CN205415238U - 一种pecvd载板自动清洗平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种PECVD载板自动清洗平台，包括底座、设在底座上的支架、设在支架上的传送装置、控制装置、载板放置槽、清洗装置，载板放置槽设有定位装置和打磨电机，传送装置和控制装置连接，控制着载板放置槽和打磨电机的升降移动。本实用新型清洗效果比传统手工打磨好，打磨均匀、干净，清洗载板速度快，节省时间，提高清洗效率，采用伺服电机精确控制载板放置槽的移动，清洗精度高。

Description

一种PECVD载板自动清洗平台

技术领域

本实用新型涉及太阳能镀膜技术领域，尤其涉及PECVD载板自动清洗平台。

背景技术

PECVD系统是模块化系统，在制备硅基异质结电池时，将硅片制绒及清洗预处理之后，硅片通过上料机构放置到载板上，进入预热腔室，然后完成n(或p)层沉积，之后通过具有冷却功能的冷却机构进入下料机构，其中，硅片进入PECVD系统反应时是通过放在载板上来实现，因此载板有些部分会有硅的沉积，而载板从大气进入腔室，加热到冷却的这种循环很容易使在载板上的沉积硅剥落到各个腔室内，造成沉积钝化膜质量的下降。因此需要定期对PECVD载板和Showerhead进行保养清洗。

传统方式是通过原位室清洁，此种方式的不足之处在于：占据了PECVD系统时间，降低了运行时间；载板和PECVD室的清洁频率有很大的不同；原位清洁，使用NF₃等离子体，成本高且破坏环境气体；需要一项技术来增加系统正常运行时间和降低成本。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提供了一种PECVD载板自动清洗平台，实现PECVD载板和Showerhead清洗的机械自动化，代替传统的人工操作，不但提高了清洗效率而且清晰效果佳。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种PECVD载板自动清洗平台，所述自动清洗平台包括底座、设在底座上的支架、设在支架上的传送装置、控制装置、载板放置槽、清洗装置，所述载板放置槽设有定位装置和打磨电机，所述传送装置和控制装置连接，控制着载板放置槽和打磨电机的升降移动。

进一步的，所述传送装置包括X轴导轨、Y轴导轨、Z轴导轨以及分别连接X轴导轨、Y轴导轨、Z轴导轨的X轴伺服电机、Y轴伺服电机和Z轴升降气缸，所述X轴伺服电机、Y轴伺服电机设在支架上，所述Z轴升降气缸设在载板放置槽上，Z轴升降气缸通过Z轴导轨和打磨电机连接。

进一步的，所述控制装置包括多功能电控柜，该多功能电控柜通过正反转电路连接传送装置，所述多功能电控柜上设有步进电机控制器及十字摇杆。

进一步的，所述清洗装置包括进水口、气压接入口、管道、压力调节阀、电磁阀、限流阀以及废水排出口，所述管道设在支架上，进水口通过管道和限流阀连接，气压接入口通过压力调节阀、电磁阀和管道连接，所述废水排出口设在载板放置槽上。

进一步的，所述定位装置包括载板定位块、载板支撑块、位置传感器，所述载板定位块、载板支撑块设在载板放置槽上，位置传感器设在载板放置槽下方。

进一步的，所述打磨电机由左边打磨机和右打磨机组成，所述Z轴导轨和Z轴升降气缸由左Z轴导轨、左Z轴升降气缸和右Z轴导轨和右Z轴升降气缸，所述左Z轴升降气缸通过左Z轴导轨和左打磨电机连接，所述右Z轴升降气缸通过右Z轴导轨和右打磨电机连接。

由上述对本实用新型结构的描述可知，和现有技术相比，本实用新型具有如下优点：

本实用新型一种PECVD载板自动清洗平台，采用伺服电机精确控制载板放置槽在X和Y轴导轨上移动，并在适当位置装有位置传感器，防止过度移动，在支架上安装气缸升降导轨，使打磨电机可以沿Z轴导轨上下移动，通过方便载板的取放，调压阀、电磁阀和限流阀组合控制气缸升降，确保打磨电机的平稳升降。清洗效果比传统手工打磨好，打磨均匀、干净，清洗载板速度快，节省时间，提高清洗效率，采用伺服电机精确控制载板放置槽的移动，清洗精度高。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型一种PECVD载板自动清洗平台的结构示意图；

图2为本实用新型图1的主视图；

图3为本实用新型一种PECVD载板自动清洗平台的爆炸图；

图4为本实用新型中支架的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例

一种PECVD载板自动清洗平台采用伺服电机精确控制载板放置槽在X和Y轴导轨上移动，并在适当位置装有位置传感器，防止过度移动，在支架上安装气缸升降导轨，使打磨电机可以沿Z轴导轨上下移动，通过方便载板的取放，调压阀、电磁阀和限流阀组合控制气缸升降，确保打磨电机的平稳升降。

如图3所示包括底座1、设在底座1上的支架2、设在支架2上的传送装置3、控制装置4、载板放置槽5、清洗装置6，其中载板放置槽5设有定位装置7和打磨电机8，传送装置3和控制装置4连接，控制着载板放置槽5和打磨电机8的升降移动。

如图1～图2所示传送装置3包括X轴导轨30、Y轴导轨31、Z轴导轨32以及分别连接X轴导轨30、Y轴导轨31、Z轴导轨32的X轴伺服电机33、Y轴伺服电机34和Z轴升降气缸35，所述X轴伺服电机33、Y轴伺服电机34设在支架2上，Z轴升降气缸35设在载板放置槽5上，Z轴升降气缸35通过Z轴导轨32和打磨电机8连接。所述控制装置4包括多功能电控柜40，该多功能电控柜40通过正反转电路连接传送装置3。多功能电控柜40上设有步进电机控制器41及十字摇杆42，多功能电控柜40控制左打磨电机和右打磨电机的开关、精确控制载板放置槽5在X轴导轨30和Y轴导轨31上运动并且可显示可调节移动速度、控制打磨电机8沿Z轴导轨35上升降和急停功能，双电机打磨提高清洗效率。，可独立控制其开关，并可调整电机转速，所述清洗装,6包括进水口60、气压接入口61、管道62、压力调节阀63、电磁阀64、限流阀65以及废水排出口66，所述管道62设在支架2上，进水口60通过管道62和限流阀65连接，气压接入口61通过压力调节阀63、电磁阀64和管道62连接，废水排出口66设在载板放置槽5上。定位装置7包括载板定位块70、载板支撑块71、位置传感器72，所述载板定位块70、载板支撑块71设在载板放置槽5上，在载板放置槽5有90°直角载板定位块70，底部有载板支撑块71，使载板放置槽5放置样品的时候准确、轻便、快捷，位置传感器72设在载板放置槽5下方，采用伺服电机精确控制载板放置槽5在X轴导轨30和Y轴导轨31上移动，并装有位置传感器72，防止过度移动。

如图3为本实用新型一种PECVD载板自动清洗平台的爆炸图所示，底座1和支架2活动连接，清洗装置6和打磨电机8固定在支架2上，底座1和载板放置槽5固定在一起。结构简单，拆装方便，方便维修和保养。

如图4为为本实用新型中支架的结构示意图，支架2为“门”字型结构，包括左基座20和右基座21，以及连接左基座20和右基座21的横梁22，图4所示的“门”字型结构的支架2提高了本实用新型的稳定性，在工作的时不会摇晃。

本实用新型清洗效果比传统手工打磨好，打磨均匀、干净，清洗载板速度快，节省时间，提高清洗效率，采用伺服电机精确控制载板放置槽的移动，清洗精度高。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种PECVD载板自动清洗平台，其特征在于：所述自动清洗平台包括底座、设在底座上的支架、设在支架上的传送装置、控制装置、载板放置槽、清洗装置，所述载板放置槽设有定位装置和打磨电机，所述传送装置和控制装置连接，控制着载板放置槽和打磨电机的升降移动。

2.根据权利要求1所述PECVD载板自动清洗平台，其特征在于：所述传送装置包括X轴导轨、Y轴导轨、Z轴导轨以及分别连接X轴导轨、Y轴导轨、Z轴导轨的X轴伺服电机、Y轴伺服电机和Z轴升降气缸，所述X轴伺服电机、Y轴伺服电机设在支架上，所述Z轴升降气缸设在载板放置槽上，Z轴升降气缸通过Z轴导轨和打磨电机连接。

3.根据权利要求1所述PECVD载板自动清洗平台，其特征在于：所述控制装置包括多功能电控柜，该多功能电控柜通过正反转电路连接传送装置。

4.根据权利要求3所述PECVD载板自动清洗平台，其特征在于：所述多功能电控柜上设有步进电机控制器及十字摇杆。

5.根据权利要求1所述PECVD载板自动清洗平台，其特征在于：所述清洗装置包括进水口、气压接入口、管道、压力调节阀、电磁阀、限流阀以及废水排出口，所述管道设在支架上，进水口通过管道和限流阀连接，气压接入口通过压力调节阀、电磁阀和管道连接，所述废水排出口设在载板放置槽上。

6.根据权利要求1所述PECVD载板自动清洗平台，其特征在于：所述定位装置包括载板定位块、载板支撑块、位置传感器，所述载板定位块、载板支撑块设在载板放置槽上，位置传感器设在载板放置槽下方。

7.根据权利要求2所述PECVD载板自动清洗平台，其特征在于：所述打磨电机由左边打磨机和右打磨机组成，Z轴导轨和Z轴升降气缸由左Z轴导轨、左Z轴升降气缸和右Z轴导轨和右Z轴升降气缸，左Z轴升降气缸通过左Z轴导轨和左打磨电机连接，右Z轴升降气缸通过右Z轴导轨和右打磨电机连接。