CN204882390U - 一种光刻胶前烘缺陷检测修复装置 - Google Patents
一种光刻胶前烘缺陷检测修复装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN204882390U CN204882390U CN201520532756.0U CN201520532756U CN204882390U CN 204882390 U CN204882390 U CN 204882390U CN 201520532756 U CN201520532756 U CN 201520532756U CN 204882390 U CN204882390 U CN 204882390U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- station
- plate
- prosthetic device
- scanning
- scanning station
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种光刻胶前烘缺陷检测修复装置，包括底板、上料传送带，扫描工位，修复工位、下料道和控制系统，所述上料传送带设置在底板上，上料传送带末端设置有挡板和侧推板，所述扫描工位和修复工位设置有底板上位于侧推板前进的方向上，所述扫描工位位于修复工位前侧，所述扫描工位和修复工位均包括有固定定位板和活动定位板，所述扫描工位上方设置有可移动扫描装置，所述修复工位上方设置有可移动修复装置，所述扫描装置和移动修复装置与控制系统电连，所述下料道设置在扫描工位后方，所述侧推板和活动定位板均连接有驱动部件，所述光刻胶前烘缺陷检测修复装置可自动检测前烘后光刻胶缺陷，并进行修复，提高了产品的良品率。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种光刻胶前烘缺陷检测修复装置。
背景技术
液晶显示器的阵列基板以及彩膜基板的生产工艺过程往往关系着整个显示装置的良率，在阵列基板以及彩膜基板的生产工艺中，光刻工艺是非常重要的，光刻胶涂布工艺过程中包括有前烘、曝光、后烘和显影处理几个步骤，前烘之后会产生一定的缺陷品，缺陷品进入下道工序继续加工的话，加工还是不良品，浪费了资源。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种可检测出光刻胶前烘后缺陷并进行修复的光刻胶前烘缺陷检测修复装置。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种光刻胶前烘缺陷检测修复装置，包括底板、上料传送带、扫描工位、修复工位、下料道和控制系统，所述上料传送带设置在底板上，上料传送带末端设置有挡板和侧推板，所述扫描工位和修复工位设置于底板上且位于侧推板前进的方向上，所述扫描工位位于修复工位前侧，所述扫描工位和修复工位均包括有固定定位板和活动定位板，所述扫描工位上方设置有可移动扫描装置，所述修复工位上方设置有可移动修复装置，所述扫描装置和移动修复装置与控制系统电连，所述下料道设置在扫描工位后方，所述侧推板和活动定位板均连接有驱动部件。
特别地，所述扫描装置和可移动修复装置通过活动丝杆与固定于底板上的支架连接。
特别地，所述扫描装置上设置有钠灯，扫描装置的扫描部位设置有显微镜。
特别地，所述活动定位板为L型折弯板。
特别地，所述驱动部件为驱动气缸或驱动油缸。
本实用新型的有益效果为：与现有技术相比所述光刻胶前烘缺陷检测修复装置将涂有光刻胶的基板放置在上料传送带上，通过传送带和侧推板，先送到扫描工位上，通过扫描装置对光刻胶进行扫描，并将图像信息传送个控制系统，控制系统收到信息后会与合格品的图像信息进行比较，得出缺陷点的位置信息，侧推板再将基板送到修复工位上，控制系统控制修复装置对光刻胶进行修复，修复完成后通过下料道送入下一道工序内。
附图说明
图1为本实用新型提供的光刻胶前烘缺陷检测修复装置的侧视图；
图2为本实用新型提供的光刻胶前烘缺陷检测修复装置的部分俯视图。
图中：1、底板；2、上料传送带；21、挡板；3、侧推板；4、固定定位板；5、活动定位板；6、下料道；7、扫描装置；71、钠灯；72、显微镜；8、修复装置；9、支架；91、活动丝杆；10、驱动气缸；11、涂有光刻胶的基板；12、控制系统。
具体实施方式
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
请参阅图1、图2，所述光刻胶前烘缺陷检测修复装置括底板1、上料传送带2，扫描工位，修复工位、下料道6和控制系统12，所述上料传送带2设置在底板1上，上料传送带2末端设置有挡板21和侧推板3，所述侧推板3连接有驱动气缸10，所述扫描工位和修复工位设置有底板1上位于侧推板3前进的方向上，所述扫描工位位于修复工位前侧，所述扫描工位和修复工位均包括有固定定位板4和活动定位板5，所述活动定位板5为L型折弯板，所述L型折弯板一侧连接有驱动气缸10，所述底板1上设置有支架9，所述支架9位于扫描工位和修复工位上方，所述支架9上通过活动丝杆91连接有扫描装置7和修复装置8，所述扫描装置7在扫描工位上方移动，所述扫描装置7上设置有钠灯74，扫描装置7的扫描部位上还设置有显微镜72，所述修复装置8在修复工位上方移动，所述扫描装置7和修复装置8与控制系统12电连，所述下料道6设置在扫描工位后方。
所述光刻胶前烘缺陷检测修复装置，使用时将涂有光刻胶的基板11，放到上料传送带2上上料，涂有光刻胶的基板11被挡板21挡下，驱动气缸10带动侧推板3向前运动，此时扫描工位的活动定位板5伸出，将涂有光刻胶的基板11推到扫描工位上，扫描装置7对涂有光刻胶的基板11进行扫描，扫描完成后，将扫描得到的图像信息发给控制系统12，同时描工位的活动定位板5收缩，侧推板3继续推着涂有光刻胶的基板11前进，此时修复工位的活动定位板5伸出，控制系统1将收集到的图像信息与合格的涂有光刻胶的基板11的图像信息进行比较，找出需要修复的位置信息，传输给修复装置8，修复装置8运到需要修复的位置上进行修复，修复完成后，修复工位的活动定位板5收缩，侧推板3继续推着涂有光刻胶的基板11前进，进入下料道6，进入下一道工序。
所述驱动气缸10可由驱动油缸代替。
以上仅以实施例对本实用新型进行了说明，但本实用新型并不限于上述尺寸和外观例证，更不应构成本实用新型的任何限制。只要对本实用新型所做的任何改进或者变型均属于本实用新型权利要求主张的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种光刻胶前烘缺陷检测修复装置，其特征在于：包括底板、上料传送带、扫描工位、修复工位、下料道和控制系统，所述上料传送带设置在底板上，上料传送带末端设置有挡板和侧推板，所述扫描工位和修复工位设置于底板上且位于侧推板前进的方向上，所述扫描工位位于修复工位前侧，所述扫描工位和修复工位均包括有固定定位板和活动定位板，所述扫描工位上方设置有可移动扫描装置，所述修复工位上方设置有可移动修复装置，所述扫描装置和移动修复装置与控制系统电连，所述下料道设置在扫描工位后方，所述侧推板和活动定位板均连接有驱动部件。
2.根据权利要求1所述光刻胶前烘缺陷检测修复装置，其特征在于：所述扫描装置和可移动修复装置通过活动丝杆与固定于底板上的安装支架连接。
3.根据权利要求1或2所述光刻胶前烘缺陷检测修复装置，其特征在于：所述扫描装置上设置有钠灯，扫描装置的扫描部位上还设置有显微镜。
4.根据权利要求1所述光刻胶前烘缺陷检测修复装置，其特征在于：所述活动定位板为L型折弯板。
5.根据权利要求1所述光刻胶前烘缺陷检测修复装置，其特征在于：所述驱动部件为驱动气缸或驱动油缸。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520532756.0U CN204882390U (zh) | 2015-07-21 | 2015-07-21 | 一种光刻胶前烘缺陷检测修复装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520532756.0U CN204882390U (zh) | 2015-07-21 | 2015-07-21 | 一种光刻胶前烘缺陷检测修复装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN204882390U true CN204882390U (zh) | 2015-12-16 |
Family
ID=54826751
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201520532756.0U Active CN204882390U (zh) | 2015-07-21 | 2015-07-21 | 一种光刻胶前烘缺陷检测修复装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN204882390U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111843659A (zh) * | 2020-07-29 | 2020-10-30 | 徐玉芝 | 一种轴类零件不良品检测与修复设备及方法 |
-
2015
- 2015-07-21 CN CN201520532756.0U patent/CN204882390U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111843659A (zh) * | 2020-07-29 | 2020-10-30 | 徐玉芝 | 一种轴类零件不良品检测与修复设备及方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN203178203U (zh) | 基于机器视觉的太阳能硅晶片颜色自动检测装置 | |
| WO2023029801A1 (zh) | 一种检测产品正反面方法 | |
| US20180046037A1 (en) | Manufacturing method of alignment flim and device for manufacturing alignment film | |
| CN201311528Y (zh) | 用于小尺寸液晶面板的自动点灯测试设备 | |
| CN103439339B (zh) | 贴附有偏振片的液晶面板的缺陷检测装置及缺陷检测方法 | |
| CN108255029A (zh) | 一种双面曝光机及其曝光方法 | |
| CN204882390U (zh) | 一种光刻胶前烘缺陷检测修复装置 | |
| CN105870218A (zh) | 一种太阳能电池片断栅修补方法及装置 | |
| CN204789365U (zh) | 用于pcb菲林片检测的aoi装置的图像采集装置 | |
| US20120268732A1 (en) | Automated optical inspection device and calibration method thereof | |
| CN211563748U (zh) | 一种偏光片瑕疵检测装置 | |
| CN211504009U (zh) | 一种端子检测机的影像检测机构 | |
| CN204790307U (zh) | 用于pcb菲林片检测的aoi装置 | |
| CN209215247U (zh) | 一种玻璃绝缘子质检装置 | |
| CN204953511U (zh) | 一种立体式拆解系统 | |
| CN103616776B (zh) | 一种机器自动检验液晶模组及装配一体的装置和方法 | |
| CN209802956U (zh) | 一种多点连续检查装置 | |
| TW202305322A (zh) | 背光視覺定位系統 | |
| CN210680086U (zh) | 一种油墨印刷双面同时照射的uv机 | |
| CN203117642U (zh) | 光刻胶前烘装置 | |
| TWM619612U (zh) | 背光視覺定位系統 | |
| CN204866575U (zh) | 镀膜后硅片缺陷检测分选设备 | |
| CN209832907U (zh) | 一种曲面印刷系统 | |
| CN109916597B (zh) | 光学检测装置及光学检测方法 | |
| CN106501976A (zh) | 一种面板制程装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant |