CN205347564U - 一种旋转靶材浇铸工装 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种旋转靶材浇铸工装，其包括内模、外模、锁紧装置、定位端盖、横浇道、直浇道以及冒口；所述外模设置在内模的外周；所述定位端盖用于连接内模和外模；所述锁紧装置用于锁紧定位端盖，并与内模螺纹连接；所述冒口在垂直轴向方向上设置在外模的管壁上。

Description

一种旋转靶材浇铸工装

技术领域

本实用新型涉及一种工装，具体涉及一种旋转靶材浇铸工装，属于机械技术领域。

背景技术

自旋转靶材被开发出来后，靶材的利用率由传统矩形平面靶材的40％提高到80％，大量节约镀膜成本，从此旋转靶材在大面积镀膜行业得到了广发应用。然而，制备长达4米的矩形靶材尚且不容易，而制备类似长度的中空圆柱靶材，更为不易，现有的旋转Sn、ZnSn、ZnAl等低熔点的靶材一般都是采用浇铸和喷涂工艺，在实际的实用过程中，存在着浇铸工艺制备的管型管不可避免晶粒的过分长大，影响镀膜的均匀性；喷涂工艺得到的管型管材料氧氮含量都比较高，且致密度较低，导致膜层品质与靶材寿命相对较低。

现有技术中公开了一些旋转靶材的浇铸工装，例如CN102554149A、CN102260847A、CN104032271A、CN104399897A均公开了一种旋转靶材的立式浇铸工装，其工装组装难度大，安全性能差，而且靶材密度均匀性不够完美。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种旋转靶材浇铸工装，该旋转靶材浇铸工装用于低熔点的金属或合金旋转靶材的生产加工。可以加工旋转铟靶材，旋转锌铝靶材，旋转锌锡靶材，旋转锌锡铜靶材，旋转铝靶材等，采用横浇铸的形式，大大降低了模具安装的难度，也提高了浇铸操作的安全性。

本实用新型的技术方案如下：

一种旋转靶材浇铸工装，其包括内模、外模、锁紧装置、定位端盖、横浇道、直浇道以及冒口；所述外模设置在内模的外周；所述定位端盖用于连接内模和外模；所述锁紧装置用于锁紧定位端盖，并与内模螺纹连接；所述冒口在垂直轴向方向上设置在外模的管壁上。

其中，所述内模为不锈钢管。

其中，所述锁紧装置为锁紧螺母。

本实用新型具有如下有益效果：

(1)该浇铸工装采用横浇铸的形式，大大降低了模具安装的难度，也提高了浇铸操作的安全性；

(2)浇铸工装设置了两个补缩点(冒口和浇道)，最终精加工将去除，保证靶材不会因为端部的补缩产生缩松缩孔缺陷，靶材密度均匀性更好；

(3)浇铸完成后，内模内通水雾冷却能大大缩短靶材的冷却时间，能生产细晶粒的金属或合金靶材，且晶粒生长方向沿径向生长，靶材的使用性能大大提供。(晶粒越细，靶材溅射速率越快，晶粒生长方向作为溅射面亦能提高溅射速率)

(4)该浇铸工装安装简单，生产效率高。且可用于生产多种低熔点的金属或合金旋转靶材。最长可加工4米长的旋转靶材。

附图说明

图1为本实用新型工装的整体结构图；

图2是本实用新型图1中的工装沿着A-A方向切面的剖面图；

图中附图标记表示为：

1-锁紧装置、2-定位端盖、3-外模、4-内模、5-直浇道、6-横浇道、7-冒口。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例来对本实用新型进行详细的说明。

参见图1、图2，一种旋转靶材浇铸工装，其包括内模4、外模3、锁紧装置1、定位端盖2、横浇道6、直浇道5以及冒口7；所述外模3设置在内模4的外周；所述定位端盖2用于连接内模4和外模3；所述锁紧装置1用于锁紧定位端盖2，并与内模4螺纹连接；所述冒口7在垂直轴向方向上设置在外模3的管壁上；所述定位端盖2确保浇铸成品壁厚的一致性；所述外模3的内径可以控制靶材的大小；所述直浇道5用于浇铸液的注入，同时作为凝固阶段的补缩；所述横浇道用于浇铸液形成稳流进入浇铸型腔内；所述冒口7用于浇铸凝固阶段的补缩。

优选的，所述内模为不锈钢管。

优选的，所述锁紧装置为锁紧螺母。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (3)

1.一种旋转靶材浇铸工装，其特征在于：包括内模、外模、锁紧装置、定位端盖、横浇道、直浇道以及冒口；所述外模设置在内模的外周；所述定位端盖用于连接内模和外模；所述锁紧装置用于锁紧定位端盖，并与内模螺纹连接；所述冒口在垂直轴向方向上设置在外模的管壁上。

2.如权利要求1所述的旋转靶材浇铸工装，其特征在于：所述内模为不锈钢管。

3.如权利要求1或2所述的旋转靶材浇铸工装，其特征在于：所述锁紧装置为锁紧螺母。