CN206181405U - 一种碳化硅加工用脱胶加热板 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种碳化硅加工用脱胶加热板。其包括加热板，所述加热板的内腔设有加热管，所述加热板的内腔底部设有导电板，所述导电板上均匀开有插孔，所述加热板的顶端设有导热铝基板，所述导热铝基板的底端均匀设有受热凸点，所述受热凸点位于加热板的内腔上方，所述加热板的内壁均匀设有温度感应器，所述温度感应器电性连接设在隔热层底端的控制装置，所述隔热层位于加热板的底端，所述控制装置电性连接导电板和报警器，所述报警器设在加热板的右侧。该碳化硅加工用脱胶加热板结构简单，使用安全，方便更换，能够快速达到准确的热脱离温度，提高了工作效率，降低了能耗及人工成本。

Description

一种碳化硅加工用脱胶加热板

技术领域

本实用新型涉及碳化硅加工技术领域，具体为一种碳化硅加工用脱胶加热板。

背景技术

在对碳化硅晶体进行加工前会进行上胶作业，然后按照加工工序加工到所要求的尺寸后，需要进行脱胶作业，使成形的晶体脱离。该脱胶作业一个重要的条件是使晶体连同胶体被加热到指定温度，从而更顺利的把胶体和晶体分离。目前，脱胶加热板具有普遍的缺陷，其因加热装置的散热面积有限，欲加工的碳化硅晶体受热不均匀，温度不稳定，加热速度慢，很难达到预期效果，特别对胶极难加热融化，同时，温度过高了又会致使胶体产生刺激性气体，并且可能烧毁电热元件，减少使用寿命，毁坏以后也不便于更换。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种碳化硅加工用脱胶加热板，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种碳化硅晶体加工用脱胶加热板，包括加热板，所述加热板的内腔设有加热管，所述加热板的内腔底部设有导电板，所述导电板上均匀开有插孔，所述插孔的内侧壁设有内螺纹，所述加热管的一端外侧壁设有与所述内螺纹相配合的外螺纹，所述插孔和加热管通过内外螺纹配合连接，所述加热板的顶端设有导热铝基板，所述导热铝基板的底端均匀设有受热凸点，所述受热凸点位于加热板的内腔上方，所述加热板的内壁均匀设有温度感应器，所述温度感应器电性连接设在隔热层底端的控制装置，所述隔热层位于加热板的底端，所述控制装置电性连接导电板和报警器，所述报警器设在加热板的右侧。

优选的，所述加热管的内腔设有电阻丝，所述电阻丝为螺旋结构。

优选的，所述隔热层包括相配合的云母层和保温棉层。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该碳化硅晶体加工用脱胶加热板结构简单，通过使用可拆卸的加热管，在单一发热元件受损的时候方便更换，加热板的上方设有受热凸点，受热凸点连接在导热铝基板的底端，当加热管散发热量时，热量通过受热凸点均匀的传送给导热铝基板，其导热铝基板受热均匀，并具有加热速度快的特点，避免因为温度过高受热不均匀致使胶体产生刺激性气体，并使用温度感应器来实施监控加热板内的温度，及时记录报警提醒工作人员，从而消除了温度过高对发热元件造成损伤的风险，使用安全，能够快速达到准确的热脱离温度，提高了工作效率，降低了能耗及人工成本。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的加热板结构示意图；

图3为图2中的A处结构放大图；

图4为本实用新型的隔热层结构示意图。

图中：1导热铝基板、2加热板、3导电板、4插孔、41内螺纹、42外螺纹、5温度感应器、6受热凸点、7报警装置、8隔热层、81云母层、82保温棉层、9控制装置、10加热管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种碳化硅晶体加工用脱胶加热板，包括加热板2，加热板2的内腔设有多个加热管10，加热板2的内腔底部设有导电板3，导电板3上均匀开有多个插孔4，插孔4的内侧壁设有内螺纹41，加热管10的一端外侧壁设有与内螺纹41相配合的外螺纹42，插孔4和加热管10通过内外螺纹配合连接，加热管10均独立连接插孔4，即加热管10独立可拆卸，加热管10的内腔设有电阻丝，所述电阻丝为螺旋结构，采用螺旋结构电阻丝发热更快更均匀，加热板2的顶端设有导热铝基板1，导热铝基板1的底端均匀设有受热凸点6，受热凸点6位于加热板2的内腔上方，受热凸点6可以使热量散发到导热铝基板1时各个位置受热更加均匀，同时导热铝基板1具有高效导热效果，导热铝基板1温度上升快，加热板2的内壁均匀设有温度感应器5，对应发热板2内不同区域的温度都对应的设有温度感应器5可以实施监测，温度感应器5电性连接设置在隔热层8底端的控制装置9，隔热层8位于加热板2的底端，隔热层8包括相配合的云母层81和保温棉层82，两相配合的隔热层8可以有效的防止热量的散失，同时保护控制装置9的安全，控制装置9电性连接导电板3和报警器7，报警器7设在加热板2的右侧，控制装置9既起到接收信号的作用，又起到触发报警器7的作用，即为一个信号中转站，当温度感应器5检测到加热板2内温度过高时，将变化值转换成电信号值，传输给控制装置9，控制装置9再触发报警器7。

本实施例的其他部分均采用已有技术，在此不再赘述。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (3)

1.一种碳化硅加工用脱胶加热板，包括加热板(2)，其特征在于：所述加热板(2)的内腔设有加热管(10)，所述加热板(2)的内腔底部设有导电板(3)，所述导电板(3)上均匀开有插孔(4)，所述插孔(4)的内侧壁设有内螺纹(41)，所述加热管(10)的一端外侧壁设有与所述内螺纹(41)相配合的外螺纹(42)，所述插孔(4)和加热管(10)通过内外螺纹配合连接，所述加热板(2)的顶端设有导热铝基板(1)，所述导热铝基板(1)的底端均匀设有受热凸点(6)，所述受热凸点(6)位于加热板(2)的内腔上方，所述加热板(2)的内壁均匀设有温度感应器(5)，所述温度感应器(5)电性连接设在隔热层(8)底端的控制装置(9)，所述隔热层(8)位于加热板(2)的底端，所述控制装置(9)电性连接导电板(3)和报警器(7)，所述报警器(7)设在加热板(2)的右侧。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅加工用脱胶加热板，其特征在于：所述加热管(10)的内腔设有电阻丝，所述电阻丝为螺旋结构。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅加工用脱胶加热板，其特征在于：所述隔热层(8)包括相配合的云母层(81)和保温棉层(82)。