中，所述底座与所述装载台底座通过所述定位孔与所述支撑键相连接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述套筒与所述连杆的连接方式为螺纹连接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述底座的底部至所述垂直部分的顶部的距离为400mm～500mm；定位完成状态下，所述套筒自由端至所述底座远离所述套筒自由端一侧的水平距离为400mm～600mm。

如上所述，本实用新型提供的锁眼钥匙用定位工具，在具体操作过程中，具有如下有益效果：

在进行锁眼钥匙校准定位时，提高其定位的准确，以满足生产专业化和精细化的要求，并且防止损伤晶圆盒，减少机台停机次数，提高生产效率。

附图说明

图1显示为本实用新型实施例一和实施例二中提供的定位工具的正视图。

图2a-2b显示为本实用新型实施例一中提供的定位工具的俯视图。

图3a-3b显示为本实用新型实施例二中提供的定位工具的俯视图。

图4a-4b显示为本实用新型实施例二中提供的定位工具的侧视图。

元件标号说明

11 加载台面板

12 锁眼钥匙

13 加载台底座

14 支撑键

21 底座

211 定位孔

22 水平部分

23 垂直部分

24 支撑架

241 旋钮

242 定位块

243 基准槽

244 通孔

245 连杆

246 套筒

247 弹性组件

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。

请参阅图1至图4b。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，虽图示中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

实施例一

如图1至图2b所示，本实施例提供一种锁眼钥匙12用定位工具，所述锁眼钥匙12用定位工具包括：底座21，所述底座21与装载台底座13相连接；水平部分22，固定于所述底座21表面，且与所述底座21的表面相平行；垂直部分23，所述垂直部分23与所述水平部分22垂直连接；支撑架24，所述支撑架24与所述垂直部分23垂直连接，且可沿所述垂直部分23的长度方向滑动；通孔244，所述通孔244设于所述支撑架24内，并与所述支撑架24和所述垂直部分23都垂直；定位组件，所述定位组件包括旋钮241、定位块242以及连杆245，且所述旋钮241、定位块242、连杆245依次连接，其中，至少所述连杆245可穿过所述通孔244；弹性组件247，所述弹性组件247套置于所述连杆245外围；套筒246，所述套筒246与所述连杆245远离所述定位块242的一端连接，其中，所述套筒246的开口方向平行且背对于所述定位块242，且所述套筒246的深度大于或者等于所述锁眼钥匙12的长度。

具体地，所述水平部分22、所述垂直部分23以及所述底座21的连接方式，可以保证所述支撑架24的整体与所述装载台底座13的面垂直。另外，所述支撑架24可以沿所述垂直部分23的长度方向滑动，使操作可以很灵活，保证了定位的准确性。在本实施例中，还包括定位组件，其中，所述旋钮241、定位块242以及连杆245可以是一体成型的，如圆柱体或矩形柱体等，或者是相互连接，所述旋钮241、定位块242以及连杆245一体转动，其连接方式不限，并且至少所述连杆245可穿过所述通孔244，从而保证在定位过程中，所述弹性组件247有足够的运动空间，所述通孔244用于支撑起所述的定位组件以及所述套筒246和所述弹性组件247。

在本实施例中，所述锁眼钥匙12的长度即为所述锁眼钥匙12垂直于所述加载台面板11并露于其外部的部分，再具体实践中，所述套筒246的深度大于或者等于所述锁眼钥匙12的长度，从而保证所述套筒246可以完全套置与所述锁眼钥匙12上，精确地完成定位。

作为示例，所述套筒246开口的尺寸与所述锁眼钥匙12的尺寸相同。在本实施例中，优选地，使二者尺寸相同以保证所述锁眼钥匙12的准确定位，并不限于可以完成所述锁眼钥匙12定位的其他尺寸。

作为示例，所述水平部分22为水平滑轨，所述垂直部分23为垂直滑轨。在本实施例中，优选地，所述水平部分22和所述垂直部分23为滑轨，从而保证了操作的灵活性以及定位的准确性。

作为示例，所述底座21的底面的形状为六边形。

作为示例，所述底座上具有定位孔211，所述装载台底座13上具有支撑键14，其中，所述底座21与所述装载台底座13通过所述定位孔211与所述支撑键14相连接。

具体地，通过此连接，可以保证所述支撑键14形成的面与所述支撑架24的整体，特别是所述支撑架24内的所述通孔244的开口平面相垂直。

作为示例，所述套筒246与所述连杆245的连接方式为螺纹连接。当然，所述连接方式可以为任意将所述套筒246与所述连杆245固定的连接方式，此处优选为螺纹连接。

作为示例，所述底座21的底部至所述垂直部分23的顶部的距离为400mm～500mm；定位完成状态下，所述套筒246自由端至所述底座21远离所述套筒自由端一侧的水平距离为400mm～600mm。

依据上述实施例，在所述锁眼钥匙12用定位工具的具体操作过正中，首先拔出所述旋钮241及所述定位块242，移动所述定位工具，在本实施例中，优选为通过所述水平滑轨和所述垂直滑轨完成，并拉住所述旋钮241及所述定位块242，将所述套筒246对准所述锁眼钥匙12并套住，如图2a所示；当所述定位组件对正所述通孔244时，放松所述弹性组件247，所述弹性组件247推动所述套筒246、所述连杆245、所述定位块242、所述旋钮241一起向所述套筒246自由端的方向运动，完成所述锁眼钥匙12的定位，如图2b所示。

实施例二

如图3a至图4b所示，本实施例提供一种锁眼钥匙用定位工具，所述锁眼钥匙12用定位工具包括水平部分22、垂直部分23和底座21，其中，所述底座21与装载台底座13连接，所述水平部分22固定于所述底座21，所述垂直部分23垂直连接于所述水平部分22，所述锁眼钥匙12用定位工具至少还包括：

支撑架24，所述支撑架与所述垂直部分23垂直连接，且可沿所述垂直部分的长度方向滑动；通孔244，所述通孔设于所述支撑架24内，并与所述支撑架24和所述垂直部分23都垂直；定位组件，所述定位组件包括旋钮241、定位块242以及连杆245，且所述旋钮241、定位块242、连杆245依次连接，其中，至少所述连杆245可穿过所述通孔244；弹性组件247，所述弹性组件247套置于所述连杆245外围；套筒246，所述套筒246与所述连杆245远离所述定位块242的一端连接，其中，所述套筒246的开口方向平行且背对于所述定位块242，且所述套筒246的深度大于或者等于所述锁眼钥匙12的长度。

本实施例中所述的锁眼钥匙用定位工具的上述结构与实施例一中所述上述结构大致相同，二者的区别在于：本实施例二中，所述锁眼钥匙12用定位工具还包括开设于所述支撑架24上的基准槽243，其中，所述基准槽243开口端面与所述垂直部分23和所述水平部分22形成的面相平行，并与所述通孔244相连通，所述基准槽243与所述定位块242配合，且所述基准槽243的深度大于或者等于所述锁眼钥匙12的长度。优选地，所述定位块242的最长尺寸大于所述基准槽243的最短尺寸，且小于所述基准槽243的最长尺寸。更进一步优选地，所述定位块242的形状为长方体形。

具体地，本实施例中，所述基准槽243开口的端面与所述垂直部分23和所述水平部分22形成的面相平行，也即其开口端面垂直于所述加载台底座13所在的面，平行于加载台面板11所在的面，以完成定位，并且，所述基准槽243与所述定位块242配合，另外，所述基准槽243的深度大于或者等于所述锁眼钥匙12的长度，可以保证所述定位块242在所述基准槽243内的移动空间大于所述套筒246向所述锁眼钥匙12移动的空间，以完成精确定位。在具体实践中，实际上是，通过调整所述基准槽243与所述定位块242的相对位置而完成所述锁眼钥匙12的定位，即，在所述套筒246对准所述锁眼钥匙12前，所述定位块242的较长部分，此处优选为最长尺寸部分，对准所述基准槽243较短部分，此处优选为最短尺寸部分，以使所述定位块242卡在所述基准槽243远离所述通孔244的外侧；在在所述套筒246对准所述锁眼钥匙12后，旋转所述旋钮241，使所述定位块242与所述基准槽243重合时，即使所述定位块242的最长尺寸部分对准所述基准槽243的最长尺寸部分，从而保证所述定位组价可以顺利通过所述基准槽243和所述通孔244，以完成定位。

此外，本实施例中的所述锁眼钥匙用定位工具的其他结构与实施例一中所述的锁眼钥匙用定位工具的其他结构完全相同，具体请参阅实施例一，此处不再累述。

依据上述实施例，在所述锁眼钥匙12用定位工具的具体操作过正中，首先拔出所述旋钮241及所述定位块242，使所述定位块242的最长尺寸部分，对准所述基准槽243最短尺寸部分，以使所述定位块242卡在所述基准槽243远离所述通孔244的外侧，移动所述定位工具，在本实施例中，优选为通过所述水平滑轨和所述垂直滑轨完成，将所述套筒246对准所述锁眼钥匙12并套住，如图4a所示；旋转所述旋钮241，使所述定位块242的最长尺寸部分对准所述基准槽243的最长尺寸部分，当所述定位块242与所述基准槽243重合时，所述弹性组件247推动所述套筒246、所述连杆245、所述定位块242、所述旋钮241一起向所述套筒246自由端的方向运动，所述定位块242在所述弹性组件247的作用下卡入所述基准槽243，则完成所述锁眼钥匙12的定位，如图4b所示。

综上所述，本实用新型提供一种锁眼钥匙用定位工具，所述锁眼钥匙用定位工具包括水平部分、垂直部分和底座，其中，所述底座与装载台底座连接，所述水平部分固定于所述底座，所述垂直部分垂直连接于所述水平部分，所述锁眼钥匙用定位工具至少还包括：支撑架，所述支撑架与所述垂直部分垂直连接，且可沿所述垂直部分的长度方向滑动；通孔，所述通孔设于所述支撑架内，并与所述支撑架和所述垂直部分都垂直；定位组件，所述定位组件包括旋钮、定位块以及连杆，且所述旋钮、定位块、连杆依次连接，其中，至少所述连杆可穿过所述通孔；弹性组件，所述弹性组件套置于所述连杆外围；套筒，所述套筒与所述连杆远离所述定位块的一端连接，其中，所述套筒的开口方向平行且背对于所述定位块。通过上述方案的实施，克服了在进行锁眼钥匙校准定位时，只能依靠目测和反复测试完成，从而导致的定位不准确，不能满足生产专业化和精细化的要求，并且会损伤晶圆盒以及影响生产效率的问题。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims (10)

1.一种锁眼钥匙用定位工具，其特征在于，所述锁眼钥匙用定位工具包括：

底座，所述底座与装载台底座相连接；

水平部分，固定于所述底座表面，且与所述底座的表面相平行；

垂直部分，所述垂直部分与所述水平部分垂直连接；

支撑架，所述支撑架与所述垂直部分垂直连接，且可沿所述垂直部分的长度方向滑动；

通孔，所述通孔设于所述支撑架内，并与所述支撑架和所述垂直部分都垂直；

定位组件，所述定位组件包括旋钮、定位块以及连杆，且所述旋钮、定位块、连杆依次连接，其中，至少所述连杆可穿过所述通孔；

弹性组件，所述弹性组件套置于所述连杆外围；

套筒，所述套筒与所述连杆远离所述定位块的一端连接，其中，所述套筒的开口方向平行且背对于所述定位块，且所述套筒的深度大于或者等于所述锁眼钥匙的长度。

2.根据权利要求1所述的锁眼钥匙用定位工具，其特征在于，所述锁眼钥匙用定位工具还包括开设于所述支撑架上的基准槽，

其中，所述基准槽开口端面与所述垂直部分和所述水平部分形成的面相平行，并与所述通孔相连通，所述基准槽与所述定位块配合，且所述基准槽的深度大于或者等于所述锁眼钥匙的长度。

3.根据权利要求2所述的锁眼钥匙用定位工具，其特征在于，所述定位块的最长尺寸大于所述基准槽的最短尺寸，且小于所述基准槽的最长尺寸。

4.根据权利要求3所述的锁眼钥匙用定位工具，其特征在于，所述定位块的形状为长方体形。

5.根据权利要求1所述的锁眼钥匙用定位工具，其特征在于，所述套筒开口的尺寸与所述锁眼钥匙的尺寸相同。

6.根据权利要求1所述的锁眼钥匙用定位工具，其特征在于，所述水平部分为水平滑轨，所述垂直部分为垂直滑轨。

7.根据权利要求1所述的锁眼钥匙用定位工具，其特征在于，所述底座的底面的形状为六边形。

8.根据权利要求1所述的锁眼钥匙用定位工具，其特征在于，所述底座上具有定位孔，所述装载台底座上具有支撑键，其中，所述底座与所述装载台底座通过所述定位孔与所述支撑键相连接。

9.根据权利要求1所述的锁眼钥匙用定位工具，其特征在于，所述套筒与所述连杆的连接方式为螺纹连接。

10.根据权利要求1所述的锁眼钥匙用定位工具，其特征在于，所述底座的底部至所述垂直部分的顶部的距离为400mm～500mm；定位完成状态下，所述套筒自由端至所述底座远离所述套筒自由端一侧的水平距离为400mm～600mm。