CN206105586U - 抛光机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种抛光机，抛光机包括：框架，框架包括安装平台和上安装板，上安装板位于安装平台的上方；抛光盘，抛光盘安装在安装平台上；平移驱动装置，平移驱动装置安装在上安装板上；悬挂组件，平移驱动装置适于驱动悬挂组件平移，悬挂组件的一部分朝向安装平台伸出；抛光驱动组件，抛光驱动组件与悬挂组件的伸出部分相连且位于抛光盘的上方。通过设置框架的上安装板和悬挂组件，可以取消悬臂，这样可以保证抛光驱动组件的平移可靠性，从而可以保证抛光质量，以及可以增加抛光驱动组件在抛光盘上的行程，这样可以使得抛光头的摆动行程覆盖抛光盘上的抛光垫的中心，可以提高抛光垫的利用率。

Description

抛光机

技术领域

本实用新型涉及一种抛光机。

背景技术

在化学机械抛光机中，驱动抛光驱动组件平移运动的导轨和平移驱动装置一般安装在悬臂结构上，这样导致抛光机具有以下问题：1、悬臂结构末端变形较大，导轨与抛光盘表面存在较大平行度误差，抛光头在抛光盘上方平移时存在高度方向变化，导致抛光头对晶圆加载压力存在变化，影响抛光质量；2、悬臂长度较短，导致抛光头驱动组件在抛光盘上方行程短，不利于抛光头摆动行程覆盖抛光垫中心，造成抛光垫浪费，同时抛光头离机台正面距离远，不便于抛光驱动组件的维护和抛光头的更换；3、悬臂结构在抛光盘上方，不利于抛光盘元件更换。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种抛光机，该抛光机可以取消悬臂，从而可以保证抛光头的平移可靠性，可以有利于保证抛光质量。

根据本实用新型的抛光机，包括：框架，所述框架包括安装平台和上安装板，所述上安装板位于所述安装平台的上方；抛光盘，所述抛光盘安装在所述安装平台上；平移驱动装置，所述平移驱动装置安装在所述上安装板上；悬挂组件，所述平移驱动装置适于驱动所述悬挂组件平移，所述悬挂组件的一部分朝向所述安装平台伸出；抛光驱动组件，所述抛光驱动组件与所述悬挂组件的伸出部分相连且位于所述抛光盘的上方。

根据本实用新型的抛光机，通过设置框架的上安装板和悬挂组件，可以取消悬臂，这样可以保证抛光驱动组件的平移可靠性，可以保证抛光质量，以及可以增加抛光驱动组件在抛光盘上的行程，而且不仅可以使得抛光头的摆动行程覆盖抛光盘上的抛光垫的中心，可以提高抛光垫的利用率，同时还可以使得抛光头靠近抛光机外部，有利于抛光驱动组件的维护和抛光头的更换。另外，这样还可以使得抛光盘上方空间增大，有利于抛光盘大型元件的更换。

另外，根据本实用新型的抛光机还可以具有以下技术特征：

在本实用新型的一些示例中，所述抛光机还包括：装卸平台和导轨，所述装卸平台安装在所述安装平台上且位于所述抛光盘的一侧，所述导轨安装在所述上安装板上，所述悬挂组件可移动地配合在所述导轨上，所述导轨的延伸方向与所述抛光盘和所述装卸平台的中心连线方向相同。

在本实用新型的一些示例中，所述悬挂组件包括：水平板和连接在所述水平板两端的竖直板，所述平移驱动装置驱动所述水平板平移，所述水平板配合在所述导轨上，所述竖直板朝向所述抛光盘伸出，所述抛光驱动组件安装在两个所述竖直板的自由端上。

在本实用新型的一些示例中，所述抛光驱动组件包括：抛光头；基座，所述基座连接在所述抛光头的上方，所述基座与所述两个竖直板相连；电机，所述电机安装在所述基座的上方。

在本实用新型的一些示例中，所述抛光机还包括：修整器和抛光液输送装置，所述修整器和所述抛光液输送装置分别安装在所述安装平台上且分别位于所述抛光盘和所述装卸平台之间的中心连线的两侧。

在本实用新型的一些示例中，所述导轨为两个，两个所述导轨位于所述平移驱动装置的两侧。

在本实用新型的一些示例中，所述导轨和所述平移驱动装置安装在所述上安装板的上表面或者下表面。

在本实用新型的一些示例中，所述导轨和所述平移驱动装置安装在所述上安装板的上表面，所述上安装板上形成有供所述悬挂组件朝向所述抛光盘伸出的长形孔，所述长形孔的延伸方向与所述导轨的延伸方向相同。

在本实用新型的一些示例中，所述框架包括：下框架；所述安装平台，所述安装平台安装在所述下框架上；上框架，所述上框架安装在所述安装平台上且包括与所述安装平台上下相对的所述上安装板。

在本实用新型的一些示例中，所述平移驱动装置包括电机和传动件，所述电机与所述传动件相连，所述传动件与所述悬挂组件相连，所述传动件为同步带或丝杠。

附图说明

图1是根据本实用新型实施例的抛光机的结构示意图；

图2是悬挂组件的结构示意图；

图3是抛光驱动组件的结构示意图；

图4是上安装板的结构示意图。

附图标记：

抛光机100；

框架10；下框架11；安装平台12；上框架13；上安装板131；长形孔132；

抛光盘20；平移驱动装置30；

悬挂组件40；水平板41；竖直板42；

抛光驱动组件50；抛光头51；基座52；电机53；

装卸平台60；导轨70；修整器80；抛光液输送装置90。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

下面参考附图详细描述根据本实用新型实施例的抛光机100。

根据本实用新型实施例的抛光机100可以包括：框架10、抛光盘20、平移驱动装置30、悬挂组件40、抛光驱动组件50、装卸平台60、导轨70、修整器80和抛光液输送装置90。

如图1所示，框架10可以包括下框架11、安装平台12和上框架13，安装平台12安装在上框架13和下框架11之间，也就是说，安装平台12安装在下框架11上，上框架13安装在安装平台12上。其中，上框架13包括与安装平台12上下相对的上安装板131。换言之，上框架13包括上安装板131，上安装板131位于安装平台12的上方，例如正上方。

抛光盘20、装卸平台60、修整器80和抛光液输送装置90分别安装在安装平台12上，装卸平台60位于抛光盘20的一侧，而且修整器80和抛光液输送装置90分别位于抛光盘20和装卸平台60之间的中心连线的两侧。这样可以合理利用安装平台12的空间，而且可以使得各部件在安装平台12上布置合理，可以避免两个相邻部件之间的相互干涉，从而可以保证抛光机100的工作可靠性。

平移驱动装置30安装在上安装板131上，平移驱动装置30适于驱动悬挂组件40平移，悬挂组件40的一部分朝向安装平台12伸出。导轨70也可以安装在上安装板131上，悬挂组件40可以移动地配合在导轨70上。这样在平移驱动装置30驱动悬挂组件40平移时，悬挂组件40可以在导轨70上沿导轨70的延伸方向平移，其中导轨70的延伸方向与平移驱动装置30的驱动方向相同，导轨70可以提高悬挂组件40的平移可靠性。

如图1所示，平移驱动装置30可以包括电机和传动件，电机与传动件相连，传动件与悬挂组件40相连，传动件可以为同步带或者丝杠。当传动件为丝杠时，悬挂组件40上可以设置有螺母，螺母配合在丝杠上，从而通过螺母和丝杠之间的配合可以将电机的旋转运动转化成悬挂组件40和抛光驱动组件50的平移运动。当传动件为同步带时，同步带可以通过摩擦方式或者直接固定连接的方式带动悬挂组件40和抛光驱动组件50平移运动。

抛光驱动组件50与悬挂组件40的伸出部分相连，而且抛光驱动组件50位于抛光盘20的上方。悬挂组件40包括：水平板41和连接在水平板41两端的竖直板42，也就是说，竖直板42可以为两个，两个竖直板42连接在水平板41的两端且向下延伸，平移驱动装置30驱动水平板41平移，水平板41配合在导轨70上，导轨70上可以设置有滑块，水平板41与滑块固定，这样可以保证水平板41在滑块导轨70上的移动可靠性。竖直板42朝向抛光盘20伸出，抛光驱动组件50安装在两个竖直板42的自由端上。这样可以增加抛光驱动组件50在抛光盘20上的行程，不仅可以使得抛光头51的摆动行程覆盖抛光盘20上的抛光垫的中心，可以提高抛光垫的利用率，同时还可以使得抛光头51靠近抛光机100外部，有利于抛光驱动组件50的维护和抛光头51的更换。另外，这样还可以使得抛光盘20上方空间增大，有利于抛光盘20大型元件的更换。

导轨70的延伸方向与抛光盘20和装卸平台60的中心连线方向相同。这样可以便于平移驱动装置30驱动悬挂组件40在抛光盘20和装卸平台60的中心连线方向运动，从而可以保证抛光头51的抛光均匀性和可靠性。通过设置悬挂组件40，可以减小导轨70与抛光盘20表面存在的平行度误差，以及可以减小抛光头51在抛光盘20上抛光时的高度变化，从而可以使得抛光头51对晶圆加载压力更稳定，进而可以提高抛光机100的抛光质量。

如图1所示，导轨70可以为两个，两个导轨70可以位于平移驱动装置30的两侧。通过设置两个导轨70，可以提高悬挂组件40的平移稳定性。当然，本实用新型并不限于此，导轨70可以为一个，平移驱动装置30可以包括带有导轨的丝杠模组。

其中，如图1所示，导轨70和平移驱动装置30可以安装在上安装板131的上表面。这样可以便于导轨70和平移驱动装置30的布置。如图4所示，上安装板131上形成有供悬挂组件40朝向抛光盘20伸出的长形孔132，长形孔132的延伸方向与导轨70的延伸方向相同。长形孔132可以便于竖直板42穿过上安装板131，从而可以便于竖直板42与抛光驱动组件50固定连接。其中竖直板42为两个，长形孔132为两个，一个竖直板42配合在相应的一个长形孔132内，两个长形孔132可以位于两个导轨70的外侧。

当然，本实用新型并不限于此，导轨70和平移驱动装置30还可以安装在上安装板131的下表面。

结合图1和图3所示，抛光驱动组件50可以包括：抛光头51、基座52和电机53，基座52连接在抛光头51的上方，基座52与两个竖直板42相连，电机53安装在基座52的上方。电机53可以驱动抛光头51转动以进行抛光。基座52可以连接在两个竖直板42的自由端，这样一方面可以保证抛光驱动组件50的安装可靠性，而且可以便于将抛光头51布置在抛光盘20的上方。

根据本实用新型实施例的抛光机100，通过设置框架10的上安装板131和悬挂组件40，可以取消悬臂，可以保证抛光驱动组件50的平移可靠性，可以保证抛光质量，以及可以增加抛光驱动组件50在抛光盘20上的行程，这样不仅可以使得抛光头51的摆动行程覆盖抛光盘20上的抛光垫的中心，可以提高抛光垫的利用率，同时还可以使得抛光头51靠近抛光机100外部，有利于抛光驱动组件50的维护和抛光头51的更换。另外，这样还可以使得抛光盘20上方空间增大，利于抛光盘20大型元件的更换。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (10)

1.一种抛光机，其特征在于，包括：

框架，所述框架包括安装平台和上安装板，所述上安装板位于所述安装平台的上方；

抛光盘，所述抛光盘安装在所述安装平台上；

平移驱动装置，所述平移驱动装置安装在所述上安装板上；

悬挂组件，所述平移驱动装置适于驱动所述悬挂组件平移，所述悬挂组件的一部分朝向所述安装平台伸出；

抛光驱动组件，所述抛光驱动组件与所述悬挂组件的伸出部分相连且位于所述抛光盘的上方。

2.根据权利要求1所述的抛光机，其特征在于，还包括：装卸平台和导轨，所述装卸平台安装在所述安装平台上且位于所述抛光盘的一侧，所述导轨安装在所述上安装板上，所述悬挂组件可移动地配合在所述导轨上，所述导轨的延伸方向与所述抛光盘和所述装卸平台的中心连线方向相同。

3.根据权利要求2所述的抛光机，其特征在于，所述悬挂组件包括：水平板和连接在所述水平板两端的竖直板，所述平移驱动装置驱动所述水平板平移，所述水平板配合在所述导轨上，所述竖直板朝向所述抛光盘伸出，所述抛光驱动组件安装在两个所述竖直板的自由端上。

4.根据权利要求3所述的抛光机，其特征在于，所述抛光驱动组件包括：

抛光头；

基座，所述基座连接在所述抛光头的上方，所述基座与所述两个竖直板相连；

电机，所述电机安装在所述基座的上方。

5.根据权利要求2所述的抛光机，其特征在于，还包括：修整器和抛光液输送装置，所述修整器和所述抛光液输送装置分别安装在所述安装平台上且分别位于所述抛光盘和所述装卸平台之间的中心连线的两侧。

6.根据权利要求2所述的抛光机，其特征在于，所述导轨为两个，两个所述导轨位于所述平移驱动装置的两侧。

7.根据权利要求2所述的抛光机，其特征在于，所述导轨和所述平移驱动装置安装在所述上安装板的上表面或者下表面。

8.根据权利要求7所述的抛光机，其特征在于，所述导轨和所述平移驱动装置安装在所述上安装板的上表面，

所述上安装板上形成有供所述悬挂组件朝向所述抛光盘伸出的长形孔，所述长形孔的延伸方向与所述导轨的延伸方向相同。

9.根据权利要求1所述的抛光机，其特征在于，所述框架包括：

下框架；

所述安装平台，所述安装平台安装在所述下框架上；

上框架，所述上框架安装在所述安装平台上且包括与所述安装平台上下相对的所述上安装板。

10.根据权利要求1所述的抛光机，其特征在于，所述平移驱动装置包括电机和传动件，所述电机与所述传动件相连，所述传动件与所述悬挂组件相连，所述传动件为同步带或丝杠。