CN205241250U - 一种四氯化硅精馏尾气回收系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型的目的是针对现有技术存在的问题提供一种四氯化硅精馏尾气回收系统。本实用新型包括依次连接的缓冲器、第一液封器、冷却器、积液器和第二液封器，所述积液器的排液口连接有水解装置。本实用新型能够高效的对四氯化硅精馏尾气进行回收，防止四氯化硅精馏尾气对环境污染。

Description

一种四氯化硅精馏尾气回收系统

技术领域

本实用新型涉及一种尾气回收系统，具体涉及一种四氯化硅精馏尾气回收系统。

背景技术

现有四氯化硅尾气回收系统，回收过程使用的加热设备、氢化设备等，设备工艺要求严格、造价高，耗能大，将四氯化硅热氢化后生成多晶硅的原料，只是回收了部分四氯化硅，回收不彻底，仍然会产生环境污染。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术存在的问题提供一种四氯化硅精馏尾气回收系统。

一种四氯化硅精馏尾气回收系统，包括依次连接的缓冲器、第一液封器、冷却器、积液器和第二液封器，所述积液器的排液口连接有水解装置；

所述水解装置由水解室、固液分离室和储液室组成，所述水解室为多个交错设置的隔板所形成的回形通道，回形通道的出液口连接于固液分离室，固液分离室通过溢流管连接于储液室；

所述回形通道的顶部设置有喷淋装置；

所述水解室通过输气管分别连接于固液分离室和储液室；

所述溢流管上设置有阀门；

所述积液器与水解装置之间的管路上设置有阀门。

本实用新型具有以下有益效果：

1）冷却四氯化硅精馏尾气采用循环冷却水，使尾气冷却为液态，同时减小了能耗；2）采用缓冲器、第一液封器和第二液封器最大限度的减少了四氯化硅精馏尾气对外界的排放量，保护了环境；水解装置最大限度对四氯化硅精馏尾气进行回收；

3）水解装置中侧固液分离室及溢流管能够使硅酸结晶与盐酸溶液自动分离，减少了回收制程；

4）水解装置中的输气管提高了氯化氢气体的回收率；

5）水解装置中的回形通道增加了四氯化硅与水的接触面积和水解时间，使水解反应更完全彻底。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示一种四氯化硅精馏尾气回收系统，包括依次连接的缓冲器1、第一液封器2、冷却器3、积液器4和第二液封器5，所述积液器4的排液口连接有水解装置6；所述水解装置6由水解室7、固液分离室8和储液室9组成，所述水解室7为多个交错设置的隔板所形成的回形通道10，回形通道10的出液口连接于固液分离室8，固液分离室8通过溢流管11连接于储液室9；所述回形通道10的顶部设置有喷淋装置13；所述水解室7通过输气管12分别连接于固液分离室8和储液室9；所述溢流管11上设置有阀门；所述积液器4与水解装置6之间的管路上设置有阀门。

进行四氯化硅尾气回收作业时，四氯化硅尾气进入缓冲器1中，以缓冲尾气对精馏系统的干扰，缓冲器1中的四氯化硅尾气通过第一液封器2进入冷却器3冷凝后形成四氯化硅液体进入积液器4中储存起来，少量四氯化硅尾气通过第二液封器5排出。

对四氯化硅液体进行水解作业时，打开积液器与水解装置之间的管路上的阀门，四氯化硅液体进入水解室7中，同时喷淋装置13喷水，使得四氯化硅液体水解形成盐酸和硅酸结晶；盐酸和硅酸结晶混合物在回形通道10内流动并进入固液分离室8，盐酸经过溢流管11进入储液室9储存起来，硅酸结晶沉积于固液分离室8的底部；四氯化硅液体水解产生的少量氯化氢气体通过输气管12进入固液分离室8和储液室9继续反应形成盐酸。

Claims (6)

1.一种四氯化硅精馏尾气回收系统，其特征在于：包括依次连接的缓冲器（1）、第一液封器（2）、冷却器（3）、积液器（4）和第二液封器（5），所述积液器（4）的排液口连接有水解装置（6）。

2.如权利要求1所述一种四氯化硅精馏尾气回收系统，其特征在于：所述水解装置（6）由水解室（7）、固液分离室（8）和储液室（9）组成，所述水解室（7）为多个交错设置的隔板所形成的回形通道（10），回形通道（10）的出液口连接于固液分离室（8），固液分离室（8）通过溢流管（11）连接于储液室（9）。

3.如权利要求2所述一种四氯化硅精馏尾气回收系统，其特征在于：所述回形通道（10）的顶部设置有喷淋装置（13）。

4.如权利要求2所述一种四氯化硅精馏尾气回收系统，其特征在于：所述水解室（7）通过输气管（12）分别连接于固液分离室（8）和储液室（9）。

5.如权利要求2至4任意一项所述一种四氯化硅精馏尾气回收系统，其特征在于：所述溢流管（11）上设置有阀门。

6.如权利要求1所述一种四氯化硅精馏尾气回收系统，其特征在于：所述积液器（4）与水解装置（6）之间的管路上设置有阀门。