CN205465671U - 精密高速抛光精磨机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种精密高速抛光精磨机，包括抛光机主体和研磨轮，所述研磨轮的外侧设置有抛光层，所述研磨轮内设置有多个沿其半径方向上的并与所述研磨轮的外沿连通的研磨液出孔，所述研磨轮的一侧设置有转轴，所述转轴内设置有研磨液进孔，所述研磨液进孔的外端与研磨液添加器连接，所述研磨液进孔的内端与所述研磨液出孔的内端连通。本实用新型精密高速抛光精磨机通过在研磨轮内设置研磨液出口孔，使研磨轮在转动时，通过离心力将内部的研磨液从研磨液出孔排出至研磨轮的圆周，使其在抛光层与研磨品之间形成隔层，避免对研磨品过度研磨。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种抛光研磨机，尤其涉及一种精密高速抛光精磨机。
背景技术
研磨抛光是将某些研磨品表面进行研磨，一般的抛光研磨机均是通过研磨轮的转动对研磨品进行抛光，在进行工作时，需要向研磨轮与研磨品之间添加研磨剂，避免研磨轮过度与研磨品接触，传统的研磨剂添加器直接通过喷头喷至研磨轮与研磨品之间，作用效果较差，且容易发生浪费和喷射密度不均匀的情况。
实用新型内容
本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种精密高速抛光精磨机。
本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：
一种精密高速抛光精磨机，包括抛光机主体和研磨轮，所述研磨轮的外侧设置有抛光层，所述研磨轮内设置有多个沿其半径方向上的并与所述研磨轮的外沿连通的研磨液出孔，所述研磨轮的一侧设置有转轴，所述转轴内设置有研磨液进孔，所述研磨液进孔的外端与研磨液添加器连接，所述研磨液进孔的内端与所述研磨液出孔的内端连通。
具体地，所述研磨轮的中心处设置有锥形空腔，所述锥形空腔的顶端与所述研磨液进孔连通，所述锥形空腔的底端的圆周分别与多个所述研磨液出孔的内端连接。
具体地，所述研磨液进孔的中轴线所在的平面将所述研磨轮均分分为两部分，所述锥形空腔的底面与该平面平行。
进一步，所述锥形空腔内设置有锥形块，所述锥形块的底面与所述锥形空腔的底面固定连接，所述锥形块的顶端与所述锥形空腔的顶端之间设置有间隙。
具体地，所述研磨轮的另一侧设置有环形槽，所述环形槽的深度大于所述研磨轮的厚度的一半，所述环形槽内设置有密封环或半漏环。
具体地，所述密封环的两侧与所述环形槽密封连接，所述密封环的内端设置有与所述研磨液出孔对应的通孔。
具体地，所述半漏环的外侧与所述环形槽的外侧密封连接，所述半漏环的内侧与所述环形槽的内侧之间设置有间隙。
本实用新型的有益效果在于：
本实用新型精密高速抛光精磨机通过在研磨轮内设置研磨液出口孔，使研磨轮在转动时，通过离心力将内部的研磨液从研磨液出孔排出至研磨轮的圆周，使其在抛光层与研磨品之间形成隔层，避免对研磨品过度研磨。
附图说明
图1是本实用新型所述精密高速抛光精磨机的横切剖视图；
图2是本实用新型所述精密高速抛光精磨机的纵切剖视图；
图3是本实用新型所述精密高速抛光精磨机的密封环的安装示意图；
图4是本实用新型所述精密高速抛光精磨机的半漏环的安装示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步说明：
如图1和图2所示，本实用新型一种精密高速抛光精磨机，包括抛光机主体和研磨轮1，研磨轮1的外侧设置有抛光层，研磨轮1内设置有多个沿其半径方向上的并与研磨轮1的外沿连通的研磨液出孔2，研磨轮1的一侧设置有转轴11，转轴11内设置有研磨液进孔31，研磨液进孔31的外端与研磨液添加器连 接，研磨液进孔31的内端与研磨液出孔2的内端连通，研磨轮1的中心处设置有锥形空腔3，锥形空腔3的顶端与研磨液进孔31连通，锥形空腔3的底端的圆周分别与多个研磨液出孔2的内端连接，研磨液进孔31的中轴线所在的平面将研磨轮1均分分为两部分，锥形空腔3的底面与该平面平行，锥形空腔3内设置有锥形块6，锥形块的底面与锥形空腔3的底面固定连接，锥形块6的顶端与锥形空腔3的顶端之间设置有间隙，研磨轮1的另一侧设置有环形槽5，环形槽5的深度大于研磨轮1的厚度的一半，环形槽5内设置有密封环7或半漏环8。
如图3所示，密封环7的两侧与环形槽5密封连接，密封环7的内端设置有与研磨液出孔2对应的通孔。
如图4所示，半漏环8的外侧与环形槽5的外侧密封连接，半漏环的内侧与环形槽5的内侧之间设置有间隙。
本实用新型精密高速抛光精磨机的工作原理如下：
本实用新型的抛光轮可以选择进行侧边抛光与侧面抛光。
实施例一
进行侧边抛光时，将密封环7插入至环形槽5内，密封环7与环形槽5密封，并且密封环7上有连通研磨液出孔2的通孔，在研磨轮1转动时，通过离心力将研磨机添加器内的研磨剂抽取排至研磨轮1的侧边与研磨品之间，形成间隙。
实施例二
进行侧面抛光时，将半漏环8插入至环形槽5内，半漏环的外侧面与环形槽5的外侧面密封，半漏环的内侧面与环形槽5的内侧面之间设置有间隙，从而使得经过离心力排出的研磨剂流至研磨轮1的侧面，并继续在离心力的作用下遍布整个研磨轮1，从而实现将研磨剂遍布研磨轮1的侧面与研磨品之间。
本实用新型的技术方案不限于上述具体实施例的限制，凡是根据本实用新型的技术方案做出的技术变形，均落入本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种精密高速抛光精磨机，包括抛光机主体，其特征在于：还包括研磨轮，所述研磨轮的外侧设置有抛光层，所述研磨轮内设置有多个沿其半径方向上的并与所述研磨轮的外沿连通的研磨液出孔，所述研磨轮的一侧设置有转轴，所述转轴内设置有研磨液进孔，所述研磨液进孔的外端与研磨液添加器连接，所述研磨液进孔的内端与所述研磨液出孔的内端连通。
2.根据权利要求1所述的精密高速抛光精磨机，其特征在于：所述研磨轮的中心处设置有锥形空腔，所述锥形空腔的顶端与所述研磨液进孔连通，所述锥形空腔的底端的圆周分别与多个所述研磨液出孔的内端连接。
3.根据权利要求2所述的精密高速抛光精磨机，其特征在于：所述研磨液进孔的中轴线所在的平面将所述研磨轮均分分为两部分，所述锥形空腔的底面与该平面平行。
4.根据权利要求3所述的精密高速抛光精磨机，其特征在于：所述锥形空腔内设置有锥形块，所述锥形块的底面与所述锥形空腔的底面固定连接，所述锥形块的顶端与所述锥形空腔的顶端之间设置有间隙。
5.根据权利要求1所述的精密高速抛光精磨机，其特征在于：所述研磨轮的另一侧设置有环形槽，所述环形槽的深度大于所述研磨轮的厚度的一半，所述环形槽内设置有密封环或半漏环。
6.根据权利要求5所述的精密高速抛光精磨机，其特征在于：所述密封环的两侧与所述环形槽密封连接，所述密封环的内端设置有与所述研磨液出孔对应的通孔。
7.根据权利要求5所述的精密高速抛光精磨机，其特征在于：所述半漏环的外侧与所述环形槽的外侧密封连接，所述半漏环的内侧与所述环形槽的内侧之间设置有间隙。
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Cited By (1)
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| CN108550535A (zh) * | 2018-04-03 | 2018-09-18 | 韩赛 | 一种晶圆表面加工用的机床 |
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| CN108550535A (zh) * | 2018-04-03 | 2018-09-18 | 韩赛 | 一种晶圆表面加工用的机床 |
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